弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统技术方案

本实用新型专利技术的实施例公开了一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统，弧形光源包括弧形基座，其具有彼此相对的外表面和内表面；发光单元，其布置在所述弧形基座的内部，以致所述发光单元的光线通过所述内表面向外射出，或者，所述发光单元贴附在所述内表面；其中，所述内表面为内凹的弧面或球面。根据本实用新型专利技术，其提高了对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度，使三面检测效果更佳。使三面检测效果更佳。使三面检测效果更佳。

【技术实现步骤摘要】
弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统


[0001]本技术涉及表面缺陷检测领域，特别涉及一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统。

技术介绍

[0002]形如液晶面板、晶圆及高精度玻璃等产品的外周边缘部分需要进行表面缺陷检测以保证产品整体质量，这些产品的边缘部分包括侧表面以及与侧表面连接的上下两个表面。通常，在对边缘部分检测时需要同时检测上述三个表面，由于三个表面处于不同的平面，因此无法使用同一个成像系统同时对这三个部分成像，最简单的办法是使用3个成像系统分别对三个部分分别成像，但这样会导致整体的视觉结构变得非常复杂且需要占用较大的空间，同时为了处理图像需要配置更多的电脑，浪费更多的算力。
[0003]虽然利用光路折转可以实现使用一个相机对晶圆等产品的边缘三个表面同时清晰成像，但需要对其进行良好的照明才能得到较好的图像。现有的方案是在产品的上下两侧使用点光源来实现对三个表面进行同时照明。采用现有的方案，产品的侧表面与上下两个表面照明面积不同，并且与光源的距离不同，导致侧表面与上下表面亮度不一样，可能导致有的表面过曝或者亮度不够。特别是有些产品三个表面粗糙度不一致，如很多晶圆上表面是光面，下表面是毛面，反射光强是不相等的，如果使用同样的光照强度容易导致成像效果不佳。

技术实现思路

[0004]本技术的实施例提供一种弧形光源及具有其的边缘三面检测光学系统，用以提高对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度，使三面检测效果更佳。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术的实施例公开了如下技术方案：
[0006]一方面，提供了一种弧形光源，用于对待测产品进行补光，所述弧形光源包括：
[0007]弧形基座，其具有彼此相对的外表面和内表面；
[0008]发光单元，其布置在所述弧形基座的内部，以致所述发光单元的光线通过所述内表面向外射出，或者，所述发光单元贴附在所述内表面；
[0009]其中，所述内表面为内凹的弧面或球面。
[0010]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述发光单元为若干个按预设规则排列的LED点光源。
[0011]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，至少部分所述内表面由透明或者半透明材质制成。
[0012]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，其中，所述发光单元包括上段光源、下段光源以及布置在所述上段光源与下段光源之间
的中段光源，所述上段光源的光线至少部分射向所述第一边缘面，所述下段光源的光线至少部分射向所述第二边缘面，所述中段光源的光线至少部分射向所述侧表面。
[0013]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中两两之间连续过渡。
[0014]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中的至少两者彼此隔断。
[0015]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中的至少两者发出的光线颜色不同。
[0016]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述上段光源、中段光源及下段光源中的至少两者发出的光线强度不同。
[0017]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，还包括控光单元，所述控光单元与所述发光单元电连接。
[0018]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述控光单元包括上控光、中控光及下控光，所述上控光、中控光及下控光分别与所述上段光源、中段光源及下段光源电连接。
[0019]另一方面，进一步公开了一种边缘三面检测光学系统，用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述边缘三面检测光学系统包括如上述任一项所述的弧形光源，所述弧形光源产生的光线投射至所述第一边缘面、第二边缘面及侧表面。
[0020]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，边缘三面检测光学系统还包括：
[0021]第一光路，其接收来自所述第一边缘面的第一光线并引导所述第一光线沿着所述第一光路的传播路径传送；
[0022]第二光路，其接收来自所述第二边缘面的第二光线并引导所述第二光线沿着所述第二光路的传播路径传送；以及
[0023]第三光路，其接收来自所述侧表面的第三光线并引导所述第三光线沿着所述第三光路的传播路径传送；
[0024]其中，所述第一光路、所述第二路径及所述第三路径三者的光程相等。
[0025]又一方面，进一步公开了一种边缘三面检测装置，除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述边缘三面检测装置包括如上述任一项所述的边缘三面检测光学系统及保持机构，所述保持机构将所述边缘三面检测光学系统保持在预设位置，以致所述弧形光源产生的光线投射至所述第一边缘面、第二边缘面及侧表面。
[0026]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于所述内表面为内凹的弧面或球面，使得光源距离产品周向边缘三个表面的距离容易达成一致，能够提高对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度。
[0027]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于弧形光源的发光单元分为三个独立的光源，各光源的光照强度可以根据产品表面的是光面还是毛面或者
距离的远近，分别控制对应光源的光照强度，从而提高对产品周向边缘的三个表面进行补光时的光照均匀度，使三面检测效果更佳。
附图说明
[0028]下面结合附图，通过对本技术的具体实施方式详细描述，将使本技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0029]图1是根据本技术实施例提供的一种弧形光源的立体图；
[0030]图2是根据本技术实施例提供的边缘三面检测光学系统的立体图，该光学系统具有弧形光源；
[0031]图3是根据本技术实施例提供的弧形光源与产品相配合的立体图；
[0032]图4是根据本技术实施例提供的弧形光源的俯视图；
[0033]图5是根据本技术实施例提供的弧形光源的前视图；
[0034]图6是根据本技术实施例提供的边缘三面检测光学系统的正视图，图中示出了各光路在正视视角下的具体走向；
[0035]图7是根据本技术实施例提供的边缘三面检测光学系统的俯视图，图中示出了各光路在俯视视角下的具体走向。
具体实施方式
[0036]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弧形光源(3)，用于对待测产品(5)进行补光，其特征在于，所述弧形光源包括：弧形基座(31)，其具有彼此相对的外表面(311)和内表面(312)；发光单元(32)，其布置在所述弧形基座(31)的内部，以致所述发光单元(32)的光线通过所述内表面(312)向外射出，或者，所述发光单元(32)贴附在所述内表面(312)；其中，所述内表面(312)为内凹的弧面或球面。2.如权利要求1所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述发光单元(32)为若干个按预设规则排列的LED点光源。3.如权利要求1所述的弧形光源(3)，其特征在于，至少部分所述内表面(312)由透明或者半透明材质制成。4.如权利要求1所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述待测产品(5)具有彼此相背离的第一表面(51)、第二表面(52)及侧表面(53)，所述第一表面(51)及所述第二表面(52)在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面(511)及第二边缘面(521)，所述侧表面(53)连接在所述第一边缘面(511)与第二边缘面(521)之间，其中，所述发光单元(32)包括上段光源(321)、下段光源(323)以及布置在所述上段光源(321)与下段光源(323)之间的中段光源(322)，所述上段光源(321)的光线至少部分射向所述第一边缘面(511)，所述下段光源(323)的光线至少部分射向所述第二边缘面(521)，所述中段光源(322)的光线至少部分射向所述侧表面(53)。5.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述上段光源(321)、中段光源(322)及下段光源(323)中两两之间连续过渡。6.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述上段光源(321)、中段光源(322)及下段光源(323)中的至少两者彼此隔断。7.如权利要求4所述的弧形光源(3)，其特征在于，所述上段光源(321)、中段光源(...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：苏州高视半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：