一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，包括慢提槽、烘干槽和机械手，还包括有一用于吹花篮底杆上水滴的吹底杆机构，吹底杆机构位于慢提槽和烘干槽之间，吹底杆机构包括吹风管、可高度调节的支撑架和承载板，吹风管可转动的设置在支撑架的上端，支撑架的下端与承载板连接。本实用新型专利技术可在烘干之前除去花篮底杆水滴，并且无液滴残留，避免了进入后道工序对硅片造成污染，提升了硅片产片良率；有效的缩短了后道烘干时间，提升了吹干效率，减少了烘干槽体配置，减少装置场地占用面积，节约了成本；采用高度及角度均可调节的吹风管结构，提高了吹底杆机构的适用范围以及保证了对花篮底杆水滴有效去除。用范围以及保证了对花篮底杆水滴有效去除。用范围以及保证了对花篮底杆水滴有效去除。

【技术实现步骤摘要】
一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置


[0001]本技术属于硅片清洗烘干
，具体而言，涉及一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置。

技术介绍

[0002]在硅片清洗工艺中，硅片带花篮在慢提工艺结束后，需要在烘干槽对其进行干燥处理，确保硅片及花篮无水滴携带。目前常用的方法主要为：机械手将硅片从慢提槽中提出后直接转运至烘干槽体内对硅片及花篮进行吹干，或者在烘干槽前设置毛刷，对花篮底杆刮水后再转运至烘干槽体内对硅片及花篮进行吹干。其中，采用直接将硅片及花篮转运至烘干槽内的烘干方式，虽然能吹干硅片及花篮主体，但是花篮底杆仍有水滴悬挂，进入后道工序，会对硅片造成硅片污染；而采用使用毛刷对花篮底杆刮水后再转运至烘干槽体内的烘干方式，由于毛刷具有弹性，刮水时容易将水滴甩至硅片上，而且毛刷在使用一段时间后，易残留水渍及酸液，对硅片造成二次污染。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术，本技术旨在提供一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，以实现烘干之前除去花篮底杆水滴，避免对硅片造成硅片污染的同时，缩短后道烘干时间，提升吹干效率及硅片产片良率。
[0004]为达到上述技术目的及效果，本技术通过以下技术方案实现：
[0005]一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，包括用于硅片清洗的慢提槽、用于硅片及花篮烘干的烘干槽和用于实现花篮在所述慢提槽和所述烘干槽之间转运的机械手，还包括有一用于吹花篮底杆上水滴的吹花篮底杆机构，所述吹花篮底杆机构位于所述慢提槽和所述烘干槽之间，所述吹花篮底杆机构包括吹风管、可高度调节的支撑架和承载板，所述吹风管可转动的设置在所述支撑架的上端，所述支撑架的下端与所述承载板连接。
[0006]进一步的，所述吹风管的轴向上开设有一排吹气孔。
[0007]进一步的，所述吹气孔均匀分布。
[0008]进一步的，所述吹气孔为圆孔。
[0009]进一步的，所述支撑架包括固定板和活动板，所述固定板与所述承载板固定连接，所述活动板可上下移动的与所述固定板连接。
[0010]进一步的，所述固定板上开设有两组长圆孔，所述活动板上开设有与所述长圆孔一一对应的圆孔，所述活动板通过所述长圆孔、所述圆孔以及锁紧螺丝实现在所述固定板上高度位置的调节。
[0011]进一步的，所述活动板的上端开设有一圆形通孔，所述圆形通孔的上部开设有开口，所述吹风管卡设在所述圆形通孔内。
[0012]进一步的，所述固定板与所述承载板的连接拐角处设置有一加强筋。
[0013]本技术的有益效果如下：
[0014]1、本技术在慢提槽和烘干槽之间增加吹花篮底杆机构，可在烘干之前除去花篮底杆水滴，并且无液滴残留，避免了进入后道工序对硅片造成污染，提升了硅片产片良率；同时，由于在烘干之前提前除去花篮底杆水滴，有效的缩短了后道烘干时间，提升了吹干效率，从而减少了烘干槽体配置，减少装置场地占用面积，节约了成本；
[0015]2、本技术采用高度及角度均可调节的吹风管结构，提高了吹底杆机构的适用范围以及保证了对花篮底杆水滴有效去除。
[0016]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
[0017]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1为本技术去掉机械手结构示意图；
[0019]图2为本技术整体结构示意图；
[0020]图3为本技术吹底杆机构结构示意图；
[0021]图4为本技术图3中A处放大图；
[0022]图5为本技术支撑架和承载板结构示意图。
[0023]图中标号说明：1、慢提槽；2、烘干槽；3、机械手；4、吹底杆机构；41、吹风管；42、支撑架；43、承载板；411、吹气孔；421、固定板；422、活动板；423、加强筋；4211、长圆孔；4221、圆孔；4222、圆形通孔。
具体实施方式
[0024]下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本技术。
[0025]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、上端、下端、顶部、底部
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0026]参见图1
‑
3所示，一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，包括用于硅片清洗的慢提槽1、用于硅片及花篮烘干的烘干槽2和用于实现花篮在所述慢提槽1和所述烘干槽2之间转运的机械手3，还包括有一用于吹花篮底杆上水滴的吹花篮底杆机构4，所述吹花篮底杆机构4位于所述慢提槽1和所述烘干槽2之间，所述吹花篮底杆机构4包括吹风管41、可高度调节的支撑架42和承载板43，所述吹风管41可转动的设置在所述支撑架42的上端，所述支撑架42的下端与所述承载板43连接。
[0027]其中，参见图1
‑
2所示，在本实施例中，所述慢提槽1和所述烘干槽2紧邻设置，所述吹花篮底杆机构4通过所述承载板43横跨设置在所述慢提槽1和所述烘干槽2的上端面；所述支撑架42供设置三组，分设在所述吹风管41的前部、中部和后部，实现对所述吹风管41的支撑及高度调节。
[0028]参见图3
‑
4所示，在所述吹风管41的轴向上开设有一排均匀分布的吹气孔411，所述吹气孔411为圆孔，但不现有圆孔，也可以为其它形状，例如：长圆孔、椭圆孔等。
[0029]参见图5所示，所述支撑架42包括固定板421和活动板422，所述固定板421与所述承载板43固定连接，所述活动板422可上下移动的与所述固定板421连接。而在本实施例中，为了实现所述活动板422可在所述固定板421上移动，所述固定板421上开设有两组长圆孔4211，所述活动板422上开设有与所述长圆孔4211一一对应的圆孔4221，所述活动板422通过所述长圆孔4211、所述圆孔4221以及锁紧螺丝实现在所述固定板421上高度位置的调节，具体调节时，将锁紧螺丝拧松，向上或向下移动所述活动板422，待移动到所需高度后，将锁紧螺丝拧紧即可；所述活动板422高度调节的范围，由所述长圆孔4211的长度方向决定。
[0030]此外，继续参见图5所示，所述活动板422的上端开设有一圆形通孔4222，所述圆形通孔4222的上部开设有开口，所述吹风管41卡设在所述圆形通孔4222内，所述圆形通孔4222的直径略小于所述吹风管41的外径，既实现了工作时对所述吹风管41卡紧，又便于对所述吹风管41在所述圆形通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，包括用于硅片清洗的慢提槽（1）、用于硅片及花篮烘干的烘干槽（2）和用于实现花篮在所述慢提槽（1）和所述烘干槽（2）之间转运的机械手（3），其特征在于：还包括有一用于吹花篮底杆上水滴的吹花篮底杆机构（4），所述吹花篮底杆机构（4）位于所述慢提槽（1）和所述烘干槽（2）之间，所述吹花篮底杆机构（4）包括吹风管（41）、可高度调节的支撑架（42）和承载板（43），所述吹风管（41）可转动的设置在所述支撑架（42）的上端，所述支撑架（42）的下端与所述承载板（43）连接。2.根据权利要求1所述的具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，其特征在于：所述吹风管（41）的轴向上开设有一排吹气孔（411）。3.根据权利要求2所述的具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，其特征在于：所述吹气孔（411）均匀分布。4.根据权利要求2所述的具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘干装置，其特征在于：所述吹气孔（411）为圆孔。5.根据权利要求1所述的具有烘干前吹花篮底杆机构的清洗烘...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈春芙，张军，
申请(专利权)人：常州科隆威智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：