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本实用新型公开了一种基片清洗夹具，包括底座和基片，底座开有槽条，基片平放在槽条内；底座上方设置有横条；横条通过在底座上移动来固定基片。常规的基片清洗夹具，大多是把基片竖直的放进基片盒中，实用酸碱溶液浸泡，超声清洗，因为是竖直放置，基片的孔是...
该专利属于苏州华勤源微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州华勤源微电子科技有限公司授权不得商用。

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