本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法。本发明的课题是提供在远紫外线光刻及EUV光刻中，LWR、分辨度优良，而且可抑制抗蚀剂图案的崩塌的化学增幅抗蚀剂组成物，以及提供该化学增幅抗蚀剂组成物使用的鎓盐及使用该抗蚀剂组成物的图案形成方...

本发明提供一种负极活性物质，其包含负极活性物质颗粒，该负极活性物质的特征在于，所述负极活性物质颗粒含有包含含氧硅化合物的硅化合物颗粒，所述硅化合物颗粒的至少一部分表面被碳层覆盖，所述硅化合物颗粒含有Li<subgt;6</s...

提供一种水性组合物，其具有耐酸性，即使不具备冷却设备等，也不会发生喷雾喷嘴堵塞，且能够以简便的方法适宜地用于肠溶性包衣制剂。一种水性组合物，其至少包含醋酸羟丙甲纤维素琥珀酸酯、中和剂和水，所述醋酸羟丙甲纤维素琥珀酸酯的每1单位无水葡萄糖...

本发明涉及含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法。本发明提供含金属的膜形成用化合物，提供具有优良干蚀刻耐性且兼顾高填埋/平坦化特性的含金属的膜形成用组成物。一种下列通式(M)表示的含金属的膜形成用化合物。T<...

本发明涉及图案形成方法。本发明提供不会对基板造成损伤而能简便且有效率地形成微细的图案的图案形成方法。一种图案形成方法，于被加工基板上形成有机下层膜、含锡中间膜及上层抗蚀剂膜，形成上层抗蚀剂图案，将上层抗蚀剂图案转印于含锡中间膜，形成含锡...

本发明的目的在于提供一种防尘薄膜组件框架及使用所述防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件，能够防止在制作框架的加工时残存于框架上的灰尘、异物的排出、生成，并且也能够抑制在移动时、保管时、使用时等新形成的灰尘、异物的产生，另外，即使在灰尘、异物附...

本发明涉及锍盐、抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供无论正型或负型皆为高感度，且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料，以及提供使用其的图案形成方法。该课题的解决手段是一种锍盐，以下式(1)表示，以及提供含有该锍盐的抗蚀剂材料。

本发明提供一种导热性有机硅组合物，其特征在于，其包含：(A)不具有烷氧基甲硅烷基的有机聚硅氧烷，其在25℃下的运动黏度为10~100,000mm2/s；(B)具有烷氧基甲硅烷基的有机聚硅氧烷；(C)导热性填充材料，其导热系数为10W/m...

本发明为一种非水电解质二次电池用负极活性物质，其具有负极活性物质颗粒，该负极活性物质颗粒含有硅化合物(SiO<subgt;x</subgt;：0.5≤x≤1.6)颗粒，所述负极活性物质颗粒的至少一部分被碳材料覆盖，且同时包含...

提供二次电池隔离物用涂布材料，其包含表面处理球状二氧化硅粒子，所述表面处理球状二氧化硅粒子在表面具有R1SiO3/2单元(式中，R1为取代或未取代的碳原子数1～20的一价烃基。)和R23SiO1/2单元(式中，R2为彼此相同或不同的取代...

配混了通过照射紫外线而活化以作为氢化硅烷化加成反应催化剂发挥作用的铂系催化剂、和通过与水分和/或氧、特别是大气中的水分(湿气)和/或氧接触而活化以作为氢化硅烷化加成反应催化剂发挥作用的好氧性的铂系催化剂混合物这两种铂系催化剂的固化性液体...

本发明为一种负极活性物质，其为包含负极活性物质颗粒的负极活性物质，其特征在于，所述负极活性物质颗粒含有被碳层包覆的硅氧化物颗粒，所述硅氧化物颗粒的至少一部分包含选自由Li<subgt;2</subgt;SiO<subg...

本发明涉及生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明的课题是提供为薄膜且高透明、与皮肤的颜色仅有些许不同，生物体信号的感度高，生物体适合性优良，为轻量，且能以低成本进行制造，即使被水沾湿或即使干燥，即使长期间贴附于皮肤，生物体信号的感度...

本发明提供能够高特性且廉价地制作第III族氮化物的单晶的第III族氮化物系外延生长用基板及其制造方法。本发明的第III族氮化物系外延生长用基板具备：支承基板，其具有由氮化物陶瓷构成的芯被厚度0.05μm以上且1.5μm以下的密封层包裹的...

本发明为石英玻璃布的包装方法，其是用包装膜将包含99.5质量％以上的SiO2的石英玻璃布包装的包装方法，包装内为容积绝对湿度为10.0g/m3以下的气体。

本发明涉及鎓盐、化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供可产生具有适当的酸强度且扩散小的酸的鎓盐、含有其的化学增幅正型抗蚀剂组成物、及使用该抗蚀剂组成物的抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段是一种鎓盐，以下式(A...

本发明涉及一种磁光学元件用透明陶瓷，其包含：下列式(1)所示的含有铽、镥和铝的顺磁性石榴石型复合氧化物，以及作为烧结助剂的100质量ppm至1000质量ppm的Si。(Tb<subgt;1‑x</subgt;Lu<su...

本发明涉及生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明的课题是提供为薄膜且高透明，生物体信号的感度高，生物体适合性优良，为轻量，且能以低成本进行制造，即使被水沾湿或即使干燥，即使长期间贴附于皮肤，生物体信号的感度仍不会大幅降低，不会产生皮...

本发明是一种成膜装置，其特征在于，具备：雾化单元，其使原料溶液雾化而形成原料雾；载气供给单元，其运送所述原料雾；雾供给单元，其向基体表面供给将所述原料雾和所述载气混合而成的混合气体；台，其载置所述基体；测量单元，其直接或间接地测量所述原...

本技术是一种层叠结构体，包括基底基板与以氧化镓为主成分的结晶性氧化物膜，所述结晶性氧化物膜的表面的均方根粗糙度为0.2μm以下，所述基底基板的直径为50mm以上，所述基底基板的TTV为30μm以下。由此，本技术提供一种包含表面平滑的结晶...