一种半自动光刻机手臂直线搬运系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种半自动光刻机手臂直线搬运系统，包括滑移机构，升降机构，放料平台，收料平台，放料平台和收料平台设置在升降机构上并随着升降机构上下滑动，升降机构设置在滑移机构上并随着滑移机构直线滑动；升降机构包括升降平台，放料平台和收料平台固定设置在升降平台的上表面的两端，升降平台固定在升降板上，升降板底部设有升降气缸,升降板的两侧边设有升降滑移板；滑移机构包括滑移块，升降气缸固定在滑移块上，滑移块的两侧边分别设有第二滑轨，升降板通过第二滑块沿着第二滑轨上下滑动，此搬运结构进行产品的搬运，可完成同步放料和收料，搬运精度更高、平稳、无尘，提高客户生产的效率、产品的良率，且结构简单。且结构简单。且结构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种半自动光刻机手臂直线搬运系统


[0001]本技术主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路的研制和生产，属于曝光工序中的产品搬运系统。

技术介绍

[0002]传统的产品搬运机构采用的是导轨、丝杆或者皮带和马达来进行搬运。此种结构适应于常见的产业，对齐精确度、以及清洁度要求不高的适用于这种传统的，其结构简单且耐用。但是在曝光工序中常用于半导体元器件、光电子器件，电路，集成电路等产业，其对工件的要求高，需要防尘、精确度高的搬运系统来完成。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种半自动光刻机手臂直线搬运系统，包括滑移机构，升降机构，放料平台1，收料平台 2，所述放料平台1和收料平台2设置在升降机构上并随着升降机构上下滑动，所述升降机构设置在滑移机构上并随着滑移机构直线滑动；
[0004]所述升降机构包括升降平台3，所述放料平台1和收料平台2分别通过延伸板301固定设置在升降平台3的上表面的两端，所述升降平台3固定在升降板4上，所述升降板4底部设有升降气缸401,所述升降板的两侧边设有升降滑移板404；
[0005]所述滑移机构包括滑移块5，所述升降气缸401固定在滑移块5 上，所述滑移块5的底部设有第一滑块501，所述第一滑块501设置在第一滑轨6上，所述第一滑轨6固定在底板7上，所述滑移块5的两侧边分别设有第二滑轨502，所述升降滑移板404通过第二滑块403 沿着第二滑轨502上下滑动。
[0006]优选的，所述延伸板301为阶梯型连接块。
[0007]优选的，所述升降气缸401通过气缸固定板402固定在滑移块5 上，所述气缸固定板402为U型块，所述U型块的上表面平面固定升降气缸401，所述U型块的两侧边底部固定在滑移块5。
[0008]优选的，所述滑移块5的底部两边分别设有第一滑块501，所述第一滑轨6设置两个，分别对应于两个第一滑块501上。
[0009]优选的，所述滑移块5的底部两边分别设两个第一滑块501，所述第一滑轨6设置两个，分别对应于两个第一滑块501上。
[0010]优选的，所述滑移块5包括上固定板和下固定板，所述上固定板固定升降气缸401，所述下固定板固定在第一滑轨6。
[0011]优选的，所述第一滑轨6的前后两端分别设有限位块用于限位第一滑块501的滑动位置。
[0012]优选的，所述放料平台1，收料平台2上分别设置吸盘。
[0013]优选的，所述滑移块5一侧固定连接直线电机，有直线电机带动滑动。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]此搬运结构进行产品的搬运，可完成同步放料和收料，搬运精度更高、平稳、无尘，提高客户生产的效率、产品的良率，且结构简单。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体结构图；
[0017]图2为本技术的前视图。
[0018]图3为本技术的左视图。
具体实施方式
[0019]为了使本
人员更好地理解本专利技术的技术方案，并使本专利技术的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本专利技术做进一步的说明。实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。
[0020]如图1
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3所示可知，本技术包括有：
[0021]一种半自动光刻机手臂直线搬运系统，包括滑移机构，升降机构，放料平台1，收料平台2，所述放料平台1和收料平台2设置在升降机构上并随着升降机构上下滑动，所述升降机构设置在滑移机构上并随着滑移机构直线滑动；
[0022]所述升降机构包括升降平台3，所述放料平台1和收料平台2分别通过延伸板301固定设置在升降平台3的上表面的两端，所述升降平台3固定在升降板4上，所述升降板4底部设有升降气缸401,所述升降板的两侧边设有升降滑移板404；
[0023]所述滑移机构包括滑移块5，所述升降气缸401固定在滑移块5 上，所述滑移块5的底部设有第一滑块501，所述第一滑块501设置在第一滑轨6上，所述第一滑轨6固定在底板7上，所述滑移块5的两侧边分别设有第二滑轨502，所述升降滑移板404通过第二滑块403 沿着第二滑轨502上下滑动。
[0024]在本实施中优选的，所述延伸板301为阶梯型连接块。
[0025]在本实施中优选的，所述升降气缸401通过气缸固定板402固定在滑移块5上，所述气缸固定板402为U型块，所述U型块的上表面平面固定升降气缸401，所述U型块的两侧边底部固定在滑移块5。
[0026]设置上述结构，升降气缸401单独固定在气缸固定板402上，升降气缸401简单拆卸，易于清洁，且升降板4与滑移块5之间的距离不会影响升降气缸401的安装，只需要配置不同高度的气缸固定板402即可。
[0027]在本实施中优选的，所述滑移块5的底部两边分别设有第一滑块 501，所述第一滑轨6设置两个，分别对应于两个第一滑块501上。
[0028]在本实施中优选的，所述滑移块5的底部两边分别设两个第一滑块501，所述第一滑轨6设置两个，分别对应于两个第一滑块501上。
[0029]设置上述结构，两边都设置滑块的，滑移块5的滑动会更加稳定。
[0030]在本实施中优选的，所述滑移块5包括上固定板和下固定板，所述上固定板固定升降气缸401，所述下固定板固定在第一滑轨6。
[0031]设置上述结构，降低成本，减轻重量，且便于维修观察搬运系统的运行状态。
[0032]在本实施中优选的，所述第一滑轨6的前后两端分别设有限位块用于限位第一滑块501的滑动位置。
[0033]在本实施中优选的，所述放料平台1，收料平台2上分别设置吸盘。
[0034]在本实施中优选的，所述滑移块5一侧固定连接直线电机，有直线电机带动滑动。
[0035]人工把产品放到放料台上，滑移机构带动移动到放料台上，并通过升降机构下降把产品吸附到放料平台1上，此时收料平台2在曝光台上方，收料平台2从曝光平台把产品吸附起来，放料平台1和收料平台2通过滑移机构同步移动，吸附好的产品进行移动，此时放料平台1移动到曝光工作平台，收料平台2移动到收料台上，移动到位置后，整体下降把产品放到曝光工作台和收料台上，完成后进行下一步对位工序。
[0036]上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半自动光刻机手臂直线搬运系统，其特征在于，包括滑移机构，升降机构，放料平台(1)，收料平台(2)，所述放料平台(1)和收料平台(2)设置在升降机构上并随着升降机构上下滑动，所述升降机构设置在滑移机构上并随着滑移机构直线滑动；所述升降机构包括升降平台(3)，所述放料平台(1)和收料平台(2)分别通过延伸板(301)固定设置在升降平台(3)的上表面的两端，所述升降平台(3)固定在升降板(4)上，所述升降板(4)底部设有升降气缸(401),所述升降板的两侧边设有升降滑移板(404)；所述滑移机构包括滑移块(5)，所述升降气缸(401)固定在滑移块(5)上，所述滑移块(5)的底部设有第一滑块(501)，所述第一滑块(501)设置在第一滑轨(6)上，所述第一滑轨(6)固定在底板(7)上，所述滑移块(5)的两侧边分别设有第二滑轨(502)，所述升降滑移板(404)通过第二滑块(403)沿着第二滑轨(502)上下滑动。2.根据权利要求1所述的一种半自动光刻机手臂直线搬运系统，其特征在于：所述延伸板(301)为阶梯型连接块。3.根据权利要求2所述的一种半自动光刻机手臂直线搬运系统，其特征在于：所述升降气缸(401)通过气缸固定板(402)固定在滑移块(5)上，所述气缸固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：石利，
申请(专利权)人：无锡旭电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：