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信越化学工业株式会社专利技术
信越化学工业株式会社共有3967项专利
化学增幅型正型抗蚀剂干膜、干膜层合体和制备层合体的方法技术
待在支持膜上形成的化学增幅型正型抗蚀剂干膜包含5-40重量%的在大气压下具有55℃至250℃的沸点的组分。可以通过简单的步骤制备具有柔性和尺寸稳定性的抗蚀剂干膜。可以将所述抗蚀剂干膜有效地和简易地置于制品上并加工,以形成图案。
剥离纸或剥离膜用有机硅组合物、剥离纸和剥离膜制造技术
本发明提供抑制剥离剂的迁移性、对残留粘接力、剥离力不会产生不良影响、给予具有耐暴露性的剥离剂被膜的加成反应固化型的剥离纸或剥离膜用有机硅组合物,和形成了该组合物的固化被膜的剥离纸和剥离膜。在加成反应固化型的有机硅组合物中配合选自在末端具...
防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件制造技术
本发明提供一种可减少从防尘薄膜组件框架释放出的硫酸离子以及铵离子等的,在曝光环境下,可减少雾状物(haze)的发生防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件。构成该防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架,被含有对二甲苯系聚合物的层被覆。
多晶硅的晶体性评价方法技术
将选取的板状试样(20)配置于来自第一密勒指数面<h1k1l1>的布拉格反射能被检测出的位置,以板状试样(20)的中心作为旋转中心使其以旋转角度φ进行面内旋转以使由狭缝决定的X射线照射区域在板状试样(20)的主面上进行φ扫描...
水性硅烷偶联剂组合物、制备方法和表面处理剂技术
由(i)含琥珀酸酐的硅烷偶联剂和(ii)含巯基的硅烷偶联剂以99:1至1:1的摩尔比的共水解反应获得水性硅烷偶联剂组合物。所述组合物在高温条件下具有改进的储存稳定性且有效地作为改性剂。
压印光刻法的矩形基材和制备方法技术
通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材,和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面,和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动,由此抛光该基材的该侧面,从而制备矩形基材。在压印光刻法中,该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案...
磁光材料及其制造方法以及磁光器件技术
本发明提供一种磁光材料,其不吸收波段0.9~1.1μm的光纤激光,不引起热透镜的产生,维尔德常数大于TGG晶体,适合于构成光隔离器等磁光器件,其包含:含有以由下述式(1)表示的稀土氧硫化物作为主成分的透明陶瓷、或者由下述式(1)表示的稀...
凝胶状组合物、防吸水剂、赋予防吸水性的方法及多孔材料技术
本发明的目的是提供一种可以对多孔材料表面赋予优异的防吸水性的防吸水剂。本发明的第一形态提供一种凝胶状组合物,其含有:(A)下述式(1)所示的有机烷氧基硅烷和/或所述有机烷氧基硅烷的部分水解缩合物100质量份R1aSi(OR2)4-a ...
多晶硅的晶体粒径分布的评价方法技术
利用X射线衍射法对多晶硅的晶体粒径分布进行评价时,将选取的圆板状试样(20)配置于来自密勒指数面<hkl>的布拉格反射能被检测出的位置,以圆板状试样(20)的中心作为旋转中心使其以旋转角度φ进行面内旋转以使由狭缝决定的X射线...
半色调相移光掩模坯料及其制备方法技术
半色调相移光掩模坯料,包含透明基材和由硅、氮和任选的氧组成的半色调相移膜,并提供相对于波长200nm以下的光150°-200°的相移。该相移膜包括至少一个满足下式的层:2×O/Si+3×N/Si≥3.5,其中Si为硅含量(原子%),N为...
含氟化合物表面处理剂以及用其处理的制品制造技术
包含用含氟代氧亚烷基的聚合物改性的含水解性基团的硅烷和/或其部分水解缩合物的含氟化合物表面处理剂形成具有耐化学品性和耐擦伤性的防水/油层。
光掩模坯料的设计和光掩模坯料制造技术
提供设计包含透明基材和其上的光学膜的光掩模坯料的方法。所述光掩模坯料被加工成具有光学膜图案的透射性光掩模使得在通过光掩模透射曝光光时可转印该膜图案。使用比反射率作为指标来选择该光学膜,该比反射率等于反射率除以膜厚度。
用于水硬性组合物的增稠剂、单组分减水剂、和水硬性组合物的制备制造技术
本发明提供了用于水硬性组合物的增稠剂,其包含(A)水溶性纤维素醚、(B)消泡剂和(C)胶。将所述增稠剂与水硬性物质、骨料和水混合以形成水硬性组合物。
带有有机硅结构的聚合物、负型抗蚀剂组合物、光固化性干膜和图案化方法技术
提供了带有有机硅结构的聚合物,其包含衍生自双(4-羟基-3-烯丙基苯基)衍生物的重复单元并具有3,000-500,000的Mw。包含所述聚合物的化学增幅型负型抗蚀剂组合物克服了将涂层从Cu或Al的金属配线、电极和SiN基材剥离的剥离问题。
固化性组合物及半导体装置制造方法及图纸
本发明是鉴于下述背景技术所述的情况而完成的,其目的在于,提供一种固化性有机聚硅氧烷组合物,该组合物可形成一种高伸长率、高强度并且气体阻隔性高、而且透光性优良的柔软的固化物。为了解决上述问题,本发明提供了一种固化性组合物,其包含:(A)下...
背接触型太阳能电池制造技术
本发明提供一种背接触型太阳能电池,其显示出小的功率损失、通过其可自由定位母线并且具有简单的生产工序。本发明提供:半导体基板;在半导体基板的背面侧上形成的第一导电型区域,所述背面侧在半导体基板受光面侧的相对侧上;在半导体基板的背面侧上形成...
光纤母材的制造方法技术
本发明提供一种能够高速地制造光纤母材,并且即使配置多根燃烧器移动轴,仍能够在长度方向上得到均匀堆积厚度的光纤母材的制造方法。一种光纤母材的制造方法,其是使芯棒的两端部熔接有假杆的起始部件绕轴旋转的同时,使起始部件与燃烧器相对往复移动,在...
有机硅涂布组合物和被覆物品制造技术
本发明提供能够在基材的表面没有底涂地涂覆、具有耐候性和抗氧化性、可成为密合性、耐候密合性、干涉条纹抑制、耐擦伤性、透明性优异的固化被膜的有机硅涂布组合物及其被覆物品。有机硅涂布组合物,其含有:(A)以固溶有锡和锰的正方晶系氧化钛微粒作为...
导热性有机硅显影橡胶构件用硅橡胶组合物及导热性有机硅显影橡胶构件制造技术
采用含有(A)在一分子中含有至少2个与硅原子键合的烯基的有机聚硅氧烷100质量份、(B)平均一次粒径为30μm以下、导热率为10W/m·K以上的导热性粉末40~400质量份、(C)炭黑1~50质量份、(D)可使上述(A)成分固化的量的固...
生产3,5-二甲基十二烷酸的方法以及4-羧基-3,5-二甲基-3,5-十二碳二烯酸技术
提供了简单和有效地生产3,5-二甲基十二烷酸的短方法以及4-羧基-3,5-二甲基-3,5-十二碳二烯酸,3,5-二甲基十二烷酸为加州锯天牛的信息素的活性成分,4-羧基-3,5-二甲基-3,5-十二碳二烯酸是用于生产3,5-二甲基十二烷酸...
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