一种平推式折叠盖板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种平推式折叠盖板装置，包括第一盖板和与第一盖板铰接的第二盖板，第一盖板的右侧与第二盖板的左侧铰接，第一盖板的左侧与一旋转轴固定座组件铰接，第二盖板的右侧设置有一驱动轴，驱动轴的两端分别套设有一轴承，且驱动轴的其中一端与一连接杆的一端铰接，连接杆的另一端与驱动机构连接，第一盖板和第二盖板的前后端还分别设置有一块导向块，导向块中开设有导向槽，轴承容置在导向槽中，并可沿导向槽左右滑动。本实用新型专利技术节约了厂房占地面积，提升了厂房的利用率，节约了成本；其次将直线运行转化为旋转运动，降低开启时推力，提高连接零件使用寿命，防止出现卡死及铰链折损现象，提高了设备稳定性。提高了设备稳定性。提高了设备稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种平推式折叠盖板装置


[0001]本技术属于硅片清洗烘干
，具体而言，涉及一种平推式折叠盖板装置。

技术介绍

[0002]在硅片清洗设备中，槽体盖板大部分采用翻转式或者翻转折叠式。随着设备的更新换代，每次清洗硅片的数量由400片增加到600片，由于每次清洗数量的增多，设备会进行加宽，从而导致盖板为了盖住设备，宽度方向的尺寸就会相应增大。
[0003]而采用翻转式盖板，例如：中国专利申请CN208998451U公开的一种烘干装置，其中在0036段公开了，开口处设置有盖板及为了方便打开盖板或合上盖板，盖板与槽体枢转连接，采用此种连接方式，在打开时，由于盖板宽度方向的加宽，所占用的高度空间也相应的变高，为了应对盖板高度方向变高，目前常采用的方式是：
[0004]1）将用于抓取槽体内放置硅片花篮的机械手位置进行抬升
[0005]2）在盖板下侧增加下沉槽
[0006]而采用将机械手的位置进行抬升时，会导致机械手稳定性变低，设备整体抬高，人员操作也会极其不便，而且设备高度的增加，对厂房占地面积及配套设施要求提高，增加了运维成本。而采用在盖板下侧增加下沉槽时，在盖板打开后，沉入下沉槽，以避免盖板过高，但这种设计，会导致单组设备进一步变宽，从而导致设备串联后变长，同样对厂房占地面积及配套设施要求提高，增加了运维成本。
[0007]而采用传统翻转折叠式盖板，由于使用旋转带动平移，对推力要求过大，当盖板进一步增大时，极易出现卡死及铰链折损现象。

技术实现思路

[0008]为了解决现有技术存在的问题，本技术旨在提供一种平推式折叠盖板装置，在600片较400片槽体增大变宽情况下，以实现整体设备不增高或槽体宽度不增加，降低占地面积，节约成本；并避免因推力过大盖板在使用时出现卡死及铰链折损现象，提升设备稳定性。
[0009]为达到上述技术目的及效果，本技术通过以下技术方案实现：
[0010]一种平推式折叠盖板装置，包括第一盖板和与所述第一盖板铰接的第二盖板，所述第一盖板的右侧与所述第二盖板的左侧铰接，所述第一盖板的左侧与一旋转轴固定座组件铰接，所述第二盖板的右侧设置有一驱动轴，所述驱动轴的两端分别套设有一轴承，且所述驱动轴的其中一端与一连接杆的一端铰接，所述连接杆的另一端与驱动机构连接，所述第一盖板和所述第二盖板的前后端还分别设置有一块导向块，所述导向块中开设有导向槽，所述轴承容置在所述导向槽中，并可沿所述导向槽左右滑动。
[0011]进一步的，所述第一盖板和所述第二盖板通过合页铰接。
[0012]进一步的，所述旋转轴固定座组件包括有旋转轴，所述旋转轴与所述第一盖板固
定连接，所述旋转轴的两端分别套设有一轴承座。
[0013]进一步的，所述旋转轴与所述第一盖板通过锁紧螺丝锁紧连接。
[0014]进一步的，所述驱动轴与所述第二盖板通过锁紧螺丝锁紧连接。
[0015]进一步的，所述导向槽的槽宽略大于所述轴承的外径。
[0016]进一步的，所述驱动机构包括驱动气缸和支撑座，所述驱动气缸通过所述支撑座固定在清洗设备的槽体上，所述连接杆与所述驱动气缸的活塞杆前端铰接。
[0017]本技术的有益效果如下：
[0018]1、本技术采用折叠式盖板，在无下沉槽，不额外增加槽体宽度的情况下，有效的降低了盖板打开后的高度，从而有效的降低了设备整体的高度或者单组设备被进一步加宽的问题，进而有效的节约了厂房占地面积，提升了厂房的利用率，节约了成本。
[0019]2、本技术装置采用平推式折叠，将直线运行转化为旋转运动，可尽可能的降低开启时推力，提高连接零件使用寿命，从而防止出现卡死及铰链折损现象，提高了设备稳定性。
[0020]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
[0021]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0022]图1为本技术装置整体结构示意图；
[0023]图2为本技术装置正视图；
[0024]图3为本技术装置左视图；
[0025]图4为本技术装置俯视图；
[0026]图5为本技术装置在槽体上盖合示意图；
[0027]图6为本技术装置在槽体上盖合侧视示意图；
[0028]图7为本技术装置在槽体上折叠示意图。
[0029]图中标号说明：1、第一盖板；2、第二盖板；4、驱动轴；5、轴承；6、连接杆；7、导向块；8、合页；9、驱动气缸；10、支撑座；301、旋转轴；302、轴承座；701、导向槽。
具体实施方式
[0030]下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本技术。
[0031]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、上端、下端、顶部、底部
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0032]参见图1
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4所示，一种平推式折叠盖板装置，包括第一盖板1和与所述第一盖板1铰接的第二盖板2，所述第一盖板1的右侧与所述第二盖板2的左侧铰接，所述第一盖板1的左侧与一旋转轴固定座组件铰接，所述第二盖板2的右侧设置有一驱动轴4，所述驱动轴4的两
端分别套设有一轴承5，且所述驱动轴4的其中一端与一连接杆6的一端铰接，所述连接杆6的另一端与驱动机构连接，所述第一盖板1和所述第二盖板2的前后端还分别设置有一块导向块7，所述导向块7中开设有导向槽701，所述轴承5容置在所述导向槽701中，并可沿所述导向槽701左右滑动。
[0033]其中，所述驱动机构通过所述连接杆6带动所述驱动轴4左右位移，所述驱动轴4带动所述第一盖板1和所述第二盖板2折叠与打开，所述第一盖板1绕所述旋转轴固定座组件旋转，实现了将直线运行转化为旋转运动，降低了开启时推力；所述轴承5用于支撑和辅助所述驱动轴4位移，有效的降低了所述驱动轴4左右移动时的阻力。
[0034]此外，继续参见图1所示，在本实施例中，所述第一盖板1和所述第二盖板2通过合页8铰接；所述驱动轴4与所述第二盖板2通过锁紧螺丝锁紧连接；所述驱动机构包括驱动气缸9和支撑座10，所述驱动气缸9通过所述支撑座10固定在清洗设备的槽体上，所述连接杆6与所述驱动气缸9的活塞杆前端铰接。
[0035]另外，所述导向槽701的槽宽略大于所述轴承5的外径，有利于所述轴承5在所述导向槽701中滑动。
[0036]继续参见图1
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平推式折叠盖板装置，其特征在于：包括第一盖板（1）和与所述第一盖板（1）铰接的第二盖板（2），所述第一盖板（1）的右侧与所述第二盖板（2）的左侧铰接，所述第一盖板（1）的左侧与一旋转轴固定座组件铰接，所述第二盖板（2）的右侧设置有一驱动轴（4），所述驱动轴（4）的两端分别套设有一轴承（5），且所述驱动轴（4）的其中一端与一连接杆（6）的一端铰接，所述连接杆（6）的另一端与驱动机构连接，所述第一盖板（1）和所述第二盖板（2）的前后端还分别设置有一块导向块（7），所述导向块（7）中开设有导向槽（701），所述轴承（5）容置在所述导向槽（701）中，并可沿所述导向槽（701）左右滑动。2.根据权利要求1所述的平推式折叠盖板装置，其特征在于：所述第一盖板（1）和所述第二盖板（2）通过合页（8）铰接。3.根据权利要求1所述的平推式折叠盖板...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏金财，张军，
申请(专利权)人：常州科隆威智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：