立式曝光机的高精度曝光平台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种立式曝光机的高精度曝光平台，包括顶板、底板、侧板、X轴平移组件、X轴平移平台、左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件、左侧曝光平台、左侧Y轴操作用平移组件、左侧掩膜版平台、左侧掩膜版、气囊密封板、右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件、右侧曝光平台、右侧Y轴操作用平移组件、右侧掩膜版平台、右侧掩膜版、可充放气气囊与抽真空接口。本实用新型专利技术采用立式安装掩膜版，安装简单且掩膜版变形小；产品由上向下传送，可以有效的减少灰尘对产品产生的不良。良。良。

【技术实现步骤摘要】
立式曝光机的高精度曝光平台


[0001]本技术属于曝光机
，具体地说是一种立式曝光机的高精度曝光平台。

技术介绍

[0002]随着经济高速发展，产品的精度不断的提高，对设备的效率及产品的良率越来越高，传统的水平式曝光机采用水平传送，玻璃掩膜版上下安装，掩膜版受重力影响容易变形，上掩膜版上方容易堆积灰尘造成曝光不良，产品的良率和效率不高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种玻璃掩膜版变形小、可以保证产品和玻璃掩膜版贴合得密实无空气的立式曝光机的高精度曝光平台。
[0004]按照本技术提供的技术方案，所述立式曝光机的高精度曝光平台，它包括呈平行设置的顶板与底板，顶板的右端部与底板的右端部通过侧板固定一体，在顶板上开设有产品进口，在对应产品进口正下方的底板上开设有产品出口；
[0005]在顶板的底面以及底板的顶面均固定有内、外两组呈平行设置的X轴平移组件，在对应每组X轴平移组件左侧的顶板的底面以及底板的顶面均固定有X轴伺服马达，X轴伺服马达与对应的X轴平移组件的活动部相连；
[0006]一块呈竖直设置的X轴平移平台的四个边角与对应的X轴平移组件的活动部相连，在X轴平移平台的右侧面安装有左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件，在左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件的最右侧活动部上固定有左侧曝光平台；
[0007]在左侧曝光平台的右侧面上部与下部均固定有左侧Y轴操作用平移组件，在左侧Y轴操作用平移组件的活动部上固定有呈竖直设置的左侧掩膜版平台，左侧掩膜版平台、左侧曝光平台与X轴平移平台的中部均具有正方形窗口，在左侧掩膜版平台的右侧面固定有左侧掩膜版，在左侧掩膜版外侧的左侧掩膜版平台的右侧面固定有气囊密封板；
[0008]在侧板的左侧面安装有右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件，在右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件的最左侧活动部上固定有呈竖直设置的右侧曝光平台，在右侧曝光平台的左侧面安装有右侧Y轴操作用平移组件，在右侧Y轴操作用平移组件的活动部上固定有呈竖直设置的右侧掩膜版平台，右侧掩膜版平台与右侧曝光平台的中部均具有窗口，在右侧掩膜版平台的左侧面固定有呈竖直设置的右侧掩膜版；在右侧掩膜版外侧的右侧掩膜版平台的左侧面固定有可充放气气囊，可充放气气囊与所述气囊密封板配合，在右侧掩膜版平台的右侧面固定有抽真空接口。
[0009]作为优选，在所述X轴平移平台的右侧面上方安装有左侧上方Y轴平移组件与左侧上方Y轴伺服马达，在左侧上方Y轴平移组件的活动部上安装有左侧上方Z轴平移组件；在所述X轴平移平台的右侧面下方安装有左侧下方Z轴平移组件与左侧下方Z轴伺服马达，在左侧下方Z轴平移组件的活动部上安装有左侧下方Y轴平移组件；在左侧上方Z轴平移组件的
活动部与左侧下方Y轴平移组件的活动部上固定有所述的左侧曝光平台；由左侧上方Y轴平移组件、左侧上方Z轴平移组件、左侧下方Z轴平移组件与左侧下方Y轴平移组件组合构成所述的左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件。
[0010]作为优选，在所述侧板的左侧面上方安装有右侧上方Z轴平移组件与右侧上方Z轴伺服马达，在右侧上方Z轴平移组件的活动部上安装有右侧上方Y轴平移组件；在所述侧板的左侧面下方安装有右侧下方Y轴平移组件与右侧下方Y轴伺服马达，在右侧下方Y轴平移组件的活动部上安装有右侧下方Z轴平移组件；在右侧上方Y轴平移组件的活动部与右侧下方Z轴平移组件的活动部上固定有所述的右侧曝光平台；由右侧上方Z轴平移组件、右侧上方Y轴平移组件、右侧下方Y轴平移组件与右侧下方Z轴平移组件组合构成所述的右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件。
[0011]本技术采用立式安装掩膜版，安装简单且掩膜版变形小；产品由上向下传送，可以有效的减少灰尘对产品产生的不良。
附图说明
[0012]图1是本技术的整体结构示意图。
具体实施方式
[0013]下面结合具体实施例对本技术作进一步说明。
[0014]本技术的立式曝光机的高精度曝光平台，它包括呈平行设置的顶板1.1与底板1.2，顶板1.1的右端部与底板1.2的右端部通过侧板1.3固定一体，在顶板1.1上开设有产品进口，在对应产品进口正下方的底板1.2上开设有产品出口；
[0015]在顶板1.1的底面以及底板1.2的顶面均固定有内、外两组呈平行设置的X轴平移组件2.1，在对应每组X轴平移组件2.1左侧的顶板1.1的底面以及底板1.2的顶面均固定有X轴伺服马达2.11，X轴伺服马达2.11与对应的X轴平移组件2.1的活动部相连；
[0016]一块呈竖直设置的X轴平移平台3.1的四个边角与对应的X轴平移组件2.1的活动部相连，在X轴平移平台3.1的右侧面安装有左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件4.1，在左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件4.1的最右侧活动部上固定有左侧曝光平台5.1；
[0017]在左侧曝光平台5.1的右侧面上部与下部均固定有左侧Y轴操作用平移组件6.1，在左侧Y轴操作用平移组件6.1的活动部上固定有呈竖直设置的左侧掩膜版平台7.1，左侧掩膜版平台7.1、左侧曝光平台5.1与X轴平移平台3.1的中部均具有正方形窗口，在左侧掩膜版平台7.1的右侧面固定有左侧掩膜版7.11，在左侧掩膜版7.11外侧的左侧掩膜版平台5.1的右侧面固定有气囊密封板8.1；沿着左侧Y轴操作用平移组件6.1的固定部拉出左侧掩膜版平台7.1，可以清洁或者更换左侧掩膜版7.11；
[0018]在侧板1.3的左侧面安装有右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件2.2，在右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件2.2的最左侧活动部上固定有呈竖直设置的右侧曝光平台3.2，在右侧曝光平台3.2的左侧面安装有右侧Y轴操作用平移组件4.2，在右侧Y轴操作用平移组件4.2的活动部上固定有呈竖直设置的右侧掩膜版平台5.2，右侧掩膜版平台5.2与右侧曝光平台3.2的中部均具有窗口，在右侧掩膜版平台5.2的左侧面固定有呈竖直设置的右侧掩膜版5.22；在右侧掩膜版5.22外侧的右侧掩膜版平台5.2的左侧面固定有可充放气气囊6.2，可充放气
气囊6.2与所述气囊密封板8.1配合，在右侧掩膜版平台5.2的右侧面固定有抽真空接口6.22；沿着右侧Y轴操作用平移组件4.2的固定部拉出右侧掩膜版平台5.2，可以清洁或者更换右侧掩膜版5.22。
[0019]在所述X轴平移平台3.1的右侧面上方安装有左侧上方Y轴平移组件与左侧上方Y轴伺服马达，在左侧上方Y轴平移组件的活动部上安装有左侧上方Z轴平移组件；在左侧上方Y轴伺服马达的驱动下，安装于左侧上方Y轴平移组件的活动部上的部件能沿着左侧上方Y轴平移组件的固定部内外移动；在所述X轴平移平台3.1的右侧面下方安装有左侧下方Z轴平移组件与左侧下方Z轴伺服马达，在左侧下方Z轴平移组件的活动部上安装有左侧下方Y轴平移组件；在左侧下方Z轴伺服马达的驱动下，安装于左侧下方Z轴平移组件的活动部上的部件能沿着左侧下方Z轴平移组件的固定部上下移动；在左侧上方Z轴平移组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式曝光机的高精度曝光平台，它包括呈平行设置的顶板（1.1）与底板（1.2），顶板（1.1）的右端部与底板（1.2）的右端部通过侧板（1.3）固定一体，在顶板（1.1）上开设有产品进口，在对应产品进口正下方的底板（1.2）上开设有产品出口；其特征是：在顶板（1.1）的底面以及底板（1.2）的顶面均固定有内、外两组呈平行设置的X轴平移组件（2.1），在对应每组X轴平移组件（2.1）左侧的顶板（1.1）的底面以及底板（1.2）的顶面均固定有X轴伺服马达，X轴伺服马达与对应的X轴平移组件（2.1）的活动部相连；一块呈竖直设置的X轴平移平台（3.1）的四个边角与对应的X轴平移组件（2.1）的活动部相连，在X轴平移平台（3.1）的右侧面安装有左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（4.1），在左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（4.1）的最右侧活动部上固定有左侧曝光平台（5.1）；在左侧曝光平台（5.1）的右侧面上部与下部均固定有左侧Y轴操作用平移组件（6.1），在左侧Y轴操作用平移组件（6.1）的活动部上固定有呈竖直设置的左侧掩膜版平台（7.1），左侧掩膜版平台（7.1）、左侧曝光平台（5.1）与X轴平移平台（3.1）的中部均具有正方形窗口，在左侧掩膜版平台（7.1）的右侧面固定有左侧掩膜版（7.11），在左侧掩膜版（7.11）外侧的左侧掩膜版平台（5.1）的右侧面固定有气囊密封板（8.1）；在侧板（1.3）的左侧面安装有右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（2.2），在右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（2.2）的最左侧活动部上固定有呈竖直设置的右侧曝光平台（3.2），在右侧曝光平台（3.2）的左侧面安装有右侧Y轴操作用平移组件（4.2），在右侧Y轴操作用平移组件（4.2）的活动部上固定有呈竖直设置的右侧掩膜版平台（5.2），右侧掩膜版...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凌益，
申请(专利权)人：无锡旭电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：