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本实用新型提供一种晶圆掩膜版自动中心系统，包括底座、X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸、移动板，移动板固定在底座上并在底座上滑动，所述移动板上固定有掩膜版固定板，所述X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸分别固定在底座上且位于移动板相邻的两侧面，X轴顶...
该专利属于无锡旭电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡旭电科技有限公司授权不得商用。

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