本实用新型公开了一种电性能测试夹具，包括安装板，至少两组测试组件，至少两组移动模块和器件底座，移动模块和器件底座与安装板固定连接，移动模块沿器件底座对称设置，测试组件与移动模块连接，通过移动模块调节位置和角度，以适应更多尺寸的器件，测试...

本发明涉及环行器技术领域，尤其涉及IPC H04B领域，更具体地，涉及一种陶瓷复合硅基环行器的制作方法及其应用。本发明通过深硅刻蚀通孔、制作铁氧体圆片、复合衬底制备、介质桥制作、光刻图形、真空镀膜、光阻剥离、划片分切八个步骤切割得到了陶...

本实用新型公开了一种新型硅片磁控溅射夹具，包括基板和硅片，基板中心开孔；硅片放置于孔内；基板可拆卸式连接有固定装置；固定装置设置在基板的两侧，对硅片在基板内的位置进行限制。当基片金属膜层要求不同时，通过拆除或安装背面石英玻璃片适配溅射需...

本实用新型公开了一种基片清洗夹具，包括底座和基片，底座开有槽条，基片平放在槽条内；底座上方设置有横条；横条通过在底座上移动来固定基片。常规的基片清洗夹具，大多是把基片竖直的放进基片盒中，实用酸碱溶液浸泡，超声清洗，因为是竖直放置，基片的...

本实用新型公开了一种晶圆级双面化学沉积槽，包括用于对晶圆化学沉积的镀槽；连接于所述镀槽内壁的第一阳极和第二阳极；以及，连接于所述镀槽内壁的阴极杆；夹具，所述夹具包括多组用于调节晶圆位置的夹持部，以通过所需晶圆正反膜层厚度，选择晶圆所处夹...

本实用新型公开了一种新型晶圆化学沉积夹具，包括：主体，内部开设有与晶圆相匹配的承载腔；用于连接阴极杆的连杆；以及，用于固定晶圆的多组夹持部。本实用新型通过多组夹持部的设置，能够稳定的对晶圆的边缘进行固定，使得晶圆不易产生晃动，且不易产生...

本发明涉及IPC B81C1/00领域，尤其涉及一种基于MEMS工艺的硅基微带环形器及其应用。所述硅基微带环形器的制备步骤包括：(1)硅片刻蚀；(2)正反磁控溅射镀膜；(3)刻蚀形成图案；(4)二次正反磁控溅射镀膜；(5)定型，嵌入磁性...

本发明涉及IPC B81C1/00领域，尤其涉及一种硅基微带环形器的制备工艺及其应用。具体步骤包括：S1.对硅片进行前处理，得到第一基片；S2.对第一基片进行真空镀膜，得到第二基片；S3.对第二基片进行多次刻蚀，得到第三基片；S4.对第...

本实用新型公开了一种新型测试键合剪切力的夹具，包括与测力计相连接的底座，所述底座的上端面设置有第一夹具，第二夹具，第三夹具，所述第一夹具与所述第三夹具分别设置于所述第二夹具的两侧，且所述第一夹具靠近所述第二夹具的一侧设置有台阶，所述第一...

本实用新型公开了一种新型键合电性能高效测试治具，包括治具主体，所述治具主体由上板件与下板件通过连接板件组合而成，所述上板件的内部开设有第一固定孔，所述固定孔内部设置有与下板件相连接的竖直滑杆，所述上板件的上端开设有第二固定孔，且所述第二...