下载一种带底部吹风的硅片烘干槽装置的技术资料

文档序号:36637104

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本实用新型公开了一种带底部吹风的硅片烘干槽装置,包括烘干槽槽体和花篮,烘干槽槽体的左右两侧的其中一侧设有第一进风槽以及另一侧设有排风槽;位于花篮下方的烘干槽槽体内底端面上设置有吹风管,吹风管的一端从烘干槽槽体内延伸至体外,并与设置在烘干槽槽...
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