一种晶圆载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆载具

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆载具POD夹爪运动控制


[0001]本技术涉及晶圆载具
POD
夹爪的安装机构领域，具体为一种晶圆载具
POD
夹爪运动控制
。

技术介绍

[0002]随着科技的进步，半导体电子产品已经应用到社会生活的诸多领域，而这些半导体电子产品都具有半导体芯片
。
可见，半导体芯片在当今生活中具有非常显著的重要性
。
[0003]现有的晶圆载具
POD
夹爪的安装机构有如下缺陷：
[0004]现有晶圆载具
POD
夹爪运动的系统中，有用弹簧控制夹爪水平远动，有时还要控制上下运动轨迹，由于
POD
夹爪运行的弹簧为不锈钢材料，这种材料偏软容易出现变形和回弹，这对夹爪控制有时会有失效现象
。

技术实现思路

[0005](
一
)
解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆载具
POD
夹爪运动控制，解决了现有弹簧控制夹爪运行的弹簧为不锈钢材料，这种材料偏软容易出现变形和回弹，进一步导致夹爪控制时会有失效现象的问题
。
[0007](
二
)
技术方案
[0008]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种晶圆载具
POD
夹爪运动控制，包括
POD
底板
、POD
底盖
、POD
夹爪和驱动轮，所述
POD
夹爪设有一组，一组所述
POD
夹爪呈对称方式固定在
POD
底盖顶部，所述
POD
底板固定在
POD
底盖顶部且位于
POD
夹爪上方，所述驱动轮安装在
POD
底板顶部正中位置；
[0009]优选的，所述
POD
夹爪呈叉子状结构，所述
POD
夹爪表面设有一组呈对称方式分布的
POD
夹爪让位空间，所述
POD
夹爪顶部前端设有
POD
夹爪
PIN
点；
[0010]优选的，所述驱动轮呈圆形结构，所述驱动轮底部分别设有一组呈环状等距方式分布的凸轮压合
PIN
点位和凸轮避空
PIN
点，所述驱动轮左右两侧均设有
S
型弹簧，一组所述
S
型弹簧分别与一组
POD
夹爪相连接
。
[0011]优选的，所述驱动轮左右两侧均设有
POD
驱动轮与弹簧连接块
。
[0012]优选的，所述
POD
夹爪顶部设有
POD
夹爪与弹簧连接块
。
[0013]优选的，所述
POD
底板底部设有一组呈左右对称方式分布的
POD
底板限位筋条，所述
POD
底板限位筋条呈凸出状结构
。
[0014](
三
)
有益效果
[0015]本技术提供了一种晶圆载具
POD
夹爪运动控制
。
具备以下有益效果：
[0016]该种晶圆载具
POD
夹爪运动控制设计一种机械式控制夹爪上下远动和
S
型弹簧控制夹爪水平结构，从而大大提高了对夹爪控制的灵敏度，且还提高了夹爪控制的稳定性，防止出现对夹爪控制失灵的情况发生，这种该种晶圆载具
POD
夹爪运动控制机构简单有效，安
装方便快捷可靠，便于工作人员进行使用
。
附图说明
[0017]图1为本技术整体的结构示意图；
[0018]图2为本技术
POD
夹爪闭合的结构示意图；
[0019]图3为本技术
POD
夹爪打开的结构示意图；
[0020]图4为本技术驱动轮底部的结构示意图；
[0021]图5为本技术
POD
夹爪安装的结构示意图；
[0022]图6为本技术
POD
底板的结构示意图
。
[0023]图中，
1、POD
底板；
2、POD
底盖；
3、POD
夹爪；
4、POD
夹爪
PIN
点；
5、
驱动轮；
6、S
型弹簧；
7、POD
底板限位筋条；
8、POD
夹爪让位空间；
9、
凸轮压合
PIN
点位；
10、
凸轮避空
PIN
点；
11、POD
夹爪与弹簧连接块；
12、POD
驱动轮与弹簧连接块
。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0025]请参阅图1‑6，本技术实施例提供一种技术方案：一种晶圆载具
POD
夹爪运动控制，包括
POD
底板
1、POD
底盖
2、POD
夹爪3和驱动轮5，所述
POD
夹爪3设有一组，一组所述
POD
夹爪3呈对称方式固定在
POD
底盖2顶部，所述
POD
底板1固定在
POD
底盖2顶部且位于
POD
夹爪3上方，所述驱动轮5安装在
POD
底板1顶部正中位置；
[0026]所述
POD
夹爪3呈叉子状结构，所述
POD
夹爪3表面设有一组呈对称方式分布的
POD
夹爪让位空间8，所述
POD
夹爪3顶部前端设有
POD
夹爪
PIN
点4；
[0027]所述驱动轮5呈圆形结构，所述驱动轮5底部分别设有一组呈环状等距方式分布的凸轮压合
PIN
点位9和凸轮避空
PIN
点
10
，所述驱动轮5左右两侧均设有
S
型弹簧6，一组所述
S
型弹簧6分别与一组
POD
夹爪3相连接，通过对驱动轮5进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆载具
POD
夹爪运动控制，其特征在于：包括
POD
底板
(1)、POD
底盖
(2)、POD
夹爪
(3)
和驱动轮
(5)
，所述
POD
夹爪
(3)
设有一组，一组所述
POD
夹爪
(3)
呈对称方式固定在
POD
底盖
(2)
顶部，所述
POD
底板
(1)
固定在
POD
底盖
(2)
顶部且位于
POD
夹爪
(3)
上方，所述驱动轮
(5)
安装在
POD
底板
(1)
顶部正中位置；所述
POD
夹爪
(3)
呈叉子状结构，所述
POD
夹爪
(3)
表面设有一组呈对称方式分布的
POD
夹爪让位空间
(8)
，所述
POD
夹爪
(3)
顶部前端设有
POD
夹爪
PIN
点
(4)
；所述驱动轮
(5)
呈圆形结构，所述驱动轮<...

【专利技术属性】
技术研发人员：童明，任强，
申请(专利权)人：浙江赛瑾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：