晶圆掩膜版自动中心系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种晶圆掩膜版自动中心系统，包括底座、X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸、移动板，移动板固定在底座上并在底座上滑动，所述移动板上固定有掩膜版固定板，所述X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸分别固定在底座上且位于移动板相邻的两侧面，X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸的工作端靠近移动板设置并且作用方向相互垂直，底座上位于移动板的另外两个侧面分别固定有X轴对位马达和第一Y轴对位马达，且X轴对位马达与X轴顶杆气缸作用方向相反，第一Y轴对位马达与第一Y轴顶杆气缸作用方向相反，晶圆掩膜版安装简单，对安装要求不高，操作简单，且可以调节其位置。且可以调节其位置。且可以调节其位置。

【技术实现步骤摘要】
晶圆掩膜版自动中心系统


[0001]本技术主要涉及半导体芯片领域，尤其涉及一种晶圆掩膜版自动中心系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆 (wafer)制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分。现有机型为手动调节对位系统，不方便调节，对员工安装掩膜版要求较高，安装之后员工要手动调节各个方向，更换掩膜版时间长。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种晶圆掩膜版自动中心系统，包括底座1、X轴顶杆气缸3、第一Y轴顶杆气缸4、移动板9，移动板9固定在底座1上并在底座1上滑动，所述移动板9上固定有掩膜版固定板2，所述X轴顶杆气缸3、第一Y轴顶杆气缸4 分别固定在底座1上且位于移动板9相邻的两侧面，X轴顶杆气缸3、第一Y轴顶杆气缸4的工作端靠近移动板9设置并且作用方向相互垂直，底座1上位于移动板9的另外两个侧面分别固定有X轴对位马达 6和第一Y轴对位马达7，且X轴对位马达6与X轴顶杆气缸3作用方向相反，第一Y轴对位马达7与第一Y轴顶杆气缸4作用方向相反；
[0004]所述第一Y轴对位马达7、第一Y轴顶杆气缸4、X轴顶杆气缸3、X轴对位马达6的作用端都设有一个顶端结构6，所述顶端结构6包括滚轮603，所述滚轮603通过支撑板604固定在马达或者气缸的前端用于作用在掩膜版固定板2上，所述移动板9与滚轮603的对应处设有凹槽901，支撑板604可以在凹槽901内前后左右移动，滚轮603 固定掩膜版固定板2。
[0005]为了适配大的移动板9的移动，会增加一个气缸和对位马达，优选的，移动板9处与第一Y轴顶杆气缸4相同的一侧设有第二Y轴顶杆气缸5。
[0006]优选的，移动板9处与第一Y轴对位马达7相同的一侧设有第二 Y轴对位马达8，所述第二Y轴对位马达8与第二Y轴顶杆气缸5作用方向相反。
[0007]优选的，所述X轴对位马达的一侧设有光电开关605。用于检测马达的极限和原点位置。
[0008]优选的，所述第一Y轴对位马达7或者第二Y轴对位马达8的一侧设有光电开关605。
[0009]优选的，所述第一Y轴对位马达7或者第二Y轴对位马达8或者 X轴对位马达6通过连接滚珠丝杆，支撑板604通过连接螺母来实现前后运动。
[0010]为了增加滚轮603以及支撑板604的稳定性，优选的，所述支撑板604为L型连接结构，其水平端固定滚轮603，其竖直端固定在滑板602上，所述滑板602通过滑块固定在马达或者气缸上表面。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]晶圆掩膜版安装简单，对安装要求不高，操作简单，且可以调节其位置。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构图。
[0014]图2为本技术的局部放大图。
具体实施方式
[0015]为了使本
人员更好地理解本专利技术的技术方案，并使本专利技术的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本专利技术做进一步的说明。实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。
[0016]如图1所示可知，本技术包括有：
[0017]一种晶圆掩膜版自动中心系统，包括底座1、X轴顶杆气缸3、第一Y轴顶杆气缸4、移动板9，移动板9固定在底座1上并在底座 1上滑动，所述移动板9上固定有掩膜版固定板2，所述X轴顶杆气缸3、第一Y轴顶杆气缸4分别固定在底座1上且位于移动板9相邻的两侧面，X轴顶杆气缸3、第一Y轴顶杆气缸4的工作端靠近移动板9设置并且作用方向相互垂直，底座1上位于移动板9的另外两个侧面分别固定有X轴对位马达6和第一Y轴对位马达7，且X轴对位马达6与X轴顶杆气缸3作用方向相反，第一Y轴对位马达7与第一 Y轴顶杆气缸4作用方向相反；
[0018]所述第一Y轴对位马达7、第一Y轴顶杆气缸4、X轴顶杆气缸3、 X轴对位马达6的作用端都设有一个顶端结构6，所述顶端结构6包括滚轮603，所述滚轮603通过支撑板604固定在马达或者气缸的前端用于作用在掩膜版固定板2上，所述移动板9与滚轮603的对应处设有凹槽901，支撑板604可以在凹槽901内前后左右移动，滚轮603 固定掩膜版固定板2。
[0019]在本实施中优选的，移动板9处与第一Y轴顶杆气缸4相同的一侧设有第二Y轴顶杆气缸5。
[0020]在本实施中优选的，移动板9处与第一Y轴对位马达7相同的一侧设有第二Y轴对位马达8，所述第二Y轴对位马达8与第二Y轴顶杆气缸5作用方向相反
[0021]在本实施中优选的，所述X轴对位马达的一侧设有光电开关605。用于检测马达的极限和原点位置。
[0022]在本实施中优选的，所述第一Y轴对位马达7或者第二Y轴对位马达8的一侧设有光电开关605。
[0023]在本实施中优选的，所述第一Y轴对位马达7或者第二Y轴对位马达8或者X轴对位马达6通过连接滚珠丝杆，支撑板604通过连接螺母来实现前后运动。
[0024]工作原理：
[0025]通过X轴顶杆气缸3与第一Y轴顶杆气缸4可以使得移动板9在 X方向或者Y方向移动，X轴对位马达6与第一Y轴对位马达7可以反方向作用，此时可以调整移动板9和掩膜版固定板2的位置。其滚轮603与掩膜版固定板2滚动接触可以避免损坏掩膜版固定板2。在实际使用中，掩膜版安装在掩膜版固定板上，电脑先通过CCD探测元件计算出掩膜版与初始掩膜版的基准原点的偏差，通过马达以及气缸移动，来实现X、Y方向的平移，保证新安装的掩膜版与初始基准原点一致。
[0026]上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行
修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆掩膜版自动中心系统，其特征在于，包括底座(1)、X轴顶杆气缸(3)、第一Y轴顶杆气缸(4)、移动板(9)，移动板(9)固定在底座(1)上并在底座(1)上滑动，所述移动板(9)上固定有掩膜版固定板(2)，所述X轴顶杆气缸(3)、第一Y轴顶杆气缸(4)分别固定在底座(1)上且位于移动板(9)相邻的两侧面，X轴顶杆气缸(3)、第一Y轴顶杆气缸(4)的工作端靠近移动板(9)设置并且作用方向相互垂直，底座(1)上位于移动板(9)的另外两个侧面分别固定有X轴对位马达(6)和第一Y轴对位马达(7)，且X轴对位马达(6)与X轴顶杆气缸(3)作用方向相反，第一Y轴对位马达(7)与第一Y轴顶杆气缸(4)作用方向相反；所述第一Y轴对位马达(7)、第一Y轴顶杆气缸(4)、X轴顶杆气缸(3)、X轴对位马达(6)的作用端都设有一个顶端结构，所述顶端结构包括滚轮(603)，所述滚轮(603)通过支撑板(604)固定在马达或者气缸的前端用于作用在掩膜版固定板(2)上，所述移动板(9)与滚轮(603)的对应处设有凹槽(901)，支撑板(604)可以在凹槽(901)内前后左右移动，滚轮(603)固定掩膜版固定板(2)。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：石利，
申请(专利权)人：无锡旭电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：