【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体加工设备，特别是一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
2、目前晶圆在生产过程中，需要对晶圆进行检测以防止将损坏的晶圆传输至后续工位。如中国专利《晶圆检测机构及晶圆装载装置》，专利号为cn202310235579.9，该晶圆检测机构包括检测组件，检测组件用于检测晶圆单片的情况；该晶圆检测机构还包括升降组件，该升降组件带动检测组件上下升降；本方案中的晶圆检测机构，但将晶圆盒放置于或卸料该晶圆检测机构上时，皆需要通过人工进行放置于或卸料，增加了工作者的劳动强度，不利于提高生产效率。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种可实现装料、取料的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，以满足工业需求。
2、一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备，包括一个安装架，一个设置在所述安装架上的检测仓，至少一个设置在所述检测仓上的料口，一个设置在所述安装架上的检测工作
3、进一步地，所述全自动晶圆盒开盒及抓取设备还包括一个设置在所述检测工作台机构一侧的除尘机构，所述除尘机构包括一个设置在所述检测仓底部的风机支架，一个设置在所述风机支架上的风机。
4、进一步地，所述检测工作台机构包括一个设置在所述检测仓内且用于放置晶圆盒的工作台组件，以及一个设置在所述安装架上且连接所述工作台组件的工作台升降组件。
5、进一步地，所述工作台组件包括一个工作台主体，一个设置在所述工作台主体上的锁紧机构。
6、进一步地，当所述检测工作台机构安装晶圆盒时，所述工作台升降组件带动所述工作台组件下降至所述检测仓的料口底部，所述传输机构将晶圆盒放置于所述工作台组件上，当所述检测工作台机构中的工作台组件上放置晶圆盒后，所述工作台升降组件带动所述工作台组件上升，将晶圆盒上升至检测工位，实现对晶圆盒的检测。
7、进一步地，当所述传输机构将待检测晶圆盒放置于所述检测工作台机构时，所述工作台升降组件驱动所述工作台组件滑动至所述除尘机构一侧。
8、进一步地，所述传输升降组件包括一个设置在所述安装架上的传输升降驱动装置，一个设置在所述传输升降驱动装置上的升降台。
9、进一步地，所述转动臂组件包括一个设置在所述传输升降组件的转动驱动装置，一个设置在所述转动驱动装置上的转动臂单元。
10、进一步地，两个所述滑动夹爪皆对称设置，两个所述连接杆成中心对称连接于至所述转动连接件两侧。
11、与现有技术相比，本专利技术提供的全自动晶圆盒开盒及抓取设备通过所述传输机构将晶圆盒传输至所述检测工作台机构内，实现自动检测。所述传输机构包括一个设置在所述安装架上的传输升降组件，一个设置在所述传输升降组件上的转动臂组件，以及一个设置在所述转动臂组件上的夹持组件。所述传输升降组件21、以及所述转动臂组件带动所述夹持组件升降高度且调节所述夹持组件的角度。所述夹持组件包括一个设置在所述转动臂组件上的夹持支架，一个转动连接于所述夹持支架上的夹持装置，以及一个设置在所述夹持支架上且连接于所述夹持装置一端的转动驱动装置。当全自动晶圆盒开盒及抓取设备中的传输机构将晶圆盒传输至所述检测工作台机构时，所述传输机构中的夹持组件将晶圆盒夹紧，所述传输机构中的所述传输升降组件、以及所述转动臂组件驱动所述夹持组件升降，且调节所述夹持组件的角度，将晶圆盒放置于所述检测工作台机构实现检测。其中所述夹持装置包括一个转动连接于所述安装板上的转动连接件，两个滑动连接于所述安装板上的滑动夹爪，两个分别连接于所述转动连接件与所述滑动夹爪之间的连接杆，以及一个设置在所述安装板上且连接所述滑动夹爪的夹持驱动气缸，当所述夹持驱动气缸带动一个所述滑动夹爪滑动时，该滑动夹爪滑动过程中带动所述转动连接件转动，并且由于两个所述连接杆成中心对称连接于至所述转动连接件两侧，从而当一个所述滑动夹爪滑动时，所述转动连接件带动另一个所述滑动夹爪滑动，实现了两个所述滑动夹爪之间的开合。可以看出的是，该全自动晶圆盒开盒及抓取设备结构简单，操作方便，实现了晶圆的自动检测，提升了检测效率。
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1.一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备，包括一个安装架，一个设置在所述安装架上的检测仓，至少一个设置在所述检测仓上的料口，其特征在于：所述全自动晶圆盒开盒及抓取设备包括一个设置在所述安装架上的检测工作台机构，一个设置在所述安装架上的传输机构，所述传输机构包括一个设置在所述安装架上的传输升降组件，一个设置在所述传输升降组件上的转动臂组件，以及一个设置在所述转动臂组件上的夹持组件，所述夹持组件包括一个设置在所述转动臂组件上的夹持支架，一个转动连接于所述夹持支架上的夹持装置，以及一个设置在所述夹持支架上且连接于所述夹持装置一端的转动驱动装置，所述夹持支架包括一个设置在所述转动臂组件上的支架主体，两个转动连接于所述支架主体一端的转动支架，一个设置在所述转动支架上的安装板，所述夹持装置包括一个转动连接于所述安装板上的转动连接件，两个滑动连接于所述安装板上的滑动夹爪，两个分别连接于所述转动连接件与所述滑动夹爪之间的连接杆，以及一个设置在所述安装板上且连接所述滑动夹爪的夹持驱动气缸，所述转动驱动装置包括一个设置在所述支架主体上的驱动电机，一个设置在所述驱动电机上的主动驱动轮，一个设置在所述夹持支架
2.如权利要求1所述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：所述全自动晶圆盒开盒及抓取设备还包括一个设置在所述检测工作台机构一侧的除尘机构，所述除尘机构包括一个设置在所述检测仓底部的风机支架，一个设置在所述风机支架上的风机。
3.如权利要求2所述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：所述检测工作台机构包括一个设置在所述检测仓内且用于放置晶圆盒的工作台组件，以及一个设置在所述安装架上且连接所述工作台组件的工作台升降组件。
4.如权利要求3所述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：所述工作台组件包括一个工作台主体，一个设置在所述工作台主体上的锁紧机构。
5.如权利要求2述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：当所述检测工作台机构安装晶圆盒时，所述工作台升降组件带动所述工作台组件下降至所述检测仓的料口底部，所述传输机构将晶圆盒放置于所述工作台组件上，当所述检测工作台机构中的工作台组件上放置晶圆盒后，所述工作台升降组件带动所述工作台组件上升，将晶圆盒上升至检测工位，实现对晶圆盒的检测。
6.如权利要求3所述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：当所述传输机构将待检测晶圆盒放置于所述检测工作台机构时，所述工作台升降组件驱动所述工作台组件滑动至所述除尘机构一侧。
7.如权利要求1述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：所述传输升降组件包括一个设置在所述安装架上的传输升降驱动装置，一个设置在所述传输升降驱动装置上的升降台。
8.如权利要求1所述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：所述转动臂组件包括一个设置在所述传输升降组件的转动驱动装置，一个设置在所述转动驱动装置上的转动臂单元。
9.如权利要求1所述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：两个所述滑动夹爪皆对称设置，两个所述连接杆成中心对称连接于至所述转动连接件两侧。
...【技术特征摘要】
1.一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备，包括一个安装架，一个设置在所述安装架上的检测仓，至少一个设置在所述检测仓上的料口，其特征在于：所述全自动晶圆盒开盒及抓取设备包括一个设置在所述安装架上的检测工作台机构，一个设置在所述安装架上的传输机构，所述传输机构包括一个设置在所述安装架上的传输升降组件，一个设置在所述传输升降组件上的转动臂组件，以及一个设置在所述转动臂组件上的夹持组件，所述夹持组件包括一个设置在所述转动臂组件上的夹持支架，一个转动连接于所述夹持支架上的夹持装置，以及一个设置在所述夹持支架上且连接于所述夹持装置一端的转动驱动装置，所述夹持支架包括一个设置在所述转动臂组件上的支架主体，两个转动连接于所述支架主体一端的转动支架，一个设置在所述转动支架上的安装板，所述夹持装置包括一个转动连接于所述安装板上的转动连接件，两个滑动连接于所述安装板上的滑动夹爪，两个分别连接于所述转动连接件与所述滑动夹爪之间的连接杆，以及一个设置在所述安装板上且连接所述滑动夹爪的夹持驱动气缸，所述转动驱动装置包括一个设置在所述支架主体上的驱动电机，一个设置在所述驱动电机上的主动驱动轮，一个设置在所述夹持支架上的从动驱动轮，一个连接于所述转动支架上的传动轮，以及一个连接于所述从动驱动轮与所述传动轮之间的驱动杆，当所述驱动电机驱动所述主动驱动轮转动时，所述主动驱动轮驱动所述从动驱动轮转动，所述从动驱动轮带动所述驱动杆活动，从而所述驱动杆带动所述传动轮转动，以实现所述安装板实现转动，即实现了所述夹持装置的转动。
2.如权利要求1所述的全自动晶圆盒开盒及抓取设备，其特征在于：所述全自动晶圆盒开盒及抓取设备还包括一个设置在所述检测工作台机构一侧的除尘机构，所述除尘机构包括一个设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘径波，刘出群，
申请(专利权)人：浙江赛瑾半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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