一种基片清洗夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基片清洗夹具，包括底座和基片，底座开有槽条，基片平放在槽条内；底座上方设置有横条；横条通过在底座上移动来固定基片。常规的基片清洗夹具，大多是把基片竖直的放进基片盒中，实用酸碱溶液浸泡，超声清洗，因为是竖直放置，基片的孔是横向的，孔内杂质不容易清洗掉，存在残留，从而导致孔内金属化不完整；本实用新型专利技术，为了让基片更好地与酸碱溶液接触，将基片平铺于清洗夹具中，基片的孔是竖向的，可利用重力将基片孔内处理干净，保证产品器件的完整性；也能够大大减少因基片在清洗过程中脱落损坏，造成损失；同时可以根据不同型号的基片移动横条，使夹具适配于不同型号的基片。不同型号的基片。不同型号的基片。

【技术实现步骤摘要】
一种基片清洗夹具


[0001]本技术涉及机械领域，具体涉及一种基片清洗夹具。

技术介绍

[0002]在半导体制造装置中，制造工序中颗粒在基片表面附着是大幅影响产品成品率的因素之一。为此，在对基片进行处理之前或之后需要对基片进行清洗，其目的主要是为了去除吸附在基片表面的各种杂质，如微粒、有机物、金属离子等，使基片表面的洁净度达到工艺要求。针对孔内需要金属化的产品，需要在基片上打孔，打孔的方式是激光烧结孔或者机械钻孔，基片会出现孔内烧结物或者基片粉末，这就需要对基片进行清洗，清洗过程中需要使用到基片清洗夹具。
[0003]传统的清洗夹具泛用度不高，清洗不同型号的基片时需要更换不同的清洗夹具；在清洗过程中，基片容易从原有的基片夹具中滑落出来，从而导致了破片，大大影响了产品合格率，同时基片通过夹具竖直放置在清洗溶液中，存在有些嵌于孔内侧壁上的杂志未能去除干净，从而导致产品的孔内金属化不完整，影响产品性能问题。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种基片清洗夹具，包括底座和基片，所述底座开有槽条，所述基片平放在槽条内；所述底座上方设置有横条；所述横条通过在所述底座上移动来固定所述基片。
[0005]优选的：所述横条设计有凸出部分，与所述凸出部分高度与槽条深度相适配，所述凸出部分宽度和所述槽条宽度相适配。
[0006]优选的：所述槽条设置有多个。
[0007]优选的：所述横条的凸出部分数量与槽条数量一致，所述横条两端设置有固定结构。
[0008]优选的：所述固定结构高度与所述底座高度一致。
[0009]优选的：所述横条各个凸出部分的间距与所述底座各个槽条之间的间距相适配。
[0010]优选的：所述横条设置有多个。
[0011]优选的：所述横条两端的固定结构上均开有螺丝孔。
[0012]优选的：所述横条通过螺丝与所述底座固定。
[0013]优选的：所述底座为矩形，所述横条为矩形。
[0014]本技术的技术效果和优点：
[0015]可以根据不同型号的基片移动横条，使夹具适配于不同型号的基片；夹具的设计可以使基片平放，这样的设计让基片开的孔与清洗溶液更好的接触，孔内的杂质受到重力作用，更容易去除，同时能够大大减少因基片在清洗过程中脱落损坏，造成损失。
附图说明
[0016]图1是本申请实施例提供的一种基片清洗夹具的结构示意图；
[0017]图2是本申请实施例提供的一种基片清洗夹具的俯视图；
[0018]图3是本申请实施例提供的一种基片清洗夹具的正视图；
[0019]图4是本申请实施例提供的一种基片清洗夹具的侧视图。
[0020]图中：
[0021]1、底座；2、横条；3、螺丝；4、基片。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]请参阅图1～图4，在本实施例中提供一种基片清洗夹具，包括底座1和基片4，底座1为矩形，上方开有槽条，用于放置基片4，因为基片4是平放在底座1的槽条内，所以只需要对基片4的左右移动进行限制就可以了，槽条数量根据底座1的宽度开设，在本实施例中，开设了四条槽条。
[0025]底座1上设置有横条2，横条2为矩形，数量根据底座1的长度和基片4的大小制定，在本实施例中，设置了三个横条；横条2的下方设置有多个凸出部分，凸出部分的数量与底座1上开设的槽条数量一致，各个凸出部分的间距与各个槽条之间的间距保持一致，凸出部分的高度和槽条的深度相适配，凸出部分的宽度和槽条的宽度相适配；在本实施例中，突出部分设置了四个。
[0026]横条2的两侧设置有固定结构，固定结构与底座1高度一致，两个侧边开设有螺丝孔，通过螺丝3与底座1固定连接。
[0027]夹具采用PVDF材质，具有抗老化、耐化学药品、耐气候、耐紫外光辐射的优良性能。
[0028]常规的基片清洗夹具，大多是把基片竖直的放进基片盒中，实用酸碱溶液浸泡，超声清洗，因为是竖直放置，基片的孔是横向的，孔内杂质不容易清洗掉，存在残留，从而导致孔内金属化不完整；本技术，为了让基片更好地与酸碱溶液接触，将基片平铺于清洗夹具中，基片的孔是竖向的，可利用重力将基片孔内处理干净，保证产品器件的完整性；也能够大大减少因基片在清洗过程中脱落损坏，造成损失；同时可以根据不同型号的基片移动
横条，使夹具适配于不同型号的基片。
[0029]显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。本技术中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基片清洗夹具，包括底座(1)和基片(4)，其特征在于，所述底座(1)开有槽条，所述基片(4)平放在槽条内；所述底座(1)上方设置有横条(2)；所述横条(2)通过在所述底座(1)上移动来固定所述基片(4)。2.根据权利要求1所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)设计有凸出部分，与所述凸出部分高度与槽条深度相适配，所述凸出部分宽度和所述槽条宽度相适配。3.根据权利要求2所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述槽条设置有多个。4.根据权利要求3所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)的凸出部分数量与槽条数量一致，所述横条两端设置有固定结构。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷敏，周丹，徐亚龙，沈健，
申请(专利权)人：苏州华勤源微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：