一种晶圆载具FOUP缓冲器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆载具FOUP缓冲器，包括缓冲器、门板、箱体和晶圆，所述门板通过箱体卡接方式安装在箱体的前端，所述缓冲器安装在门板后端，所述晶圆安装在箱体内部；所述缓冲器包括外部框架和安装板，所述外部框架呈矩形状结构，所述安装板安装在外部框架内部，所述安装板顶部和底部均设有呈两两对称分布的若干组舌片，所述舌片呈长条状结构，所述舌片前端设有倒角，所述外部框架顶部开设有若干组方孔。该种装置可以十分便捷的使用缓冲器利用弹性舌片缓冲力固定晶圆，从而能在搬运FOUP的过程中有效固定保护晶圆，防止晃动损伤，工作人员在打开门板后固定力消失，进一步方便工作人员对晶圆进行存取。方便工作人员对晶圆进行存取。方便工作人员对晶圆进行存取。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆载具FOUP缓冲器


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种晶圆载具FOUP缓冲器。

技术介绍

[0002]前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)，这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm 晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。
[0003]现有的晶圆载具有如下缺陷：
[0004]现有的晶圆载具不能在对晶圆进行运输时对晶圆进行固定，从而晶圆会在晶圆载具内进行晃动，进一步导致晶圆受损的情况发生，且现有的晶圆载具也不便于工作人员对内部的晶圆进行取出。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆载具FOUP缓冲器，解决了现有晶圆载具不能便于对晶圆进行固定，且还不便于对晶圆载具内晶圆进行取出的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种晶圆载具FOUP缓冲器，包括缓冲器、门板、箱体和晶圆，所述门板通过箱体卡接方式安装在箱体的前端，所述缓冲器安装在门板后端，所述晶圆安装在箱体内部；
[0009]优选的，所述缓冲器包括外部框架和安装板，所述外部框架呈矩形状结构，所述安装板安装在外部框架内部，所述安装板顶部和底部均设有呈两两对称分布的若干组舌片，所述舌片呈长条状结构，所述舌片前端设有倒角，且舌片底部设有凸点,所述外部框架顶部开设有若干组方孔。
[0010]优选的，所述舌片采用PEEK材料制备而成。
[0011]优选的，所述门板后端开设有安装凹槽，所述安装凹槽整体呈矩形状结构，所述安装凹槽内部设有四组呈横向等距方式分布的卡扣。
[0012](三)有益效果
[0013]本技术提供了一种晶圆载具FOUP缓冲器。具备以下有益效果：
[0014]该种晶圆载具FOUP缓冲器设计一种安装在门板上的缓冲器，利用弹性舌片缓冲力固定晶圆，弹性舌片采用耐磨材料PEEK或PEI，能在搬运FOUP的过程中有效固定保护晶圆，防止晃动损伤；打开门板后固定力消失，取放晶圆方便，在使用时，工作人员将缓冲器两侧的方孔按入门板对应的卡扣固定；从而把缓冲器进行安装，在门板与箱体扣合时，缓冲器的舌片受箱体中的晶圆挤压，产生弹性变形；回弹力将有效防止晶圆在箱体中的晃动；舌片开口大倒角，能有效导正晶圆；舌片底部设计凸点形成二次力臂；在关门时不会用太大的力，
而锁紧门后二次力臂的作用使得固定晶圆的弹力较大。
附图说明
[0015]图1为本技术整体的结构示意图；
[0016]图2为本技术整体部件拆分的结构示意图；
[0017]图3为本技术门板与缓冲器安装的结构示意图
[0018]图3
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1为本技术门板与缓冲器拆分的结构示意图；
[0019]图4为本技术缓冲器与晶圆安装的结构示意图；
[0020]图4
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1为本技术缓冲器与晶圆安装的正面结构示意图。
[0021]图中，1、缓冲器；2、门板；3、箱体；4、晶圆；A、方孔；B、舌片；C、倒角；D、凸点；E、卡扣；6、外部框架；7、安装板；8、安装凹槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1至图4
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1，本技术实施例提供一种技术方案：一种晶圆载具FOUP 缓冲器，包括缓冲器1、门板2、箱体3和晶圆4，所述门板2通过箱体3卡接方式安装在箱体3的前端，所述缓冲器1安装在门板2后端，所述晶圆4 安装在箱体3内部；
[0024]所述缓冲器1包括外部框架6和安装板7，所述外部框架6呈矩形状结构，所述安装板7安装在外部框架6内部，所述安装板7顶部和底部均设有呈两两对称分布的若干组舌片B，所述舌片B呈长条状结构，所述舌片B前端设有倒角C，且舌片B底部设有凸点D,所述外部框架6顶部开设有若干组方孔A，该种缓冲器1利用弹性舌片B缓冲力固定晶圆4；弹性舌片B采用耐磨材料 PEEK或PEI；能在搬运FOUP的过程中有效固定保护晶圆4，防止晃动损伤；打开门板后固定力消失，取放晶圆4方便。
[0025]所述舌片B采用PEEK材料制备而成，舌片B采用PEEK或PEI材质是因为PEEK或PEI材质比较耐磨，可以减少舌片B磨损的程度，进一步提高缓冲器1使用的寿命，从而减少成本的浪费。
[0026]所述门板2后端开设有安装凹槽8，所述安装凹槽8整体呈矩形状结构，所述安装凹槽8内部设有四组呈横向等距方式分布的卡扣E，门板2后端的安装凹槽8是为了便于缓冲器1的安装，安装凹槽8内的卡扣E是为了与缓冲器1内外部框架6上的方孔A进行卡接，从而来把缓冲器1安装在门板2内的安装凹槽8内。
[0027]工作原理：作业时，工作人员可以晶圆4存放到箱体3内，工作人员将缓冲器1两侧的方孔A按入门板2对应的卡扣E固定；从而把缓冲器1进行安装，在门板2与箱体3扣合时，缓冲器1的舌片B受箱体3中的晶圆4挤压，产生弹性变形；回弹力将有效防止晶圆4在箱体3中的晃动；舌片B开口大倒角C，能有效导正晶圆4；舌片B底部设计凸点D形成二次力臂；在关门时不会用太大的力，而锁紧门板2后二次力臂的作用使得固定晶圆4的弹力较大。
[0028]本技术的1、缓冲器；2、门板；3、箱体；4、晶圆；A、方孔；B、舌片；C、倒角；D、凸
点；E、卡扣；6、外部框架；7、安装板；8、安装凹槽，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是现有晶圆载具不能便于对晶圆进行固定，且还不便于对晶圆载具内晶圆进行取出的问题，本技术通过上述部件的互相组合，可以十分便捷的使用缓冲器利用弹性舌片缓冲力固定晶圆，从而能在搬运FOUP的过程中有效固定保护晶圆，防止晃动损伤，工作人员在打开门板后固定力消失，进一步方便工作人员对晶圆进行存取。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆载具FOUP缓冲器，其特征在于：包括缓冲器(1)、门板(2)、箱体(3)和晶圆(4)，所述门板(2)通过箱体(3)卡接方式安装在箱体(3)的前端，所述缓冲器(1)安装在门板(2)后端，所述晶圆(4)安装在箱体(3)内部；所述缓冲器(1)包括外部框架(6)和安装板(7)，所述外部框架(6)呈矩形状结构，所述安装板(7)安装在外部框架(6)内部，所述安装板(7)顶部和底部均设有呈两两对称分布的若干组舌片(B)，所述舌片(B)呈长...

【专利技术属性】
技术研发人员：童明，李闯，
申请(专利权)人：浙江赛瑾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：