一种新型测试键合剪切力的夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型测试键合剪切力的夹具，包括与测力计相连接的底座，所述底座的上端面设置有第一夹具，第二夹具，第三夹具，所述第一夹具与所述第三夹具分别设置于所述第二夹具的两侧，且所述第一夹具靠近所述第二夹具的一侧设置有台阶，所述第一夹具的内部设置有贯穿槽，且所述贯穿槽的内部套接有推杆，用以推动测试样品，所述第二夹具与所述第一夹具相对的一面也设置有所述台阶，所述第三夹具的内部连接有调节机构，且所述调节机构与所述第二夹具相连接。该装置能够适用于不同尺寸的微小尺寸晶片的剪切力的测量，同时装置结构简单，操作方便，使用成本低，适合大规模的使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种新型测试键合剪切力的夹具


[0001]本技术涉及剪切力测试夹具的
，尤其涉及一种新型测试键合剪切力的夹具。

技术介绍

[0002]剪切试验能够测定材料在剪切力作用下的抗力性能，是材料机械性能试验的基本试验方法之一。虽然剪切试验是否成功取决于诸多因素，但是其中的夹具是最基本也是最重要的设备之一。在目前现有的剪切力测力计中，大部分夹具适用于较大的样品，适用于微小样品的夹具较少。且样品越小，对于夹具的精度要求就越高。
[0003]键合是指将两片表面清洁、平整的半导体材料经表面清洗，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。目前在新的领域随着各种新型材料适用于晶圆键合，晶圆键合的研究和开发呈现加速发展。而对于晶圆键合工艺的优良与否，其键合强度至关重要。对于键合强度的研究，就需要将键合后的样品进行剪切力实验，来获得键合样品的剪切应力，从而调整键合工艺。
[0004]而现有的对于获得键合样品剪切力的装置的结构都比较复杂，同时操作也比较麻烦，相应的成本也比较高，同时对于不同尺寸的键合晶片要使用不同的夹具，适用性较低。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中对于存在的上述问题，现提供一种新型测试键合剪切力的夹具，包括与测力计相连接的底座，所述底座的上端面设置有第一夹具，第二夹具，第三夹具；
[0006]所述第一夹具与所述第三夹具分别设置于所述第二夹具的两侧，且所述第一夹具靠近所述第二夹具的一侧设置有台阶，所述第一夹具的内部设置有贯穿槽，且所述贯穿槽的内部套接有推杆，用以推动测试样品；
[0007]所述第二夹具与所述第一夹具相对的一面也设置有所述台阶，所述第三夹具的内部连接有调节机构，且所述调节机构与所述第二夹具相连接。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：所述第二夹具由左右对称的限位块，以及滑动连接于两组所述限位块之间的活动块组成。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：所述台阶设置于所述活动块靠近所述第一夹具的一侧。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：所述限位块的横截面为倒L型结构，所述活动块的横截面为倒T型结构。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：所述调节机构为调节螺丝，且所述调节机构与所述活动块相抵接。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：所述台阶的高度为0.3mm
‑
0.5mm，优选的为0.4mm。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：所述底座通过多组第一固定螺丝与测力计相连
接，所述第一夹具，所述第二夹具已经所述第三夹具通过第二固定螺丝与所述底座相连接。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：所述贯穿槽内部的底面与所述台阶的上表面处于同一水平面。
[0015]作为上述技术方案的进一步描述：所述贯穿槽的横截面为方形，且所述推杆的横截面也为方形。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：所述推杆的一端与外部的测力计的推动杆相抵接。
[0017]上述技术方案具有如下优点或有益效果：将底座通过第一固定螺丝固定在测力计上，通过旋转调节螺丝使活动块移动，使活动块外侧设置的台阶与第一夹具外侧设置的台阶的距离与要进行测试的键合晶片的大小相同，通过上述操作可以适用于不同尺寸的芯片。
[0018]将键合晶片放两组台阶之间，台阶的高度与键合晶片的下层厚度相同，将推杆对准键合晶片，然后启动测力计，使得测力计推动推杆推向键合晶片，当键合晶片的上下两层分开时，测得的力就是它们之间的剪切力，该装置结构简单，操作方便，通过简单的操作就能得到剪切力值，并且使用的成本低，稳定性强，不易发生损坏。
[0019]用于放置晶片的台阶的高度为0.3
‑
0.5mm，可以放置微小尺寸的晶片，从而使该装置能够对微小晶片进行测量。
附图说明
[0020]参考所附附图，以更加充分的描述本实用的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用范围的限制。
[0021]图1为本技术提出的一种新型测试键合剪切力的夹具的立体图；
[0022]图2为本技术提出的一种新型测试键合剪切力的夹具中第一夹具的立体图；
[0023]图3为本技术提出的一种新型测试键合剪切力的夹具中第二夹具的立体图；
[0024]图4为本技术提出的一种新型测试键合剪切力的夹具中底座的立体图。
[0025]上述附图标记表示：1、底座；2、第一夹具；3、第二夹具；4、第三夹具；5、台阶；6、贯穿槽；7、推杆；8、调节机构；9、限位块；10、活动块；11、第一固定螺丝；12、第二固定螺丝。
具体实施方式
[0026]下面将结合本实用实施例中的附图，对本实用实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用保护的范围。
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0028]下面结合附图和具体实施例对本实用作进一步说明，但不作为本实用的限定。
[0029]参照图1
‑
图4，本技术提供的实施例1：一种新型测试键合剪切力的夹具，包括与测力计相连接的底座1，底座1的上端面设置有第一夹具2，第二夹具3，第三夹具4；
[0030]第一夹具2与第三夹具4分别设置于第二夹具3的两侧，且第一夹具2靠近第二夹具
3的一侧设置有台阶5，第一夹具2的内部设置有贯穿槽6，且贯穿槽6的内部套接有推杆7，用以推动测试样品；
[0031]第二夹具3与第一夹具2相对的一面也设置有台阶5，第三夹具4的内部连接有调节机构8，且调节机构8与第二夹具3相连接。
[0032]根据上述技术方案，先通过第二固定螺丝12将第一夹具2，第二夹具3，第三夹具4固定在底座1上，然后将底座1通过第一固定螺丝11固定在测力计上，通过旋转调节螺丝使活动块10移动，使活动块10外侧设置的台阶5与第一夹具2外侧设置的台阶5的距离与要进行测试的键合晶片的大小相同，通过上述操作可以适用于不同尺寸的芯片。
[0033]进一步地，第二夹具3由左右对称的限位块9，以及滑动连接于两组限位块9之间的活动块10组成。
[0034]进一步地，台阶5设置于活动块10靠近第一夹具2的一侧。
[0035]进一步地，限位块9的横截面为倒L型结构，活动块10的横截面为倒T型结构，两组限位块9组成滑动轨道，活动块10在沿着滑动轨道可以进行前进或者后退的滑动。
[0036]进一步地，调节机构8为调节螺丝，且调节机构8与活动块10相抵接。
[0037]进一步地，台阶5的高度为0.3mm
‑
0.5mm，优选的为0.4mm，该装置的整体尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型测试键合剪切力的夹具，其特征在于：包括与测力计相连接的底座(1)，所述底座(1)的上端面设置有第一夹具(2)，第二夹具(3)，第三夹具(4)；所述第一夹具(2)与所述第三夹具(4)分别设置于所述第二夹具(3)的两侧，且所述第一夹具(2)靠近所述第二夹具(3)的一侧设置有台阶(5)，所述第一夹具(2)的内部设置有贯穿槽(6)，且所述贯穿槽(6)的内部套接有推杆(7)，用以推动测试样品；所述第二夹具(3)与所述第一夹具(2)相对的一面也设置有所述台阶(5)，所述第三夹具(4)的内部连接有调节机构(8)，且所述调节机构(8)与所述第二夹具(3)相连接。2.根据权利要求1所述的一种新型测试键合剪切力的夹具，其特征在于：所述第二夹具(3)由左右对称的限位块(9)，以及滑动连接于两组所述限位块(9)之间的活动块(10)组成。3.根据权利要求2所述的一种新型测试键合剪切力的夹具，其特征在于：所述台阶(5)设置于所述活动块(10)靠近所述第一夹具(2)的一侧。4.根据权利要求2所述的一种新型测试键合剪切力的夹具，其特征在于：所述限位块(9)的横截面为倒...

【专利技术属性】
技术研发人员：周丹，殷敏，
申请(专利权)人：苏州华勤源微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：