一种光学成像镜头及具有其的成像设备制造技术

本申请实施例公开了一种光学成像镜头及具有其的成像设备，所述光学成像镜头沿光轴从物侧至像侧依次包括：第一透镜、第二透镜、第一胶合透镜、第五透镜、第二胶合透镜、第三胶合透镜及第十透镜，其中，所述第一透镜、第二透镜及第二胶合透镜均具有正光焦度；所述第一胶合透镜、第五透镜、第三胶合透镜及第十透镜均具有负光焦度；所述第五透镜和第二胶合透镜之间设有光阑。根据本实用新型专利技术，该镜头具有大视场高分辨率等特点，同时能够有效缩小径向尺寸，减小镜头体积。小镜头体积。小镜头体积。

【技术实现步骤摘要】
一种光学成像镜头及具有其的成像设备


[0001]本技术涉及光学成像领域，特别涉及一种光学成像镜头及具有其的成像设备。

技术介绍

[0002]随着技术的进步与发展，许多形如液晶面板、晶圆等产品的质量需要进行缺陷检测，这类产品除了表面需要检测外，其边缘质量同样需要进行检测。
[0003]目前，例如晶圆等产品的边缘检测中不仅需要检测边缘，同时也需要检测边缘侧面的一小部分上下表面，为此相关公司研发了晶圆边缘检测技术，可以同时检测晶圆边缘以及边缘侧面的上下表面，为了能够同时拍摄边缘和侧面，镜头需要具有较大物方视场，同时为了提高检测精度，需要使用放大倍率镜头，通常满足物方大视场和放大倍率的镜头通常体积都很大，特别是径向尺寸，较大的体积最终导致检测装置整机的体积偏大，同时也导致检测装置不便于调试及小型化集成。
[0004]有鉴于此，实有必要开发一种径向尺寸小、高分辨率的光学成像镜头及具有其的成像设备。

技术实现思路

[0005]本申请的实施例提供一种光学成像镜头及具有其的成像设备，其能够保持大视场高分辨率的同时，将光学成像镜头的径向尺寸减小，以便于集成在小型设备以及调试维护。
[0006]为了解决上述技术问题，本申请的实施例公开了如下技术方案：
[0007]一方面，提供了一种光学成像镜头，沿光轴从物侧至像侧依次包括：
[0008]第一透镜、第二透镜、第一胶合透镜、第五透镜、第二胶合透镜、第三胶合透镜及第十透镜，
[0009]其中，所述第一透镜、第二透镜及第二胶合透镜均具有正光焦度；所述第一胶合透镜、第五透镜、第三胶合透镜及第十透镜均具有负光焦度；所述第五透镜和第二胶合透镜之间设有光阑。
[0010]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第一透镜具有第一物侧面及第一像侧面，所述第一物侧面及第一像侧面均为凸面。
[0011]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第二透镜具有第二物侧面及第二像侧面，所述第二物侧面及第二像侧面均为凸面。
[0012]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第一胶合透镜由具有负光焦度的第三透镜和具有正光焦度的第四透镜胶合而成，
[0013]其中，所述第三透镜具有第三物侧面及第三像侧面，所述第三物侧面及第三像侧面均为凹面；
[0014]所述第四透镜具有第四物侧面及第四像侧面，所述第四物侧面及第四像侧面均为凸面。
[0015]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第五透镜具有第五物侧面及第五像侧面，所述第五物侧面及第五像侧面的分别为凹面及凸面。
[0016]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第二胶合透镜由具有正光焦度的第六透镜和第七透镜胶合而成，
[0017]其中，所述第六透镜具有第六物侧面及第六像侧面，所述第六物侧面及第六像侧面均为凸面；
[0018]所述第七透镜具有第七物侧面及第七像侧面，所述第七物侧面及第七像侧面分别为凹面及凸面。
[0019]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第三胶合透镜由具有负光焦度的第八透镜和第九透镜胶合而成，
[0020]其中，所述第八透镜具有第八物侧面及第八像侧面，所述第八物侧面及第八像侧面分别为凹面及凸面；
[0021]所述第九透镜具有第九物侧面及第九像侧面，所述第九物侧面及第九像侧面分别为凹面及凸面。
[0022]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第八透镜为正弯月透镜，所述第九透镜为负弯月透镜。
[0023]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第十透镜具有第十物侧面及第十像侧面，所述第十物侧面及第十像侧面分别为凹面及凸面。
[0024]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述光学成像镜头满足条件式：
[0025][0026]其中，f1′0表示所述第十透镜(L10)的焦距，f1′
～9
表示所述第一透镜(L1)至所述第九透镜(L9)的焦距。
[0027]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述光学成像镜头满足条件式：
[0028][0029]其中，H1′0表示所述第十透镜(L10)的主面位置，H1′
～9
表示所述第一透镜(L1)至所述第九透镜(L9)的主面位置。
[0030]另一方面，进一步公开了一种成像设备，除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述成像设备包括如上述任一项所述的光学成像镜头及成像器件，所述成像器件用于将所述光学成像镜头形成的光学影像转换为数字信号。
[0031]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：通过改变光学成像镜头内镜片组的构造与布局，特别是在传感器前增加一块负透镜增大了光学系统的视场，在保证大视场高分辨率的条件下减小了镜头的径向尺寸，以便于日常安装及调试维护。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单
介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制，其中：
[0033]图1为本技术实施例所提供的一种光学成像镜头的结构示意图，图中标示了组成该光学成像镜头的透镜组；
[0034]图2为本技术实施例所提供的一种光学成像镜头的结构示意图，图中标示了各透镜的透光面；
[0035]图3为本技术实施例所提供的一种光学成像镜头的MTF图，图中标示了镜头各个视场的MTF曲线；
[0036]图4为本技术实施例所提供的一种光学成像镜头的点列图，图中标示了镜头各个视场的成像聚焦光斑的形状和大小；
[0037]图5为本技术实施例所提供的一种光学成像镜头在边缘三面检测装置中的应用；
[0038]图6为图5中弧形光源与产品相配合的立体图。
具体实施方式
[0039]下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0040]在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。
[0041]除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学成像镜头，其特征在于，沿光轴(X)从物侧至像侧依次包括：第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第一胶合透镜(G1)、第五透镜(L5)、第二胶合透镜(G2)、第三胶合透镜(G3)及第十透镜(L10)，其中，所述第一透镜(L1)、第二透镜(L2)及第二胶合透镜(G2)均具有正光焦度；所述第一胶合透镜(G1)、第五透镜(L5)、第三胶合透镜(G3)及第十透镜(L10)均具有负光焦度；所述第五透镜(L5)和第二胶合透镜(G2)之间设有光阑(S)。2.如权利要求1所述的光学成像镜头，其特征在于，所述第一透镜(L1)具有第一物侧面(11)及第一像侧面(12)，所述第一物侧面(11)及第一像侧面(12)均为凸面。3.如权利要求1所述的光学成像镜头，其特征在于，所述第二透镜(L2)具有第二物侧面(21)及第二像侧面(22)，所述第二物侧面(21)及第二像侧面(22)均为凸面。4.如权利要求1所述的光学成像镜头，其特征在于，所述第一胶合透镜(G1)由具有负光焦度的第三透镜(L3)和具有正光焦度的第四透镜(L4)胶合而成，其中，所述第三透镜(L3)具有第三物侧面(31)及第三像侧面(32)，所述第三物侧面(31)及第三像侧面(32)均为凹面；所述第四透镜(L4)具有第四物侧面(41)及第四像侧面(42)，所述第四物侧面(41)及第四像侧面(42)均为凸面。5.如权利要求1所述的光学成像镜头，其特征在于，所述第五透镜(L5)具有第五物侧面(51)及第五像侧面(52)，所述第五物侧面(51)及第五像侧面(52)的分别为凹面及凸面。6.如权利要求1所述的光学成像镜头，其特征在于，所述第二胶合透镜(G2)由具有正光焦度的第六透镜(L6)和第七透镜(L7)胶合而成，其中，所述第六透镜(L6)具有第六物侧面(61)及第六像侧面(62)，所述第六物侧面(61)及第六像侧面...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：苏州高视半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：