一种带底部吹风的硅片烘干槽装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，包括烘干槽槽体和花篮，烘干槽槽体的左右两侧的其中一侧设有第一进风槽以及另一侧设有排风槽；位于花篮下方的烘干槽槽体内底端面上设置有吹风管，吹风管的一端从烘干槽槽体内延伸至体外，并与设置在烘干槽槽体外侧壁上的第二进风槽连通；第一进风槽和第二进风槽分别通过对应的送风管路与对应的过滤器、加热器和风机依次连接。本实用新型专利技术解决了花篮底杆残留水滴问题，缩短了烘干时间，提升了烘干效率；提升了出风量及覆盖面，烘干效果更好，克服了花篮及硅片增多，槽体宽度增大，无法有效烘干，造成工艺超时，影响产能的问题，降低了对装置的需求，减少了占用面积及节约了成本；提升了良品率。提升了良品率。提升了良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种带底部吹风的硅片烘干槽装置


[0001]本技术属于硅片烘干
，具体而言，涉及一种带底部吹风的硅片烘干槽装置。

技术介绍

[0002]硅片在进行制绒、水洗后，硅片表面带有液滴，无法直接进行下一工艺，因此硅片带花篮在清洗结束后，需进行干燥处理，确保硅片及花篮无水滴携带。
[0003]目前硅片烘干装置参见图1所示，通过风机带动空气，加热、过滤后进入槽体，在槽体左右两侧打孔或布置风管，对硅片及花篮进行吹干，然后从下方流出。但此种烘干方式，能吹干硅片及花篮主体，花篮底杆仍有水滴悬挂，进入后道工序，造成硅片污染。而且随着一次需要烘干硅片数量的增多，槽体宽度增加，这种左右两侧打孔或布置风管烘干的方式，吹出风压及风量会变小，无法有效烘干，极易造成工艺超时，影响产能。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术存在的问题，本技术旨在提供一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，以实现精准吹花篮底杆，解决花篮底杆残留水滴，并缩短烘干时间，提升烘干效率的同时克服了因花篮及硅片数量的增多，槽体宽度增加，无法有效烘干，极易造成工艺超时，影响产能的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，包括烘干槽槽体（1）和设置在所述烘干槽槽体（1）内用于放置硅片的花篮（2），其特征在于：所述烘干槽槽体（1）的左右两侧的其中一侧设置有向所述烘干槽槽体（1）内吹风的第一进风槽（3）以及另一侧设置有所述烘干槽槽体（1）向外排风的排风槽（4）；位于所述花篮（2）下方的所述烘干槽槽体（1）内底端面上设置有向所述烘干槽槽体（1）内吹风的吹风管（5），所述吹风管（5）的一端从所述烘干槽槽体（1）内延伸至体外，并与设置在所述烘干槽槽体（1）外侧壁上的第二进风槽（6）连通；所述第一进风槽（3）和所述第二进风槽（6）分别通过对应的送风管路与对应的过滤器、加热器和风机依次连接。2.根据权利要求1所述的带底部吹风的硅片烘干槽装置，其特征在于：所述烘干槽槽体（1）内的左右两侧分别设置有一块吹风挡板（7），所述烘干槽槽体（1）的左右内侧壁分别与对应的所述吹风挡板（7）形成所述第一进风槽（3）和所述排风槽（4）；所述吹风挡板（7）上均匀开设有通风孔（701）。3.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏金财，张军，
申请(专利权)人：常州科隆威智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：