本实用新型涉及玻璃掩膜版安装技术领域，尤其涉及一种高精度掩膜对位系统。包括摄像组件、电脑控制组件、固定底座和对位活动板，所述固定底座和对位活动板垂直于地面设置，所述固定底座与对位活动板之间设置有三组用于对位活动板平移或转动的导向单元，三...

本实用新型属于FPC制造技术领域，具体提供了一种大尺寸汽车板FPC曝光机平台系统，包括底座和上板，所述底座上分别设置有对位模组和自由轴模组，所述上板通过所述对位模组和自由轴模组安装在所述底座上，所述上板上放置有FPC软板，所述底座的左右...

本实用新型涉及一种立式曝光机高精度自动间隙调整系统，包括顶板、底板、侧板、X轴平移组件、X轴伺服马达、X轴平移平台、左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件、左侧曝光平台、左侧Y轴操作用平移组件、左侧掩膜版平台、左侧掩膜版、右侧Y轴、Z轴动力驱动...

本实用新型涉及一种立式曝光机的高精度曝光平台，包括顶板、底板、侧板、X轴平移组件、X轴平移平台、左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件、左侧曝光平台、左侧Y轴操作用平移组件、左侧掩膜版平台、左侧掩膜版、气囊密封板、右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件...

本实用新型属于曝光系统技术领域，尤其是涉及一种双面曝光系统。包括第一光源系统、第二光源系统和曝光平台，所述第一光源系统和第二光源系统分别位于曝光平台的两侧，所述曝光平台上设置有载物台，所述载物台用于放置待曝光产品，所述第一光源系统和第二...

本发明属于集成电路PCB板的阻焊制程技术领域，具体提供了一种UVLED大功率阻焊制程平行光源系统，包括PCB待曝光放置工作平台、第一UVLED光源、光学反射镜片、光学镜片、光学球面镜片以及第二UVLED光源，第一UVLED光源和第二UV...

本发明属于集成电路PCB板的外层线路制程技术领域，具体提供了一种UVLED大功率线路制程平行光源系统，包括PCB待曝光放置工作平台、UVLED光源、光学反射镜片、光学镜片以及光学球面镜片，所述UVLED光源用于发射光线，发射出的光线通过...

本实用新型提供二次纠偏收料机构，依次包括拉料结构、导料结构，收料结构，收料结构包括卷料棒，卷料棒由电机带动旋转，拉料结构包括两个滚轮，两个滚轮上下设置设为一列，两个滚轮中间留有放置料带且与料带贴合，导料结构包括导轮，导轮可转动，导料结构...

本实用新型提供一种晶圆掩膜版自动中心系统，包括底座、X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸、移动板，移动板固定在底座上并在底座上滑动，所述移动板上固定有掩膜版固定板，所述X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸分别固定在底座上且位于移动板相邻的两侧面，X...

本实用新型提供晶圆预对位系统，包括固定底座、Z轴马达、Y轴驱动模组、θ轴驱动模组、CCD相机，固定底座为包括上板和下板，Z轴马达固定在固定底座下板的下端表面并穿过固定底座下板，Z轴马达通过滚珠丝杆连接Z轴活动板并带动Z轴活动板上下移动，...

本实用新型提供IC引线框平台自动调平系统，包括上平台和下平台，所述下平台固定在底座上且其相对于底座高度不变，所述上平台的四角通过升降装置固定底座的四角处且相对于底座进行升降活动，所述底座的四角处设有间隙传感器，所述升降装置包括电机和丝杆...

本实用新型提供晶圆自动投料机构，包括料盒、料盒夹持装置、感应装置、升降装置，所述料盒设有设有多个晶圆放置槽且排成一列设置，所述料盒固定在料盒夹持装置上，所述料盒夹持装置固定在升降装置上并上下活动，所述升降装置固定在支架上，包括电机、滚珠...

本实用新型提供一种自动分区吸板平台，为双平台同时工作，吸板区域分为大中小三部分，方便应对不同尺寸的产品；包括吸板9和吸板控制气缸组件；所述吸板9为中空，上表面设置有吸板孔4，下表面设置有吸板控制气缸组件，吸板控制气缸组件通过吸板孔4进行...

本实用新型提供一种吸盘自动调节长宽装置，用于阻焊曝光机进出料搬运系统，可以根据产品实际大小调整吸盘的位置和吸附的大小尺寸；包括机架10，吸盘固定底板9，X轴组件和Y轴组件，所述机架10固定设置在所述吸盘固定底板9的下表面；所述吸盘固定底...

本实用新型提供CCD多点位抓取结构，包括横梁，横梁上设有多个靶点抓取结构，多个靶点抓取结构并排设置在横梁上且沿着横梁滑动，所述靶点抓取结构包括抓取靶点位置的CCD相机、光栅、连接板，所述光栅包括光栅读数头，CCD相机和光栅读数头固定连接...

本实用新型提供双框交互工作平台系统，包括第一台面和第二台面，所述第一台面和第二台面分别通过各自对应的支架固定装在底座上，所述第一台面和第二台面平行相对设置且在底座上平行滑动，所述支架上设有升降组件，所述第一台面和第二台面固定在升降组件上...

本实用新型提供一种晶圆高精度自动对位系统，包括X轴直线电机、Y轴直线电机、Z轴电机、DD马达、底座，底座上设有X轴直线电机和X轴滑块固定板，X轴滑块固定板的一侧固定连接X轴直线电机上沿着X轴方向滑动，Y轴直线电机固定在X轴滑块固定板上，...

本实用新型提供一种激光刻蚀精密对位平台，包括平台，所述平台固定设置在Z轴移动台上，所述Z轴移动台上设有X轴直线电机，所述平台在Z轴移动台上沿着X轴方向移动，所述Z轴移动台的侧边固定在Y轴移动台上，所述Z轴移动台沿着Y轴移动台的竖直板沿着...

本实用新型提供一种半自动光刻机手臂直线搬运系统，包括滑移机构，升降机构，放料平台，收料平台，放料平台和收料平台设置在升降机构上并随着升降机构上下滑动，升降机构设置在滑移机构上并随着滑移机构直线滑动；升降机构包括升降平台，放料平台和收料平...

本实用新型提供一种半自动光刻机精密对位平台，包括上mask和下mask，所述下mask固定在下固定板上，所述下固定板固定安装在第二层UVW对位平台上，所述第二层UVW对位平台底部通过设置移动结构固定在第一层UVW对位平台上，所述第二层U...