先进微装置公司专利技术

先进微装置公司共有613项专利

  • 一种在计算器系统(100)内提供主动同步的方法,包括处理器(18A,18B)对特定的存储器资源请求互斥存取。前述请求可包含一个或多个与特定存储器资源相关联的地址。所述方法也包含将每个请求的地址与多个地址的组中的每个地址进行比较。在前述地...
  • 在一个实施例中,一种系统(10)包括存储器(12);与该存储器相连接的存储器接口;与该存储器接口相连接的处理器单元(14),与该处理器单元相连接的第二接口,及图形处理单元(30)。该处理器单元包括至少一个处理器核心(24A)及配置成(c...
  • 一种方法包含在第一间隔期间从第一器件(116,118,120)接收第一存储器访问请求。该第一存储器访问请求用于访问多页存储器(104)的第一页。该方法进一步包含在该第一间隔后续的第二间隔期间从该第一器件接收第二存储器访问请求并在该第二间...
  • 可将集成电路及处理器的多个逻辑核心(120)配置成在频率及电压下相互独立地工作(operate)。此外,诸如被设定成与逻辑核心接口连接的公共桥接器(110)等的其他组件可在独立于逻辑核心工作的电压及频率的电压及频率下工作。可为了其中包括...
  • 一种用于动态判定电子装置的多个区块中的哪个可被开启或关闭电源的电源管理方法与机制。装置包含一个或多个电源可管理群组(260A至260N)。设定结合的电源管理单元(202)以侦测安排(schedule)执行的指令、识别可能需要用于执行该指...
  • 一种方法,包括:接收有关于一个或更多个先前经处理的工件的测量数据;根据该测量数据的至少一部份估算下个处理状态;决定有关于该估算的下个处理状态的错误值;根据该估算的下个处理状态处理多个工件;以及根据该决 ...
  • 一般而言,本发明是针对区分材料优先次序以清除异常条件的各种方法及系统。在一示范具体实施例中,本方法包含提供多个工件,每一工件有相关数量的材料在该工件完成处理之前不能处理,并且至少依据不能处理的材料的该相关数量,决定一用于处理所述多个工件...
  • 本发明揭示了一种用来产生索引以供储存数据的方法、装置、及系统。决定与第一组数据相关联的图案。储存所述第一组数据。决定与第二组数据相关联的图案是否对应于与所述第一组数据相关联的图案。响应与所述第二组数据相关联的图案对应于与所述第一组数据相...
  • 一种在预先制程控制(APC)机架上进行缺陷检测的方法及装置。第一接口接收制程工具上与处理工件有关的操作状态数据。状态数据从第一接口送至缺陷检测单元。缺陷检测单元根据状态数据判定制程工具是否存在缺陷状况。根据存在的缺陷状况,对制程工具执行...
  • 本发明提供一种方法,该方法包含:在至少一个处理步骤(105)中,对工件上所施行的处理,取样至少一个特性参数(110);以及,使用自适应取样处理模型(130)来模型化该至少一个取样的特性参数,而基于情况信息、上游事件和行程至行程控制器要求...
  • 本发明提供一种控制制造系统的方法,包括于多个工具(120,125)加工工件;为多个工具(120,125)中的一个选定的工具(120,125)初始化基准控制脚本(152,154);为基准控制脚本(152,154)提供内容信息;基于该内容信...
  • 本发明提供一种控制制造系统(100)的方法,其包括:在多个工具中处理工件,对于该多个工具(120,125)中的选定工具(120,125)启动基线控制脚本(152,154);提供上下文信息给该基线控制脚本(152,154);根据该上下文信...
  • 一种监视制造系统(10)的方法包括:限定多个与该制造系统(10)有关的被观测的状态。对于状态估测用于生成被观测的状态。对于每个状态估测生成一不确定性值。接收关联于该制造系统(10)中实体的测量数据。根据关联于该状态估测的该测量资料和该不...
  • 本发明披露了一种用于自动化制造环境中调度的方法和装置。该方法包括侦测工艺流程(100)中的预设事件的发生;将发生的事件通知软件调度代理人(305,310,315,320);以及响应所测得的预设事件,通过软件调度代理人(305,310,3...
  • 本发明提供一种方法和一种装置以在制造工具系统内执行嵌入式工艺控制。此方法与装置至少处理一种半导体装置。对应该半导体装置工艺进行一种嵌入式工艺控制程序。对应该嵌入式工艺控制程序进行半导体装置其后的工艺。本发明的装置包括:计算机系统、以及以...
  • 一种方法,包含下列步骤:    在第一时间期间,使用主要过程控制功能来处理工件;以及    在该第一时间期间的至少一部分期间,执行辅助过程控制功能,其中该辅助过程控制功能可修改至少一个辅助控制参数。
  • 本发明提供一种用来执行动态加权技术以执行错误侦测之方法、装置、以及系统。该方法包含下列步骤:处理工件;以及执行与该工件的处理有关的错误侦测分析。该方法进一步包含下列步骤:决定该错误侦测分析有关的参数与被侦测到的错误间的关系;以及根据该参...
  • 本发明揭露使用在自动化处理流程中的调度(scheduling)的方法与装置,使得输送预约开始之前,将物料输送的搬运车集结。该方法包括排定物料输送于处理流程中;以及在物料输送前的预定时间期间,要求用以物料输送的搬运车集结。该装置以各种态样...
  • 本发明提供一种自动化产能控制系统及方法。通过在实体层级(entity  level)上收集多个工艺工具的特定工具信息,而可在适度短的时间间隔中在高统计显著性的情形下计算适当的与产能相关的性能特性(performance  charact...
  • 本发明提供一种用于执行用来加工半导体晶圆片的适应状态估计工艺的方法、器件及系统。使用加工控制器(305)与加工工具(processingtool)(310)来控制第一工件的加工。获取与该第一工件的加工有关的制造数据。获取与该制造数据有关...