本实用新型涉及用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统，MPU分别连接三个LD组驱动单元、与门二和与门三以及固态继电器；与门一的输出端连接与门二和与门三，与门二的输出端连接多路模拟开关，与门三的输出端连接多路模拟开关；模拟接口的输出控制端...

本发明涉及用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及控制方法，MPU分别连接三个LD组驱动单元、与门二和与门三以及固态继电器；与门一的输出端连接与门二和与门三，与门二的输出端连接多路模拟开关，与门三的输出端连接多路模拟开关；模拟接口的输出...

本实用新型涉及等离子刻蚀机技术领域，且公开了一种ICP低温等离子体刻蚀设备，包括机身缓震装置，所述缓震装置的顶部固定连接有机身，所述机身的右侧活动连接有电控柜，所述电控柜的底部固定连接有缓震轮，所述缓震装置包括顶座、第一弹簧块、缓震杆、...

本实用新型公开了一种ICP光谱仪全频段面形误差收敛装置，具体涉及光谱仪技术领域，包括设备外框，聚光调整架，所述设备外框包括照射屏幕，所述照射屏幕的内侧中央设置有射程调距器，所述聚光调整架设置在设备外框的内侧，所述聚光调整架包括聚光集束架...

本实用新型涉及一种PECVD薄膜沉积脉冲调制射频装置，包括箱体，所述箱体底部固定安装有支腿，所述箱体的外表面固定安装有控制器，所述箱体的左侧外表面固定安装有散热结构；所述散热结构包括位于箱体左侧外表面的通风口，所述箱体的内顶壁固定安装有...

本实用新型涉及一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控装置，包括刻蚀机主体结构，所述刻蚀机主体结构的内部固定连接有监控结构，所述刻蚀机主体结构的外部固定连接有警报结构；所述刻蚀机主体结构包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的外部固定连接有支撑块；所...

本实用新型公开了数字化高精度品质检验在线分析装置，具体涉及质量检验领域，包括壳体和分析仪，分析仪设在壳体的内部，壳体的顶部固定安装有连接管，连接管的顶部设有气动阀，气动阀的一侧设有推柱，壳体的一侧设有抽水泵，抽水泵的顶部固定安装有水泵开...

本实用新型公开了一种传料纠偏式原子沉积设备，其技术方案要点是：包括气相沉积炉和设置在所述气相沉积炉的进入口处的底座，还包括：检测机构，所述检测机构设置在所述底座上移动机构，所述移动机构固定设置在所述底座上；纠偏辊，所述纠偏辊设置在所述移...

本实用新型公开了一种多路独立供气式PECVD供气沉积系统，其技术方案要点是：包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的出料口的一侧安装有烘干箱，所述气相沉积炉的一侧安装有通风组件，所述通风组件的一端连接有加热箱，所述加热箱安装在所述烘干箱的下表面...

本实用新型公开了一种集成有原子层沉积工艺的化学气相沉积设备，其技术方案要点是：包括气相沉积炉，所述气相沉积炉进料口上安装有第一框架，所述第一框架上通过轴承转动安装有两个吸附辊，两个所述吸附辊的一端均通过设有的转动接头连接有负压机构，所述...

本实用新型公开了一种高效多功能半导体晶片清洗装置，包括：过滤箱；固定结构，其固定安置于过滤箱内，且位于中心部位处；辅助结构，其固定安置于过滤箱上壁面，且位于中心部位处，本实用新型涉及半导体晶片清洗技术领域，通过发动第一电机，带动托盘在固...

本实用新型涉及光刻机技术领域，且公开了一种紫外光刻机，包括底座、第一电机、滑动操作台和曝光装置，所述第一电机安装在底座的一侧，所述第一电机的顶部安装有样品固定架，所述滑动操作台包括Z轴滑动装置和X轴滑动装置，所述曝光装置安装在X轴滑动装...

本实用新型公开了一种半导体生产用晶粒的切片机，涉及半导体生产技术领域，包括工作台，所述工作台的顶端中部后侧和前侧均固定连接有夹紧支撑板，所述夹紧支撑板的外壁前侧中部开设有夹紧槽，所述夹紧槽有多个，所述夹紧槽的内壁顶部和底部均固定连接有夹...

本实用新型公开了一种标签烘干机，包括工作台和箱体，所述箱体位于工作台上侧，所述工作台底端四周设置有支腿，所述支腿上侧通过螺栓固定安装在工作台底端，所述工作台上侧位于箱体内部位置设置有两个导向轴和一个导出轴，所述导向轴和导出轴均匀分布在工...

本实用新型公开了一种新型剥标板，包括机体，所述机体的上表面连接有拎手，所述机体的正面设置有控制面板，所述控制面板的上端嵌接有数字显示屏，所述机体的背面上端设置有开关，所述机体的背面下端设置有电源接口，所述机体的一侧面中部传动连接有限位筒...

本实用新型公开了一种用于替标机的撕标机构，包括替标机，所述壳体的一侧贯穿有支撑板，所述支撑板的顶部设置有标签带，所述壳体的内部顶端一侧设置有压轴，所述壳体的内部顶端另一侧开有滑道，所述坏标粘连轮的一侧转动连接有第一连接轴的一端，所述第一...

本实用新型公开了一种自动贴胶带机，包括基座，所述基座的上表面一侧固定连接有第一气缸，所述基座的上表面中心部位设置有堆料板，所述堆料板的一侧固定连接有贴合装置，所述堆料板的上方设置有传送板，所述传送板的表面覆盖有胶带，所述传送板通过胶带转...

本实用新型公开了一种用于票卡检测机的发卡机构，包括检票机，所述检票机的内部设置有收卡装置，所述收卡装置的一端通过真空吸附带固定连接有发卡装置，所述发卡装置的内部上方开有进卡槽，所述进卡槽的下方设置有第一传送带，所说第一传送带的一端固定连...

本实用新型公开了一种用于票卡检测机的收卡机构，包括收卡箱，所述收卡箱的一端表面通过转动轴转动连接有拉板，所述收卡箱的另一端表面顶端设置有滑带和滑板，所述滑带和滑板的一端均设置有传送带，所述滑带的内部转动连接有滚珠，所述滑板的表面设置有滚...

本实用新型公开了一种用于替标机的缓冲装置，包括底座，所述底座的底端两端通过弹簧垫设置有推动装置，所述弹簧垫的顶端通过调节片设置有调节支柱，所述底座的顶端两端设置有缓冲块，所述缓冲块的上方开有圆孔。该种实用新型设计合理，使用方便，通过设置...