中路直射式边缘三面检测光学系统及边缘三面检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的实施例公开了一种中路直射式边缘三面检测光学系统及边缘三面检测装置，其中光学系统包括：用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，其特征在于，所述光学系统包括：第一光路、第二光路及第三光路，三条光路的光程相等，所述第二光路为直线式。根据本实用新型专利技术，其仅使用一套光学系统，即可一方面在保证成像清晰度的情况下完成对产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测，另一方面又能减小整机尺寸，以便于安装、调试及检测的进行。及检测的进行。及检测的进行。

【技术实现步骤摘要】
中路直射式边缘三面检测光学系统及边缘三面检测装置


[0001]本技术涉及表面缺陷检测领域，特别涉及一种中路直射式边缘三面检测光学系统及边缘三面检测装置。

技术介绍

[0002]形如液晶面板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域需要进行检测以保证其整体质量，其中这些产品的边缘区域包括边缘面以及与边缘面连接的上下两个表面。
[0003]在对形如液晶面板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域进行检测时，通常需要分别检测上述三个表面是否存在表面缺陷，由于三个表面处于不同方位，并不处于同一个平面上，甚至还有彼此背对的情形，最简单的办法是使用3个成像系统分别对三个表面分别成像，但这样会导致整体的视觉结构变得非常复杂且需要占用较大的空间，同时为了处理图像需要配置更多的电脑，设备费用昂贵的同时也浪费了更多的算力。因此，对于“如何仅使用一套光学系统同时对这三个表面清晰成像”这个问题一直是行业内亟待解决的痛点。
[0004]除此之外，在现有技术中，只能实现同时对两个边缘表面进行表面缺陷检测，因此仍然无法满足对液晶平板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测的需求，而且，如若同时实现对三个边缘表面进行缺陷检测，需要引入至少三条光路，由此光学系统势必变得较为复杂，最终导致整机体积庞大，不利于安装、调试及检测。
[0005]有鉴于此，实有必要开发一种中路直射式边缘三面检测光学系统及边缘三面检测装置，用以解决：如何仅使用一套光学系统，即可一方面在保证成像清晰度的情况下完成液晶平板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测，另一方面又能减小整机尺寸，以便于安装、调试及检测的进行。

技术实现思路

[0006]本技术的实施例提供一种中路直射式边缘三面检测光学系统及边缘三面检测装置，用以解决：如何仅使用一套光学系统，即可一方面在保证成像清
[0007]晰度的情况下完成液晶平板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域三个表面同步5进行表面缺陷检测，另一方面又能减小整机尺寸，以便于安装、调试及检测的进行。
[0008]为了解决上述技术问题，本技术的实施例公开了如下技术方案：
[0009]一方面，提供了一种中路直射式边缘三面检测光学系统，用于对待测产品
[0010]的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表0面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，所述光学系统包括：
[0011]第一光路，包括第一上偏转面、第二上偏转面及第三上偏转面，来自所述第一边缘面的第一光线依次经所述第一上偏转面、第二上偏转面及第三上偏转5面的偏转后投射至一聚焦平面；
[0012]第二光路，包括第一下偏转面、第二下偏转面及第三下偏转面，来自所述第二边缘
面的第二光线依次经所述第一下偏转面、第二下偏转面及第三下偏转面的偏转后投射至所述聚焦平面；
[0013]第三光路，包括彼此相对的第一透光面与第二透光面，来自所述侧表面的0第三光线依次经所述第一透光面及第二透光面的透射后投射至所述聚焦平面；
[0014]其中，定义：
[0015]所述第一光线的光程为第一光程T1；
[0016]所述第二光线的光程为第二光程T2；
[0017]所述第三光线的光程为第三光程T3；则：5所述第一光程T1、第二光程T2及第三光程T3三者光程相等；所述第二光路为直线式。
[0018]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述光学系统具有置物平面、第一方向及第二方向；所述第一方向与所述置物平面相垂直，所述第二方向与所述第一方向相垂直；其中，所述置物平面穿过所述待测产品的中心，以致所述第一边缘面距所述置物平面的距离与所述第二边缘面距所述置物平面的距离相等。
[0019]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第一上偏转面被配置为将所述第一光线从所述第一方向偏转至所述第二方向；
[0020]所述第二上偏转面被配置为将所述第一光线从所述第二方向偏转至所述第一方向；
[0021]所述第三上偏转面被配置为将所述第一光线从所述第一方向偏转至所述第二方向。
[0022]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第一下偏转面被配置为将所述第二光线从所述第一方向偏转至所述第二方向；
[0023]所述第二下偏转面被配置为将所述第二光线从所述第二方向偏转至所述第一方向；
[0024]所述第三下偏转面被配置为将所述第二光线从所述第一方向偏转至所述第二方向。
[0025]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述光学系统还具有与所述第二方向相平行的光轴，所述光轴位于所述置物平面内；其中，第二透光面、第一透光面及所述待测产品沿着所述光轴依次布置，
[0026]其中，所述第一透光面及第二透光面被配置为：所述第三光沿着所述光轴的方向依次透过所述第一透光面与第二透光面，并最终投射至所述聚焦平面。
[0027]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，还包括第一光源与第二光源，所述第一光源与第二光源射出的光线照射在所述待测产品的外周边缘以构成一采光区，部分所述采光区在所述光轴的方向上与所述第一透光面相对，部分所述采光区在所述第一方向上与所述第一上偏转面或所述第一下偏转面相对。
[0028]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，定义：
[0029]所述第一光线沿着所述第一方向从所述第一边缘面出发至所述第一上偏转面的距离为h1；
[0030]所述第一光线沿着所述第二方向从所述第一上偏转面出发至所述第二上偏转面的距离为h2；
[0031]所述第一光线沿着所述第一方向从所述第二上偏转面出发至所述第三上偏转面的距离为h3；
[0032]所述第一光线沿着所述第二方向从所述第三上偏转面出发至所述聚焦平面的距离为h4；则：
[0033]所述第一光程T1的长度为T1＝h1+h2+h3+h4。
[0034]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，定义：
[0035]所述第二光线沿着所述第一方向从所述第二边缘面出发至所述第一下偏转面的距离为h5；
[0036]所述第二光线沿着所述第二方向从所述第一下偏转面出发至所述第二下偏转面的距离为h6；
[0037]所述第二光线沿着所述第一方向从所述第二下偏转面出发至所述第三下偏转面的距离为h7；
[0038]所述第二光线沿着所述第二方向从所述第三下偏转面出发至所述聚焦平面的距离为h8；则：
[0039]所述第一光程T2的长度为T2＝h5+h6+h7+h8。
[0040]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第三光路包括中光传输部件，所述中光传输部件由透明材质制成，所述中光传输部件将所述第一透光面及第二透光面之间的位置关系保持本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中路直射式边缘三面检测光学系统，用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，其特征在于，所述光学系统包括：第一光路，包括第一上偏转面、第二上偏转面及第三上偏转面，来自所述第一边缘面的第一光线依次经所述第一上偏转面、第二上偏转面及第三上偏转面的偏转后投射至一聚焦平面；第二光路，包括第一下偏转面、第二下偏转面及第三下偏转面，来自所述第二边缘面的第二光线依次经所述第一下偏转面、第二下偏转面及第三下偏转面的偏转后投射至所述聚焦平面；第三光路，包括彼此相对的第一透光面与第二透光面，来自所述侧表面的第三光线依次经所述第一透光面及第二透光面的透射后投射至所述聚焦平面；其中，定义：所述第一光线的光程为第一光程T1；所述第二光线的光程为第二光程T2；所述第三光线的光程为第三光程T3；则：所述第一光程T1、第二光程T2及第三光程T3三者光程相等；所述第二光路为直线式。2.如权利要求1所述的中路直射式边缘三面检测光学系统，其特征在于，所述光学系统具有置物平面、第一方向及第二方向；所述第一方向与所述置物平面相垂直，所述第二方向与所述第一方向相垂直；其中，所述置物平面穿过所述待测产品的中心，以致所述第一边缘面距所述置物平面的距离与所述第二边缘面距所述置物平面的距离相等。3.如权利要求2所述的中路直射式边缘三面检测光学系统，其特征在于，所述第一上偏转面被配置为将所述第一光线从所述第一方向偏转至所述第二方向；所述第二上偏转面被配置为将所述第一光线从所述第二方向偏转至所述第一方向；所述第三上偏转面被配置为将所述第一光线从所述第一方向偏转至所述第二方向。4.如权利要求3所述的中路直射式边缘三面检测光学系统，其特征在于，所述第一下偏转面被配置为将所述第二光线从所述第一方向偏转至所述第二方向；所述第二下偏转面被配置为将所述第二光线从所述第二方向偏转至所述第一方向；所述第三下偏转面被配置为将所述第二光线从所述第一方向偏转至所述第二方向。5.如权利要求4所述的中路直射式边缘三面检测光学系统，其特征在于，所述光学系统还具有与所述第二方向相平行的光轴，所述光轴位于所述置物平面内；其中，第二透光面、第一透光面及所述待测产品沿着所述光轴依次布置，其中，所述第一透光面及第二透光面被配置为：所述第三光沿着所述光轴的方向依次透过所述第一透光面与第二透光面，并最终投射至所述聚焦平面。6.如权利要求5所述的中路直射式边缘三面检测光学系统，其特征在于，还包括第一光源与第二光源，所述第一光源与第二光源射出的光线照射在所述待测产品的外周边缘以构成一采光区，部分所述采光区在所述光轴的方向上与所述第一透光面相对，部分所述采光区在所述第一方向上与所述第一上偏转面或所述第一下偏转面相对。7.如权利要求5所述的中路直射式边缘三面检测光学系统，其特征在于，定义：
所述第一光线沿着所述第一方向从所述第一边缘面出...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：苏州高视半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：