一种单轨式双运动台面小型位移台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单轨式双运动台面小型位移台，包括第一线圈、第二线圈、磁轨，所述第一线圈和第二线圈均设于所述磁轨上且均在所述磁轨上运动；还包括连接于所述第一线圈的第一工作台面、连接于所述第二线圈的第二工作台面、与所述磁轨平行的用于导向的导轨，所述第一工作台面和所述第二工作台面均滑动连接于所述导轨。本实用新型专利技术占用空间小，磁轨宽度较窄，体积小的同时能够满足双工位的功能，便于安装使用；本实用新型专利技术利用单导轨、直线电机、光栅尺的紧凑排布完成窄宽度的结构，实现底板1的宽度较窄的目的，较大程度上压缩宽度，底板结构刚性较好，可以做长行程双工位台。可以做长行程双工位台。可以做长行程双工位台。

【技术实现步骤摘要】
一种单轨式双运动台面小型位移台


[0001]本技术涉及工作台，具体是一种单轨式双运动台面小型位移台。

技术介绍

[0002]在半导体、芯片等精密器件加工生产时，需要使用到很多工作台面，其中一种台面是位移台，用于将工件在两个加工位置之间进行转移。
[0003]大部分工作场合所需要的位移台是双工位的，双工位的位移台就需要双电机、双轨道，而一旦设置双电机、双轨道就意味着位移台的体积较大、占用空间大，针对一些小空间的工位来说，双轨道的电机就很难安装使用。

技术实现思路

[0004]为解决上述现有技术的缺陷，本技术提供一种单轨式双运动台面小型位移台，本技术占用空间小，磁轨宽度较窄，体积小的同时能够满足双工位的功能，便于安装使用。
[0005]为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案：一种单轨式双运动台面小型位移台，包括第一线圈、第二线圈、磁轨，所述第一线圈和第二线圈均设于所述磁轨上且均在所述磁轨上运动；
[0006]还包括连接于所述第一线圈的第一工作台面、连接于所述第二线圈的第二工作台面、与所述磁轨平行的用于导向的导轨，所述第一工作台面和所述第二工作台面均滑动连接于所述导轨。
[0007]进一步地，所述第一线圈连接有第一滑台，所述第一滑台连接有第一滑块，所述第一滑块滑动设置于所述导轨上；所述第一工作台面连接于所述第一滑台且随着所述第一滑台运动。
[0008]进一步地，所述第二线圈连接有第二滑台，所述第二滑台连接有第二滑块，所述第二滑块滑动设置于所述导轨上；所述第二工作台面连接于所述第二滑台且随着所述第二滑台运动。
[0009]进一步地，还包括底板，所述磁轨和所述导轨均固定于所述底板上。
[0010]进一步地，所述底板的两端设置有端盖，所述磁轨和所述导轨均固定于所述端盖。
[0011]进一步地，所述端盖设置有导向带，所述第一滑台和所述第二滑台均设于所述导向带的下方，所述第一工作台面和所述第二工作台面均设于所述导向带的上方，且，所述第一滑台和所述第一工作台面连接后沿着所述导向带运动，所述第二滑台和所述第二工作台面连接后沿着所述导向带运动。
[0012]进一步地，所述第一滑台、所述第二滑台均设置有一个读数头，所述底板设置有光栅尺，两个所述读数头均对应一个所述光栅尺。
[0013]综上所述，本技术取得了以下技术效果：
[0014]本技术将两个直线电机的磁轨合并为一个，将两个线圈共用一个磁轨，将两
个磁轨的占用空间降低为一个磁轨的空间，同时降低成本，不仅使用安装方便，适应小场所的工位，还节约成本；
[0015]本技术将磁轨做到很窄，极大的减小安装空间，分别控制两个线圈，能够满足双工位的工作需求；
[0016]本技术利用单导轨、直线电机、光栅尺的紧凑排布完成窄宽度的结构，实现底板1的宽度较窄的目的，较大程度上压缩宽度，底板结构刚性较好，可以做长行程双工位台。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例提供的一种单轨式双运动台面小型位移台示意图；
[0018]图2是图1的俯视图；
[0019]图3是图1的侧视图；
[0020]图4是图3中A－A剖面示意图。
具体实施方式
[0021]以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0022]本具体实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对本技术的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0027]实施例：
[0028]如图1、图2、图3所示，一种单轨式双运动台面小型位移台，包括第一线圈3、第二线圈7、磁轨2，第一线圈3和第二线圈7均设于磁轨2上且均在磁轨2上运动；两个线圈共用一个磁轨，形成2个直线电机，第一线圈3和磁轨2组成1个直线电机，第二线圈7和磁轨2组成1个直线电机，两个直线电机共用一个定子即磁轨2，如图3所示，还包括连接于第一线圈3的第一工作台面5、连接于第二线圈7的第二工作台面6，每一个直线电机分别控制一个工作台面，实现一个轨道、两个直线电机控制两个工作台面，适应于小空间不便安装轨道的场所。
[0029]如图4所示是图3中A－A方向的剖面示意图，还设置有与磁轨2平行的用于导向的导轨8，第一工作台面5和第二工作台面6均滑动连接于导轨8。图4中仅示出了图3的右侧的第一工作台面5的连接关系，从图4中可以看出，磁轨2作为定子，第一线圈3作为动子固定连接有第一滑台10，第一滑台10固定连接有第一滑块9，第一滑块9滑动设置于导轨8上；第一工作台面5连接于第一滑台10且随着第一滑台10运动。当控制第一线圈3动作时，第一线圈3沿着磁轨2直线运动，并带动第一滑台10、第一工作台面5运动，同时在导轨8的导向作用下保证运动的顺利、准确。
[0030]与图4右侧工作相同的，左侧的第二工作台面6的工作原理、位置关系与右侧的第一工作台面5相同，结合图3和图1，第二线圈7(图3示出)连接有第二滑台11(图1示出)，第二滑台11连接有第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单轨式双运动台面小型位移台，其特征在于：包括第一线圈(3)、第二线圈(7)、磁轨(2)，所述第一线圈(3)和第二线圈(7)均设于所述磁轨(2)上且均在所述磁轨(2)上运动；还包括连接于所述第一线圈(3)的第一工作台面(5)、连接于所述第二线圈(7)的第二工作台面(6)、与所述磁轨(2)平行的用于导向的导轨(8)，所述第一工作台面(5)和所述第二工作台面(6)均滑动连接于所述导轨(8)。2.根据权利要求1所述的一种单轨式双运动台面小型位移台，其特征在于：所述第一线圈(3)连接有第一滑台(10)，所述第一滑台(10)连接有第一滑块(9)，所述第一滑块(9)滑动设置于所述导轨(8)上；所述第一工作台面(5)连接于所述第一滑台(10)且随着所述第一滑台(10)运动。3.根据权利要求2所述的一种单轨式双运动台面小型位移台，其特征在于：所述第二线圈(7)连接有第二滑台(11)，所述第二滑台(11)连接有第二滑块，所述第二滑块滑动设置于所述导轨(8)上；所述第二工作台面(6)连接于所述第二滑台(11)且随着所述第二滑台(11)运动...

【专利技术属性】
技术研发人员：许云飞，薛鹏飞，
申请(专利权)人：无锡地心科技有限公司，
类型：新型
国别省市：