立式曝光机高精度自动间隙调整系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种立式曝光机高精度自动间隙调整系统，包括顶板、底板、侧板、X轴平移组件、X轴伺服马达、X轴平移平台、左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件、左侧曝光平台、左侧Y轴操作用平移组件、左侧掩膜版平台、左侧掩膜版、右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件、右侧曝光平台、右侧Y轴操作用平移组件、右侧掩膜版平台、右侧掩膜版与间隙测量传感器。本实用新型专利技术采用立式安装左右两侧的玻璃掩膜版，减少因重力导致的玻璃掩膜版变形；本实用新型专利技术中，每台X轴伺服马达独立控制，能根据对应的间隙测量传感器的测量数据进行调整，使左侧掩膜版与右侧掩膜版之间的间隙精度更高，从而能使产品曝光精度更好。从而能使产品曝光精度更好。从而能使产品曝光精度更好。

【技术实现步骤摘要】
立式曝光机高精度自动间隙调整系统


[0001]本技术属于立式曝光机
，具体地说是一种立式曝光机高精度自动间隙调整系统。

技术介绍

[0002]随着经济高速发展，产品的精度不断的提高，对设备的效率及产品的良率越来越高，传统的水平式曝光机采用水平传送，玻璃掩膜版上下安装，掩膜版受重力影响容易变形，上掩膜版上方容易堆积灰尘造成曝光不良，产品的良率和效率不高。现有的立式曝光机无法监测到左侧掩膜版与右侧掩膜版对应边角之间的间隙距离数据，生产时无法保证产品的一致性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种能使产品曝光精度更好的立式曝光机高精度自动间隙调整系统。
[0004]按照本技术提供的技术方案，所述立式曝光机高精度自动间隙调整系统，它包括呈平行设置的顶板与底板，顶板的右端部与底板的右端部通过侧板固定一体；
[0005]在顶板的底面以及底板的顶面均固定有内、外两组呈平行设置的X轴平移组件，在对应每组X轴平移组件左侧的顶板的底面以及底板的顶面均固定有X轴伺服马达，X轴伺服马达与对应的X轴平移组件的活动部相连；
[0006]一块呈竖直设置的X轴平移平台的四个边角与对应的X轴平移组件的活动部相连，在X轴平移平台的右侧面安装有左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件，在左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件的最右侧活动部上固定有左侧曝光平台；
[0007]在左侧曝光平台的右侧面上部与下部均固定有左侧Y轴操作用平移组件，在左侧Y轴操作用平移组件的活动部上固定有呈竖直设置的左侧掩膜版平台，左侧掩膜版平台、左侧曝光平台与X轴平移平台的中部均具有正方形窗口，在左侧掩膜版平台的右侧面固定有左侧掩膜版；
[0008]在侧板的左侧面安装有右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件，在右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件的最左侧活动部上固定有呈竖直设置的右侧曝光平台，在右侧曝光平台的左侧面安装有右侧Y轴操作用平移组件，在右侧Y轴操作用平移组件的活动部上固定有呈竖直设置的右侧掩膜版平台，右侧掩膜版平台与右侧曝光平台的中部均具有窗口，在右侧掩膜版平台的左侧面固定有呈竖直设置的右侧掩膜版；
[0009]在所述左侧掩膜版平台的正方形窗口的四个边角位置均安装有间隙测量传感器，间隙测量传感器用于测量左侧掩膜版与右侧掩膜版对应边角之间的间隙，间隙测量传感器通过PLC与对应的X轴伺服马达相连。
[0010]作为优选，在所述X轴平移平台的右侧面上方安装有左侧上方Y轴平移组件与左侧上方Y轴伺服马达，在左侧上方Y轴平移组件的活动部上安装有左侧上方Z轴平移组件；在所
述X轴平移平台的右侧面下方安装有左侧下方Z轴平移组件与左侧下方Z轴伺服马达，在左侧下方Z轴平移组件的活动部上安装有左侧下方Y轴平移组件；在左侧上方Z轴平移组件的活动部与左侧下方Y轴平移组件的活动部上固定有所述的左侧曝光平台；由左侧上方Y轴平移组件、左侧上方Z轴平移组件、左侧下方Z轴平移组件与左侧下方Y轴平移组件组合构成所述的左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件。
[0011]作为优选，在所述侧板的左侧面上方安装有右侧上方Z轴平移组件与右侧上方Z轴伺服马达，在右侧上方Z轴平移组件的活动部上安装有右侧上方Y轴平移组件；在所述侧板的左侧面下方安装有右侧下方Y轴平移组件与右侧下方Y轴伺服马达，在右侧下方Y轴平移组件的活动部上安装有右侧下方Z轴平移组件；在右侧上方Y轴平移组件的活动部与右侧下方Z轴平移组件的活动部上固定有所述的右侧曝光平台；由右侧上方Z轴平移组件、右侧上方Y轴平移组件、右侧下方Y轴平移组件与右侧下方Z轴平移组件组合构成所述的右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件。
[0012]本技术具有以下优点：
[0013]1、本技术采用立式安装左右两侧的玻璃掩膜版，减少因重力导致的玻璃掩膜版变形；
[0014]2、本技术中，每台X轴伺服马达独立控制，能根据对应的间隙测量传感器的测量数据进行调整，使左侧掩膜版与右侧掩膜版之间的间隙精度更高，从而能使产品曝光精度更好。
附图说明
[0015]图1是本技术的主视图。
[0016]图2是本技术的左视图。
具体实施方式
[0017]下面结合具体实施例对本技术作进一步说明。
[0018]本技术的立式曝光机高精度自动间隙调整系统，如图1和图2所示，它包括呈平行设置的顶板1.1与底板1.2，顶板1.1的右端部与底板1.2的右端部通过侧板1.3固定一体；
[0019]在顶板1.1的底面以及底板1.2的顶面均固定有内、外两组呈平行设置的X轴平移组件2.1，在对应每组X轴平移组件2.1左侧的顶板1.1的底面以及底板1.2的顶面均固定有X轴伺服马达2.11，X轴伺服马达2.11与对应的X轴平移组件2.1的活动部相连；
[0020]一块呈竖直设置的X轴平移平台3.1的四个边角与对应的X轴平移组件2.1的活动部相连，在X轴平移平台3.1的右侧面安装有左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件4.1，在左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件4.1的最右侧活动部上固定有左侧曝光平台5.1；在X轴伺服马达2.11的驱动下，X轴平移平台3.1以及安装在X轴平移平台3.1上的部件能沿着X轴平移组件2.1中的固定部进行左右平移；
[0021]在左侧曝光平台5.1的右侧面上部与下部均固定有左侧Y轴操作用平移组件6.1，在左侧Y轴操作用平移组件6.1的活动部上固定有呈竖直设置的左侧掩膜版平台7.1，左侧掩膜版平台7.1、左侧曝光平台5.1与X轴平移平台3.1的中部均具有正方形窗口，在左侧掩
膜版平台7.1的右侧面固定有左侧掩膜版7.11；
[0022]在侧板1.3的左侧面安装有右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件2.2，在右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件2.2的最左侧活动部上固定有呈竖直设置的右侧曝光平台3.2，在右侧曝光平台3.2的左侧面安装有右侧Y轴操作用平移组件4.2，在右侧Y轴操作用平移组件4.2的活动部上固定有呈竖直设置的右侧掩膜版平台5.2，右侧掩膜版平台5.2与右侧曝光平台3.2的中部均具有窗口，在右侧掩膜版平台5.2的左侧面固定有呈竖直设置的右侧掩膜版5.22；
[0023]在所述左侧掩膜版平台7.1的正方形窗口的四个边角位置均安装有间隙测量传感器8，间隙测量传感器8用于测量左侧掩膜版7.11与右侧掩膜版5.22对应边角之间的间隙，间隙测量传感器8通过PLC与对应的X轴伺服马达2.11相连。
[0024]在所述X轴平移平台3.1的右侧面上方安装有左侧上方Y轴平移组件与左侧上方Y轴伺服马达，在左侧上方Y轴平移组件的活动部上安装有左侧上方Z轴平移组件；在左侧上方Y轴伺服马达的驱动下，安装于左侧上方Y轴平移组件的活动部上的部件能沿着左侧上方Y轴平移组件的固定部内外移动；在所述X轴平移平台3.1的右侧面下方安装有左侧下方Z轴平移组件与左侧下方Z轴伺服马达，在左侧下方Z轴平移组件的活动部上安装有左侧下方Y轴平移组件；在左本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式曝光机高精度自动间隙调整系统，其特征是：它包括呈平行设置的顶板（1.1）与底板（1.2），顶板（1.1）的右端部与底板（1.2）的右端部通过侧板（1.3）固定一体；在顶板（1.1）的底面以及底板（1.2）的顶面均固定有内、外两组呈平行设置的X轴平移组件（2.1），在对应每组X轴平移组件（2.1）左侧的顶板（1.1）的底面以及底板（1.2）的顶面均固定有X轴伺服马达（2.11），X轴伺服马达（2.11）与对应的X轴平移组件（2.1）的活动部相连；一块呈竖直设置的X轴平移平台（3.1）的四个边角与对应的X轴平移组件（2.1）的活动部相连，在X轴平移平台（3.1）的右侧面安装有左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（4.1），在左侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（4.1）的最右侧活动部上固定有左侧曝光平台（5.1）；在左侧曝光平台（5.1）的右侧面上部与下部均固定有左侧Y轴操作用平移组件（6.1），在左侧Y轴操作用平移组件（6.1）的活动部上固定有呈竖直设置的左侧掩膜版平台（7.1），左侧掩膜版平台（7.1）、左侧曝光平台（5.1）与X轴平移平台（3.1）的中部均具有正方形窗口，在左侧掩膜版平台（7.1）的右侧面固定有左侧掩膜版（7.11）；在侧板（1.3）的左侧面安装有右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（2.2），在右侧Y轴、Z轴动力驱动平移组件（2.2）的最左侧活动部上固定有呈竖直设置的右侧曝光平台（3.2），在右侧曝光平台（3.2）的左侧面安装有右侧Y轴操作用平移组件（4.2），在右侧Y轴操作用平移组件（4.2）的活动部上固定有呈竖直设置的右侧掩膜版平台（5.2），右侧掩膜版平台（5.2）与右侧曝光平台（3.2）的中部均具有窗口，在右侧掩膜版平台（5.2）的左侧面固定有呈竖...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凌益，
申请(专利权)人：无锡旭电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：