本发明提供基于机器视觉的外延片边缘缺陷检测方法、系统及介质，涉及外延片边缘缺陷检测技术领域。本发明采用机器视觉取像计算和高精度轴移动补偿方式精调外延片位置，保证外延片在检测平台的位置精度，从而提供标准精确的边缘量测位置。本发明采用高精度...

本披露公开了一种具有负畸变和宽波段的筒镜以及显微光学系统。该筒镜包括：第一透镜，其为正光焦度；第二透镜，其为负光焦度，第二透镜中曲率半径绝对值较大的一面朝向第一透镜中曲率半径绝对值较大的一面；第三透镜，其为正光焦度，第三透镜中曲率半径绝...

本技术涉及一种晶圆检测设备的激光安全防护系统，包括激光照明模块、激光收集筒、物镜、筒镜、暗场滤光片、第一相机；物镜、筒镜、第一相机在竖直方向上依次同轴心设置，筒镜与第一相机固定连接，物镜与筒镜固定连接；暗场滤光片固定在筒镜内。本技术利用...

本技术涉及一种显微物镜消杂散光装置及显微物镜，该显微物镜消杂散光装置包括底板和若干螺纹板，底板上开设有通孔，若干螺纹板的口径大小不同，若干螺纹板同轴心固定在底板上。本技术提供的显微物镜消杂散光装置可用在显微物镜上，在物镜入瞳处增加显微物...

本发明提供应用在晶圆划裂后产品的切割不良检测方法、设备及介质，该方法包括步骤：对待检测图片进行图像预处理；通过图像分割算法对预处理后的待检测图片进行图像分割，将待检测区域分为切割道区域和背景区域，提取图像的骨架区域；通过交点识别算法检测...

本披露公开了一种用于形成均匀光斑的照明系统及显微系统。该照明系统包括：沿光轴依次设置的光纤、第一透镜、圆形通孔挡板、第二透镜和第三透镜；其中，圆形通孔挡板上设有衰减区，衰减区的中心设有圆形通孔，圆形通孔的圆心处于光轴上，使得第一透镜出射...

本披露公开了一种用于机器视觉检测的双远心镜头。该双远心镜头的放大倍率为‑10×，物方数值孔径为0.4，物方视场为8mm，工作波长为457nm和532nm。该镜头由物方镜组和像方镜组两部分组成，物方镜组和像方镜组均为无限共轭远心系统，这样...

本披露公开了一种用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统

本申请公开一种晶圆检测系统、检测方法、电子设备及存储介质。该晶圆检测系统包括载物台，其用于放置待检测晶圆；光源输入通道，其用于向待检测晶圆投射同轴照明光线；缺陷检测通道，其靠近载物台的一端设有显微物镜，光源输入通道与缺陷检测通道的连通位...

本披露公开了一种用于晶圆检测的光学滤波系统以及晶圆检测设备。该血光滤波系统包括：沿光轴依次布置的第一透镜、液晶屏和第二透镜，其中液晶屏布置成位于第一透镜的后焦面和第二透镜的前焦面处，液晶屏包括液晶单元；以及控制器，用于控制液晶屏并且配置...

本申请公开了一种算法参数文件生成方法、电子设备及存储介质。该算法参数文件生成方法包括：确定多种数据形态分别对应的数据类型；基于多种数据形态分别对应的数据类型确定各个数据类型对应的参数类型；以及基于各个数据类型对应的参数类型构建算法参数描...

本实用新型提供一种用于自动对焦模块的角度调节机构，包括：第一固定板，用以形成角度调节机构的固定基础；第二固定板，用以固定连接自动对焦模块；角度调节连接结构，其上设有可沿圆弧进行固定的圆弧连接结构；角度调节连接板一端与第一固定板连接，另一...

本申请公开了一种晶圆边缘成像系统、其控制方法、电子设备及存储介质。该系统包括：上料定位机构设置于运动机构上方，用于获取待检测晶圆的粗定位图像；待检测晶圆放置于运动机构上，且待检测晶圆的边缘位置位于平行棱镜平板之间；边缘位置包含第一表面边...

本申请公开了一种晶圆对焦方法、电子设备及存储介质。该晶圆对焦方法包括：对吸附于陶瓷吸盘载台表面的晶圆标准片进行扫描，得到晶圆标准片的每一坐标位置对应的参考高度数据；基于每一坐标位置对应的参考高度数据确定陶瓷吸盘载台的平面度数据；以及基于...

本披露公开了一种用于检测衬底暗线长度的方法、电子设备及存储介质。该方法包括：基于衬底检测图像进行锐化处理，以获得锐化图像；从所述锐化图像中提取出初步暗线区域；提取所述初步暗线区域中的暗线轮廓；基于所述暗线轮廓提取暗线骨架；对所述暗线骨架...

本实用新型的实施例公开了一种中路直射式边缘三面检测光学系统及边缘三面检测装置，其中光学系统包括：用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分...

本申请公开了一种光学检测系统，该系统包括：用于放置待检测晶圆的载物台；光源输入通，光源输入通道中设有激光光源以及光束整形镜组，光束整形镜组用于对激光光源的光线进行扩束处理以及匀光处理；缺陷检测通道，缺陷检测通道靠近载物台的一端设有显微物...

本实用新型的实施例公开了一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统，弧形光源包括弧形基座，其具有彼此相对的外表面和内表面；发光单元，其布置在所述弧形基座的内部，以致所述发光单元的光线通过所述内表面向外射出，或者，所述发光单元贴附在所述内...

本披露公开了一种激光光束滤波系统及激光光束整形系统。该滤波系统包括：依次设置的波长调节第一镜组、口径调节第一镜组、口径调节第二镜组、波长调节第二镜组、汇聚透镜和光阑；其中，波长调节第一镜组和波长调节第二镜组为正光焦度，口径调节第一镜组和...

本申请实施例公开了一种光学成像镜头及具有其的成像设备，所述光学成像镜头沿光轴从物侧至像侧依次包括：第一透镜、第二透镜、第一胶合透镜、第五透镜、第二胶合透镜、第三胶合透镜及第十透镜，其中，所述第一透镜、第二透镜及第二胶合透镜均具有正光焦度...