下载一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备的技术资料

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一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备包括安装架,检测仓,料口,检测工作台机构,传输机构。所述传输机构包括传输升降组件,转动臂组件,以及夹持组件。所述夹持组件包括夹持支架,夹持装置,以及转动驱动装置。所述夹持支架包括支架主体,转动支架,安装板。所述...
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