本实用新型公开了一种适用于ER弹簧夹头的高精度旋转台，包括转轴以及设于所述转轴外部的外壳，所述转轴的前端连接有气缸，所述气缸设于所述外壳的内部；所述气缸的中心设置有气缸活塞，所述气缸活塞内连接有夹头固定座，所述夹头固定座的前端安装有ER...

本实用新型公开了一种单作用气缸3C夹头结构，包括3C夹头、夹头固定座、设于夹头固定座外部的气腔浮动件、设于气腔浮动件外部的气缸座；气腔浮动件与气缸座之间设置有用于进气的浮动腔、用于气腔浮动件复位的浮动弹簧，气腔浮动件朝向夹头固定座的壁面...

本实用新型公开了一种配对角接触轴承分体装配式大型旋转台，包括下座和上座，所述下座的顶面开设有若干个凹槽，所述上座的底面开设有若干个凸起，所述凸起一一对应沉入所述凹槽中以使得所述下座和所述上座上下结构对接；所述下座还设置有顶丝，所述顶丝接...

本实用新型公开了一种单作用气缸ER弹簧夹头结构，包括由内向外依次设置的ER夹头、夹头固定座、活塞、气缸座，夹头固定座与气缸座固定连接于转轴；活塞的前端固定连接有同步运动的夹头螺母，活塞的后端、气缸座、夹头固定座的后端之间形成有用于在通气...

本实用新型公开了一种适用于3c弹簧夹头的高精度旋转台，包括转轴，所述转轴的前端固定有夹头固定座，所述夹头固定座的前端设置有连接头，所述连接头开设有螺纹槽，所述螺纹槽螺纹连接有3c夹头；所述转轴的外周设置有直驱电机，所述直驱电机的外部设置...

本发明公开了一种双作用气缸3c弹簧夹头夹紧机构，包括外壳、设于所述外壳前端的气缸座，所述气缸座内设置有活塞，所述活塞的内壁设置有两个轴承，所述轴承的内圈设置有夹头座，所述夹头座、所述活塞、两个所述轴承为一体，所述夹头座的轴芯孔设置有3c...

本实用新型公开了一种大台面高负载式旋转台，包括底座和转台面板，所述底座和所述转台面板之间设置有轴承和电机，所述轴承与所述电机同轴设置，且所述轴承位于所述电机的外侧，所述电机驱动连接于所述转台面板；所述转台面板固定有转台隔板，述底座固定有...

本实用新型公开了一种单轨式双运动台面小型位移台，包括第一线圈、第二线圈、磁轨，所述第一线圈和第二线圈均设于所述磁轨上且均在所述磁轨上运动；还包括连接于所述第一线圈的第一工作台面、连接于所述第二线圈的第二工作台面、与所述磁轨平行的用于导向...

本发明公开了一种晶圆快速调整多自由度直线导轨位移平台，包括台面、底座以及若干个驱动部，所述驱动部的一端连接于所述底座、另一端连接于所述台面；所述驱动部包括连接于所述底座的第一运动件、驱动所述第一运动件直线运动的驱动件、连接于所述第一运动...

本实用新型公开了一种采用柔性导向的XY两轴手动调节精密位移机构，包括调整板、过渡板、工件台，所述调整板开设有第一通孔，所述过渡板开设有第二通孔，所述过渡板嵌设在所述第一通孔内且连接有y调节件做y方向运动，所述工件台嵌设在所述第二通孔内且...

本发明公开了一种采用柔性簧片导向的多自由度对准平台，包括基座、转动设于基座上的用于承载工件的Chuck盘；还包括用于调平Chuck盘的z－tip－tilt运动机构以及为z－tip－tilt运动机构导向的导向机构；z－tip－tilt运动...

本实用新型公开了一种防尘式移动平台，包括一底座，所述底座上设有上盖，所述底座的上侧面边缘处设有若干个固定滚筒和若干个折边滚筒，所述若干个固定滚筒和所述若干个折边滚筒上共同承载有防尘带，所述防尘带围住所述底座和所述上盖之间的空隙；所述上盖...

本实用新型公开了一种防水移动台，包括底座和沿着所述底座运动的工作台，所述底座的两端均固定有侧板，两个所述侧板与所述工作台之间固定连接有风琴罩；所述底座的长度方向的两个侧边设有第一倾斜面，所述第一倾斜面的低端沿宽度方向朝外、高端沿宽度方向...

本实用新型公开了一种光纤对准小型单轴高精度定位平台,包括载物台、基座、导轨、光栅尺、读数头、直线电机和磁铁，基座设置在载物台的底部，载物台的底部设置有基座，导轨设置在基座顶部的位置，基座内腔的右侧位置设置有光栅尺，读数头设置在光栅尺的外...

本实用新型公开了一种自带除水的工作台，包括底座，所述底座的两个端部固定有密封盖，所述底座上设有沿着所述底座长度方向运动的工作台，所述工作台的两个端部均固定有第一延长段，所述第一延长段分别置于相应的所述密封盖的内部，且所述第一延长段在运动...

本实用新型公开了基于半导体缺陷检测大行程高稳定性高精度运动平台，包括底座，所述底座的顶部固定连接有下导轨，所述底座顶部的中部固定连接有下磁轨，所述底座顶部左侧的边缘固定连接有下行程感应停止器，所述底座顶部的中部固定连接有光栅尺，所述下导...

本发明公开了一种高响应高平衡工作平台，包括水平移动组件、竖直运动组件和平衡组件；所述水平运动组件在水平运动时利用斜面带动所述竖直运动组件进行竖直运动；所述平衡组件置于所述竖直运动组件的一侧或者两侧，利用导向件为所述竖直运动组件提供竖直导...

本实用新型公开了一种基于激光微加工高动态响应高精度运动平台，包括底板，底板的左右两侧分别对称的设有两个下磁轨，下磁轨，下磁轨内部两侧分别对称的设有若干段磁铁二，底板上两侧位于下磁轨的旁边位置分别对称的设有两个下导轨，下导轨的上方设有移动...

本实用新型公开了一种基于伺服电机滚珠丝杠驱动小型高精度定位平台，包括外壳，外壳顶部的右侧等距离开设有第一凹槽，第一凹槽的内腔螺纹连接有尖头螺栓，外壳顶部的中部开设有第二凹槽，第二凹槽的内腔固定连接有风琴罩，风琴罩远离尖头螺栓的一端固定连...

本实用新型公开了基于光纤对准小型双轴高精度定位平台，包括基座，所述基座的顶部固定连接有下导轨，所述基座的左侧设置有电极端口，所述下导轨的顶部固定连接有限位块，所述下导轨的外壁滑动连接有导轨滑座，所述导轨滑座的顶部固定连接有底板，所述底板...