本实用新型专利技术公开了一种高效多功能半导体晶片清洗装置，包括：过滤箱；固定结构，其固定安置于过滤箱内，且位于中心部位处；辅助结构，其固定安置于过滤箱上壁面，且位于中心部位处，本实用新型专利技术涉及半导体晶片清洗技术领域，通过发动第一电机，带动托盘在固定盘内转动，当托盘转动时，会带动托盘上的晶片做圆周运动，通过打开阀门，使水喷到晶片上，起到降低污垢附着能力的作用，此时由于晶片做圆周运动，晶片上的污垢会由于离心力，随着水一起甩出，流入过滤箱内，通过过滤板的过滤，可将水中的污垢过滤，发动第二电机，带动风扇转动，由于托盘的转动甩干，以及风扇的风干，使晶片快速干燥，取出后便可直接使用，大大提升了清洗装置的清洗效率。的清洗效率。的清洗效率。
【技术实现步骤摘要】
一种高效多功能半导体晶片清洗装置
[0001]本技术涉及半导体晶片清洗
，具体为一种高效多功能半导体晶片清洗装置。
技术介绍
[0002]在半导体晶片加工过程中需要一个高度清洁的环境以减少不必要微粒对工艺的影响。但随着精密度的不断提高，线宽的不断缩小以及洁净度的要求不断提高。不仅需要一个高洁净度的净化环境，在很多情况下还需要对晶片表面进行清洗，以满足对被处理晶片表面清洁度的要求；
[0003]现有的清洗装置，功能单一仅仅只有清洗功能，实用性不高，且大多是使用清洗液，不仅容易对晶片造成腐蚀，而且清洗之后的取出也不是很方便，取出后还需要晾干，浪费清洗时间，清洗效率低下。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种高效多功能半导体晶片清洗装置，以解决清洗效率低的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高效多功能半导体晶片清洗装置，包括：
[0006]过滤箱；
[0007]固定结构，其固定安置于过滤箱内，且位于中心部位处；
[0008]辅助结构，其固定安置于过滤箱上壁面，且位于中心部位处；
[0009]还包括：出水口，过滤箱为无上壁正方形箱体结构，出水口固定嵌装于过滤箱前壁面内，且位于底端中心线上；
[0010]所述固定结构，包括：过滤板、底座、第一电机、固定盘、托盘以及若干结构相同的夹紧组件；
[0011]所述过滤板固定嵌装于过滤箱内，且位于中心部位处，所述底座固定安置于过滤板上壁面，且位于中心部位处，所述第一电机固定嵌装于底座内，且其驱动端安装有第一传动杆，所述固定盘为圆形板，且其上壁面中心部位处开设有转动槽，所述固定盘侧壁面等圆周距安装有连接杆一端，且连接杆另一端分别固定安置于过滤箱内侧壁顶端，所述托盘活动嵌装于转动槽内，且其下壁面中心部位处固定连接有第一电机上的第一传动杆，若干所述夹紧组件固定安置于托盘上壁面，且位于四角部位处相互对称。
[0012]优选的，所述辅助结构，包括：保护箱、密封板、T形块、水箱、出水管、阀门、固定箱、第二电机以及风扇；
[0013]所述保护箱为无下底正方体箱体结构，且其右壁面底端中心线上开设有左右贯通的凹槽，并保护箱后壁面右端中心线上开设有T形槽，所述保护箱固定安置于过滤箱上壁面，且位于中心部位处，所述密封板其一端通过销轴安置于保护箱前壁面左端，且其右壁面
中心部位处开设有搬动槽，所述T形块其一端通过销轴安置于搬动槽内，且其另一端与保护箱上的T形槽相契合，所述水箱固定安置于保护箱上壁面中心线左侧，且其上壁面中心线左侧开设有进水孔，所述出水管其一端固定嵌装于水箱前壁面内，且位于底端中心线右侧，并其另一端固定安装有喷头，所述阀门固定嵌装于出水管内，且其上壁面固定安装有转动杆，所述固定箱固定安置于保护箱上壁面中心线右侧，且其左壁面紧贴水箱左壁面，所述第二电机固定嵌装于固定箱内，且其驱动端固定安置有第二传动杆，所述风扇固定安置于第二电机上的第二传动杆另一端，且位于中心部位处。
[0014]优选的，所述夹紧组件，包括；支撑板、一对结构相同的压块、螺纹杆以及旋转端盖；
[0015]所述支撑板固定安置于托盘上壁面四角部位处，且其上壁面后端开设有限位槽，一对所述压块其一端分别活动嵌装于支撑板上的限位槽内，且其前后壁面顶端均开设有结构相同的卡槽，所述螺纹杆其一端活动贯穿于支撑板前壁面，且其另一端活动贯穿于压块前壁面，且与压块相旋接，所述旋转端盖固定安置于螺纹杆一端，且其后壁面紧贴支撑板前壁面。
[0016]优选的，所述压块上的卡槽为三角形。
[0017]优选的，螺纹杆中心线前后两端螺纹为反向设置。
[0018]优选的，所述过滤箱内下壁为倾斜设置。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该一种高效多功能半导体晶片清洗装置，通过发动第一电机，带动托盘在固定盘内转动，当托盘转动时，会带动托盘上的晶片做圆周运动，通过打开阀门，使水喷到晶片上，起到降低污垢附着能力的作用，此时由于晶片做圆周运动，晶片上的污垢会由于离心力，随着水一起甩出，流入过滤箱内，通过过滤板的过滤，可将水中的污垢过滤，发动第二电机，带动风扇转动，由于托盘的转动甩干，以及风扇的风干，使晶片快速干燥，取出后便可直接使用，大大提升了清洗装置的清洗效率。
附图说明
[0020]图1为本技术的安装结构示意图；
[0021]图2为本技术的组合结构示意图；
[0022]图3为本技术的拆分结构示意图；
[0023]图4为本技术的拆分结构示意图；
[0024]图5为本技术的A处结构放大图。
[0025]图中：1、过滤箱，2、固定结构，21、过滤板，22、底座，23、第一电机，24、固定盘，25、托盘，26、夹紧组件，261、支撑板，262、压块，263、螺纹杆，264、旋转端盖，3、辅助结构，31、保护箱，32、密封板，33、T形块，34、水箱，35、出水管，36、阀门，37、固定箱，38、第二电机，39、风扇，4、出水口。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种高效多功能半导体晶片清洗装置，包括：过滤箱1；固定结构2，其固定安置于过滤箱1内，且位于中心部位处；辅助结构3，其固定安置于过滤箱1上壁面，且位于中心部位处；还包括：出水口4，过滤箱1为无上壁正方形箱体结构，出水口4固定嵌装于过滤箱1前壁面内，且位于底端中心线上；固定结构2，包括：过滤板21、底座22、第一电机23、固定盘24、托盘25以及若干结构相同的夹紧组件26；过滤板21固定嵌装于过滤箱1内，且位于中心部位处，底座22固定安置于过滤板21上壁面，且位于中心部位处，第一电机23固定嵌装于底座22内，且其驱动端安装有第一传动杆，固定盘24为圆形板，且其上壁面中心部位处开设有转动槽，固定盘24侧壁面等圆周距安装有连接杆一端，且连接杆另一端分别固定安置于过滤箱1内侧壁顶端，托盘25活动嵌装于转动槽内，且其下壁面中心部位处固定连接有第一电机23上的第一传动杆，若干夹紧组件26固定安置于托盘25上壁面，且位于四角部位处相互对称，通过固定结构2可将晶片固定，且可以带动晶片做圆周运动。
[0028]下列为本案的各电器件型号及作用：
[0029]电机：其为现有技术，只要适用于本方案的电机均可使用。
[0030]作为优选方案，更进一步的，辅助结构3，包括：保护箱31、密封板32、T形块33、水箱34、出水管35、阀门36、固定箱37、第二电机38以及风扇39；<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高效多功能半导体晶片清洗装置，其特征在于，包括：过滤箱(1)；固定结构(2)，其固定安置于过滤箱(1)内，且位于中心部位处；辅助结构(3)，其固定安置于过滤箱(1)上壁面，且位于中心部位处；还包括：出水口(4)，过滤箱(1)为无上壁正方形箱体结构，出水口(4)固定嵌装于过滤箱(1)前壁面内，且位于底端中心线上；所述固定结构(2)，包括：过滤板(21)、底座(22)、第一电机(23)、固定盘(24)、托盘(25)以及若干结构相同的夹紧组件(26)；所述过滤板(21)固定嵌装于过滤箱(1)内，且位于中心部位处，所述底座(22)固定安置于过滤板(21)上壁面，且位于中心部位处，所述第一电机(23)固定嵌装于底座(22)内，且其驱动端安装有第一传动杆，所述固定盘(24)为圆形板，且其上壁面中心部位处开设有转动槽，所述固定盘(24)侧壁面等圆周距安装有连接杆一端，且连接杆另一端分别固定安置于过滤箱(1)内侧壁顶端，所述托盘(25)活动嵌装于转动槽内，且其下壁面中心部位处固定连接有第一电机(23)上的第一传动杆，若干所述夹紧组件(26)分别固定安置于托盘(25)上壁面，且分别位于四角部位处相互对称。2.根据权利要求1所述的一种高效多功能半导体晶片清洗装置，其特征在于：所述辅助结构(3)，包括：保护箱(31)、密封板(32)、T形块(33)、水箱(34)、出水管(35)、阀门(36)、固定箱(37)、第二电机(38)以及风扇(39)；所述保护箱(31)为无下底正方体箱体结构，且其右壁面底端中心线上开设有左右贯通的凹槽，并保护箱(31)后壁面右端中心线上开设有T形槽，所述保护箱(31)固定安置于过滤箱(1)上壁面，且位于中心部位处，所述密封板(32)其一端通过销轴安置于保护箱(31)前壁面左端，且其右壁面中心部位处开设有搬动槽，所述T形块(3...
【专利技术属性】
技术研发人员：张月梅，
申请(专利权)人：苏州光筑激光设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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