温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种带底部吹风的硅片烘干槽装置,包括烘干槽槽体和花篮,烘干槽槽体的左右两侧的其中一侧设有第一进风槽以及另一侧设有排风槽;位于花篮下方的烘干槽槽体内底端面上设置有吹风管,吹风管的一端从烘干槽槽体内延伸至体外,并与设置在烘干槽槽...该专利属于常州科隆威智能技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州科隆威智能技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种带底部吹风的硅片烘干槽装置,包括烘干槽槽体和花篮,烘干槽槽体的左右两侧的其中一侧设有第一进风槽以及另一侧设有排风槽;位于花篮下方的烘干槽槽体内底端面上设置有吹风管,吹风管的一端从烘干槽槽体内延伸至体外,并与设置在烘干槽槽...