信越化学工业株式会社专利技术

信越化学工业株式会社共有3967项专利

  • 提供了一种热固性含氟聚醚粘合剂组合物。在低于100℃下固化该组合物,并且在最高至150℃的温度下该固化产物对多种基体显示出良好的粘结性以及优异的粘附耐久性。还提供了一种将该组合物粘结至基体上的方法。该组合物包括:(A)直链多氟代化合物,...
  • 半导体封装液体环氧树脂组合物包括:(A)液体环氧树脂,(B)芳香胺固化剂,和(C)无机填料,无机填料包括无机填料A,所述的无机填料A是平均粒径为0.1至3μm的二氧化硅,和无机填料B,所述的无机填料B是平均粒径为5至70nm并且表面经过...
  • 本发明是一种化学增幅型光阻组合物,其至少含有1种或2种以上的具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的氢的胺化合物或氧化胺化合物,但排除胺及氧化胺的氮原子被包含于芳香环的环状结构的情形。由此,可提供一种化学增幅光阻材料等的光阻材料、及使...
  • 将涂有硅和铝化合物混合物的粒状氢氧化镁与有机基聚硅氧烷和有机硅化合物共混,形成阻燃有机基聚硅氧烷组合物。该组合物流动性很好,并且固化无气泡形成和具有极好耐热性和阻燃性的产品。
  • 本发明提供一种EUV用防尘薄膜组件,其将膜厚均匀的单晶硅膜作为防尘薄膜。该防尘薄膜由厚度为20nm-1μm的单晶硅薄膜以及强化该薄膜的辅助结构构成,其特征在于上述单晶硅薄膜与辅助结构通过硅氧化物层而牢固地结合。上述防尘薄膜的制造方法,其...
  • 一种热传导硅脂组合物,其可通过混合(A)羟基封端有机基聚硅氧烷、(B)特定的有机基聚硅氧烷、(C)具有至少三个可水解基团的硅烷化合物和/或其水解产物、(D)稠化催化剂,和(E)热传导填充剂获得。该组合物可在室温下储藏,并具有足够低的初始...
  • 本发明提供即使在吸湿回流试验中也不会发生树脂的裂纹及不从封装剥离的固化物的固化性有机聚硅氧烷组合物及由该组合物所构成的光学元件密封材料以及被该固化物密封的光学元件。所述固化性有机聚硅氧烷组合物在以往的固化性有机聚硅氧烷组合物中配合具有特...
  • 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃:通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气,使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛...
  • 本发明提供一种碳化硅粉末组合物,其含有使硅酮固化物在非氧化性环境中加热分解而获得的碳化硅粉末及有机粘合剂。该组合物即使不含烧结助剂也可以烧结且获得具有复杂形状的碳化硅成形体。
  • 本发明公开了太阳能电池,其包括:具有受光面和非受光面的半导体基板;形成于半导体基板上的pn结;形成于受光面和/或非受光面上的钝化层;以及形成于受光面和非受光面上的电力提取电极。太阳能电池的特征在于,钝化层包括具有40nm或更少厚度的氧化...
  • 本发明尽量降低为了进行多晶硅制造装置的反应废气的分离而使用的补给氢气的量。将利用氯化氢吸收装置(30)除去了氯硅烷类以及氯化氢的反应废气导入吸附装置(50)中,进行精制后的氢气的回收(S105)。吸附装置(50)中填充有活性炭,在氢气为...
  • 本发明提供一种多晶硅的制造方法,其能够在短时间内使硅芯线与芯线支架获得充分的接合强度,其结果是能够缩短反应初期的生长速度抑制期间。本发明的芯线支架(20)中,一端侧为具有圆锥台状的斜面的形状,在该端部设有开口部(22),且形成有用于插入...
  • 提供一种经碳化硅被覆的碳材料的制造方法,其将通过对非熔融性固体状硅酮加热而得的非晶质无机陶瓷物质与碳基材在非氧化性气体环境下进行加热,从而在碳基材上形成碳化硅被膜。本发明可以获得耐热性优异、具有均匀的碳化硅被覆的经碳化硅被覆的碳材料。
  • 本发明提供一种耐热性优良的高纯度的碳化硅接合体及其制造方法。本发明的碳化硅接合体包含设置在碳化硅构件与另一碳化硅构件之间的高纯度碳化硅接合层。该接合体是通过以下方式而获得:对使硬化性硅酮组合物插入到两个碳化硅构件之间并硬化而获得的硬化物...
  • 本发明提供一种碳化硅成形体的制造方法。该方法中,将含有碳化硅粉末或者碳化硅粉末与碳粉末的组合的硬化性硅酮组合物成形为所需的形状,使所得的成形体硬化,并在非氧化性环境下对所得的硅酮硬化成形体进行加热分解。本发明可以简便地制造高纯度且具有所...
  • 本发明是一种化学增幅型光阻组合物,其至少含有1种或2种以上的具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的氢的胺化合物或氧化胺化合物,但排除胺及氧化胺的氮原子被包含于芳香环的环状结构的情形。由此,可提供一种化学增幅光阻材料等的光阻材料、及使...
  • 本发明提供了与各种有机溶剂或树脂的相容性优异、能在无机材料表面上形成硅-氧键、容易纯化的三芳基胺衍生物;所述三芳基胺衍生物的制备方法;所述三芳基胺衍生物的中间体产物;通过将所述三芳基胺衍生物结合到无机材料的表面上而获得的无机复合材料和所...
  • 本发明提供一种用于制造多孔玻璃预制体的设备,其中能够控制反应容器的由于反应容器的热负荷的增大引起的任何损坏而不增大反应容器。反应容器的壁包括多个矩形内壁金属板和多个金属框架构件,内壁金属板限定反应容器的内侧壁的至少一部分,容器的多个内壁...
  • 本发明提供一种可形成具有优异的耐擦伤性及低动摩擦性的斥水斥油层的含氟氧基亚烷基聚合物组成物、及含有该组成物的表面处理剂、以及由该表面处理剂进行了处理的物品。本发明的含氟氧基亚烷基聚合物组成物包含:由式(1)所表示的一末端水解性聚合物、及...
  • 提供了一种式(1)的单体,其中R1是氢或者单价的C1-C6烃基,并且R2是具有聚合官能性的基团。使用该单体,能够将交联单元引入到聚合物链中。包括具有在其中引入交联单元的基础聚合物的化学放大负性抗蚀剂组合物具有高敏感性并且形成具有最小化的...