信越化学工业株式会社专利技术

信越化学工业株式会社共有3967项专利

  • 本发明的目的在于提供一种光刻用防尘薄膜组件,即使将该防尘薄膜组件贴合在曝光原版上,也能够尽可能降低因为该防尘薄膜组件框架的变形所导致的曝光原版的变形。为了达成上述目的,本发明提供一种光刻用防尘薄膜组件,其特征为,在防尘薄膜组件框架的一端...
  • 本发明的目的在于提供一种光刻用防尘薄膜组件,即使将该防尘薄膜组件贴合于曝光原版上,也能够尽可能降低因为该防尘薄膜组件框架的变形所导致的曝光原版的变形。为了达成上述目的,本发明提供一种光刻用防尘薄膜组件,其特征为:在防尘薄膜组件框架的一端...
  • 本发明提供一种单晶金刚石生长用基材及单晶金刚石基板的制造方法,可以使面积大且结晶性良好的单晶金刚石生长,且可以便宜地制造高品质的单晶金刚石基板。所述单晶金刚石生长用基材是用于使单晶金刚石生长的基材,由单晶硅基板、在单晶硅基板的生长单晶金...
  • 本发明提供一种单晶金刚石生长用基材及单晶金刚石基板的制造方法,可以使面积大且结晶性良好的单晶金刚石生长,且可以便宜地制造高品质的单晶金刚石基板。所述单晶金刚石生长用基材是用于使单晶金刚石生长的基材,具有单晶SiC基板和在单晶SiC基板的...
  • 本发明提供一种防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法,该防尘薄膜组件剥离用夹具针对光罩具备固定构件,针对防尘薄膜组件具备粘接层,固定光罩与防尘薄膜组件相互之间的位置关系,在固定状态下将遮罩粘接层拉出并除去。本发明所述的简便的夹具以及剥离方法,...
  • 本发明涉及光刻用防尘薄膜组件及其制造方法。本发明提供了一种防尘薄膜组件,其即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区,能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。根据本发明的防尘薄膜组件制造方法,在防尘薄膜组...
  • 负性抗蚀剂组合物,其包括包含具有烷基硫基基团重复单元且具有1000-2500的MW的基础聚合物,产酸剂和碱性组分,典型地为包含羧基、但不包括活性氢的胺化合物。其可以形成具有低LER值的45-nm线间隔的图案。
  • 本发明提供了一种重要的茶叶虫害-茶细蛾的交配干扰剂,该交配干扰剂能够干扰这一害虫种类的性信息素通讯,从而产生足够的抑制效应。具体地,提供了一种茶细蛾的交配干扰剂,至少包括(E)-11-十六烷烯醛、(Z)-11-十六烷烯醛和(E)-11-...
  • 本发明的目的在于提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器,其是以片材成形,且未使用其它补强体,便具有能承受保管、输送中的外力冲击,防止异物附着于内部收纳的防护薄膜组件的足够刚性。为达成上述目的,本发明的容器本体以及盖体,是由树脂片材...
  • 本发明公开了一种磁铁保持夹具,其包括平台以及设置在平台相对两侧的第一保持座和第二保持座。平台设置有多个通道,保持座是栉状的以便限定多个指部和多个缝隙,所述通道和所述缝隙对准以便限定引导路径,所述引导路径用于允许切割刀片进入其中,并且保持...
  • 本发明公开了一种磁铁保持夹具,其包括平台以及设置在平台相对两侧的第一保持座和第二保持座。平台设置有多个通道,保持座是栉状的以便限定多个指部和多个缝隙,所述通道和所述缝隙对准以便限定引导路径,所述引导路径用于允许切割刀片进入其中,并且保持...
  • 在铜催化剂存在下通过使金属硅颗粒与有机卤化物反应制备有机卤代硅烷。含金属硅和含铜催化剂组分的接触物料含有有效量的通过在球磨机、捣磨机、喷磨机、机械熔化设备或类似设备上机械表面处理锡粉和另一种金属、典型地为铜粉而获得的催化剂粉末。
  • 本发明提供含有(A)热固化型有机聚硅氧烷组合物100重量份、(B)补强性二氧化硅细粉1~100重量份、(C)粘着性赋予成分0.1~50重量份为特征的移动体用硅橡胶胶粘剂组合物。本发明涉及在获得移动体使用的硅橡胶组合物与热塑性树脂的一体成...
  • 一种制造多孔质母材的装置,具有反应容器,所述反应容器包括:设有进气口和排气口的上部堆积室、设有进气口的下部堆积室、位于上部堆积室的上部,用于拉升和收纳通过堆积而形成的多孔质母材的上室;在该反应容器中,上部堆积室的底面被设置在堆积中的多孔...
  • 制备高耐蚀性稀土永磁体的方法,其特征在于依次对R-Fe-B烧结磁体进行包括切削和/或抛光的表面处理,电镀预处理,电镀镍至设定的电镀厚度,浸入含磷酸盐的水溶液,用水洗涤并在氧分压为1.3×10↑[3]Pa或更高的气氛中在150-400℃的...
  • 由核心颗粒和附着在核心颗粒表面的有机硅弹性体形成的复合颗粒。
  • 本发明提供了一种硅的精炼方法,该方法能够在精炼金属硅、制造太阳能电池时降低作为杂质的硼的含量,其特征在于,包括以下步骤:准备熔融的硅和熔融盐共存的混合物;将含氯原子的气体导入所述混合物;将水蒸气与含氯原子的气体一同导入。所述含氯原子的气...
  • 一种使用也可以成为大口径的单晶作为基板、含有GaN层的层叠基板及其制造方法以及使用了所述层叠基板的器件。本发明的层叠基板的制造方法包括:锗生长工序,其通过化学气相沉积法使锗层在(111)硅基板上异质外延生长;热处理工序,其在700~90...
  • 本发明提供一种贴合基板的制造方法,所述贴合基板具有导入了比原来大的拉伸应变的Si1-xGex(0<x≤1)薄膜。具体而言,本发明提供一种贴合基板的制造方法,所述方法至少包括下列工序:准备施主晶片和热膨胀率低于所述施主晶片的支撑晶片的工序...
  • 本发明提供了一种轴向间隙型旋转机,其包括线圈(3),该线圈包括将两个以上具有矩形横截面的线圈导线(5)捆束成使得线圈导线的横截面的长边和/或短边对齐而形成的绕线(4)。绕线(4)在其外周上覆有绝缘涂层(6),并且使得线圈导线(5)的横截...