一种高精度掩膜对位系统技术方案

本实用新型专利技术涉及玻璃掩膜版安装技术领域，尤其涉及一种高精度掩膜对位系统。包括摄像组件、电脑控制组件、固定底座和对位活动板，所述固定底座和对位活动板垂直于地面设置，所述固定底座与对位活动板之间设置有三组用于对位活动板平移或转动的导向单元，三组所述导向单元设置在所述对位活动板的其中三个顶角并与所述对位活动板可转动连接，所述摄像组件与所述电脑控制组件通信连接，所述摄像组件用于拍摄所述对位活动板，所述电脑控制组件分别与三组所述导向单元电连接。本实用新型专利技术通过采用摄像组件拍摄对位活动板，通过电脑控制组件计算靶点位置与基准位置的偏差，控制导向单元平移和旋转，实现自动对位。实现自动对位。实现自动对位。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度掩膜对位系统


[0001]本技术涉及玻璃掩膜版安装
，尤其涉及一种高精度掩膜对位系统。

技术介绍

[0002]现有机型为手动调节对位系统，不方便调节，产品精度的一致性无法保证，生产效率低，人工成本高。现有机型为水平布置调节对位装置，由于水平安装玻璃掩膜版，掩膜版因自身重力影响，发生一定的形变，导致手动对位精度受到影响，产品的精度良率也会降低。随着产品精度不断的提高，需要自动化程度和精度更高的自动对位系统。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种高精度掩膜对位系统，解决了现有技术中水平布置的手动调节的对位装置对位精度低的问题。
[0004]本技术采用了如下技术方案：一种高精度掩膜对位系统，包括摄像组件、电脑控制组件、固定底座和对位活动板，所述固定底座和对位活动板垂直于地面设置，所述固定底座与对位活动板之间设置有三组用于对位活动板平移或转动的导向单元，三组所述导向单元设置在所述对位活动板的其中三个顶角并与所述对位活动板可转动连接，所述摄像组件与所述电脑控制组件通信连接，所述摄像组件用于拍摄所述对位活动板，所述电脑控制组件分别与三组所述导向单元电连接。
[0005]进一步地，所述导向单元包括底座、驱动组件、滑轨组件和旋转组件，所述驱动组件与滑轨组件均安装在所述底座上，所述驱动组件的输出端与所述滑轨组件传动连接，所述驱动组件能够驱动所述滑轨组件沿底座长度方向滑动，所述旋转组件安装在所述滑轨组件的顶端，所述旋转组件与所述对位活动板连接。
[0006]进一步地，所述滑轨组件包括下滑轨、下滑块、上滑轨和上滑块，所述下滑轨安装在所述底座上，并沿底座长度方向设置，所述下滑块与所述下滑轨形成滑动副，所述上滑轨设置在所述下滑块的上表面，所述上滑轨的布置方向与所述下滑轨的布置方向垂直，所述上滑块与所述下滑块形成滑动副，所述旋转组件设置在所述上滑块的顶部。
[0007]进一步地，所述驱动组件的输出端通过联轴器与丝杆连接，所述丝杆与所述下滑块螺纹连接。
[0008]进一步地，所述下滑轨的两侧设置有光电传感器。
[0009]进一步地，所述旋转组件包括交叉滚子轴承。
[0010]进一步地，所述驱动组件包括驱动电机。
[0011]本技术的有益效果：本技术通过采用摄像组件拍摄对位活动板，通过电脑控制组件计算靶点位置与基准位置的偏差，控制导向单元平移和旋转，实现自动对位。固定底座和对位活动板采用立式安装布置，克服了因重力影响导致玻璃掩膜版的变形，使得靶点的精度更高更准确。
附图说明
[0012]图1是本技术的立体结构示意图。
[0013]图2是本技术的俯视结构示意图。
[0014]图3是本技术的侧视结构示意图。
[0015]图4是本技术的导向单元的结构示意图。
具体实施方式
[0016]为了使本领域技术人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0017]在本技术的实施例中，图1是根据本技术一种高精度掩膜对位系统的具体结构提供的立体结构示意图，如图1所示，本技术包括：摄像组件、电脑控制组件、固定底座1和对位活动板2，所述固定底座1和对位活动板2垂直于地面设置，所述固定底座1与对位活动板2之间设置有三组用于对位活动板2平移或转动的导向单元3，三组所述导向单元3设置在所述对位活动板2的其中三个顶角并与所述对位活动板2可转动连接，所述摄像组件与所述电脑控制组件通信连接，所述摄像组件用于拍摄所述对位活动板2，所述电脑控制组件分别与三组所述导向单元3电连接。采用高强度航空铝合金作为对位系统的固定底座，保证对位时底座不会有任何振动，影响精度。
[0018]在本技术的一个实施例中，如图4所示，所述导向单元3包括底座31、驱动组件32、滑轨组件33和旋转组件34，所述驱动组件32与滑轨组件33均安装在所述底座31上，所述驱动组件32的输出端与所述滑轨组件33传动连接，具体的，所述驱动组件32的输出端通过联轴器36与丝杆35连接，所述丝杆35与所述下滑块332螺纹连接。
[0019]所述驱动组件32能够驱动所述滑轨组件33沿底座31长度方向滑动，所述旋转组件34安装在所述滑轨组件33的顶端，所述旋转组件34与所述对位活动板2连接。其中，驱动组件可以是驱动电机或驱动马达。所述旋转组件34可以是交叉滚子轴承。
[0020]所述滑轨组件33包括下滑轨331、下滑块332、上滑轨333和上滑块334，所述下滑轨331安装在所述底座31上，并沿底座31长度方向设置，所述下滑块332与所述下滑轨331形成滑动副，所述下滑轨331的两侧设置有光电传感器37。光电传感器用于对下滑块332进行限位。所述上滑轨333设置在所述下滑块332的上表面，所述上滑轨333的布置方向与所述下滑轨331的布置方向垂直，所述上滑块334与所述下滑块332形成滑动副，所述旋转组件34设置在所述上滑块334的顶部。
[0021]三组导向单元3分别用于控制对位活动板XYθ轴方向的运动，其中，如图2和图3所示，两组导向单元3平行设置，且分别位于对位活动板相对的两个顶角，该两组导向单元3用于控制对位活动板Y轴的平行移动和θ轴的旋转移动，另一组导向单元3设置在对位活动板的其中一个顶角，并与上述两组导向单元3垂直，用于控制对位活动板X轴的平行移动。如此设置可以最大程度的提升对位活动板的转动角度，避免在运转时相互之间出现干涉，从而达到高速度和高精度的控制要求。
[0022]将掩膜版吸附在对位活动板上，摄像组件用于拍摄吸附有掩膜版的对位活动板的图像信息，摄像组件具体可以是CCD相机，电脑通过图像获取靶点数据，并计算出与基准位置的偏差数据，根据偏差数据分别对三组导向单元3发送控制信号，控制三组导向单元3移动，从实现自动对位。其中，电脑控制组件，具体包括电脑， CCD相机获取的图像经由电脑进行靶点数据分析与计算。其中，电脑内运行的靶点数据计算程序与控制程序为本领域技术人员所熟知，可以采用THK公司的对位控制系统。
[0023]最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本技术的技术方案而非限制，尽管参照实例对本技术进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本技术的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本技术的权利要求范围当中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度掩膜对位系统，其特征在于，包括摄像组件、电脑控制组件、固定底座（1）和对位活动板（2），所述固定底座（1）和对位活动板（2）垂直于地面设置，所述固定底座（1）与对位活动板（2）之间设置有三组用于对位活动板（2）平移或转动的导向单元（3），三组所述导向单元（3）设置在所述对位活动板（2）的其中三个顶角并与所述对位活动板（2）可转动连接，所述摄像组件与所述电脑控制组件通信连接，所述摄像组件用于拍摄所述对位活动板（2），所述电脑控制组件分别与三组所述导向单元（3）电连接。2.如权利要求1所述的高精度掩膜对位系统，其特征在于，所述导向单元（3）包括底座（31）、驱动组件（32）、滑轨组件（33）和旋转组件（34），所述驱动组件（32）与滑轨组件（33）均安装在所述底座（31）上，所述驱动组件（32）的输出端与所述滑轨组件（33）传动连接，所述驱动组件（32）能够驱动所述滑轨组件（33）沿底座（31）长度方向滑动，所述旋转组件（34）安装在所述滑轨组件（33）的顶端，所述旋转组件（34）与所述对位活动板（2）连接。3.如权利要求2所述的高...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凌益，
申请(专利权)人：无锡旭电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：