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深圳格芯集成电路装备有限公司专利技术
深圳格芯集成电路装备有限公司共有62项专利
一种料条输送装置制造方法及图纸
本技术涉及芯片检测技术领域,特别是涉及一种料条输送装置,其包括:机架、输送轨道、入料盒、出料盒、第一移动机构、第二移动机构。本技术实施例通过先将料条储存在入料盒上,然后再通过第一移动机构将料条从入料盒移动至输送轨道的预设检测工位上,在预...
一种料条定位装置制造方法及图纸
本技术涉及芯片检测技术领域,公开了一种料条定位装置,包括:机架和座体、输送轨道、推动机构、第一挡板、第二挡板、第一驱动机构、第二驱动机构以及第一压板。本申请通过第一驱动机构驱动第一挡板靠近或远离第二挡板,以调整第一挡板与第二挡板之间的距...
一种晶圆检测系统技术方案
本发明涉及一种晶圆检测系统,其包括:机架、定位机构、第一移动机构、搬运机构、检测机构。本发明实施例首先通过定位机构对第一尺寸晶圆或第二尺寸晶圆进行定位。本申请通过第一托盘支撑起第一尺寸晶圆,然后通过第二移动机构驱动第一托盘靠近放置机构,...
一种无监督式芯片缺陷检测方法及装置制造方法及图纸
本发明公开了一种无监督式芯片缺陷检测方法及装置,包括:获取待检测芯片图像,将所述待检测芯片图像输入至预设的重建网络模型,以使所述重建网络模型对待检测芯片图像进行连续若干次下采样处理获取若干个特征图像,对最后一次下采样处理后得到的特征图像...
一种芯片分选装置制造方法及图纸
本发明涉及芯片检测技术领域,公开了一种芯片分选装置,其包括:机架、储料机构、第一输送机构、上料机构、定位机构、检测机构、剔除机构。本申请能够通过第一输送机构将料条从第一输入端运输至第一预设工位上,然后再通过定位机构将料条固定在第一预设工...
一种多芯片取放机械手制造技术
本实用新型涉及一种多芯片取放机械手,包括固定结构、滑动结构、动力结构和吸附结构;滑动结构滑动连接在固定结构上,动力结构设于固定结构上,动力结构与滑动结构传动连接并驱动滑动结构沿z轴位移;吸附结构包括背板和至少两排吸附排组,每一排吸附排组...
芯片分选搬运装置制造方法及图纸
本实用新型涉及芯片分选技术领域,特别涉及一种芯片分选搬运装置。芯片分选搬运装置包括第一移载机构、第二移载机构、搬运组件和分选组件,通过第一移载机构与搬运组件连接,第二移载机构设于搬运组件上,分选组件设于第二移载机构上,可以使得第一移载机...
一种芯片预温结构制造技术
本实用新型涉及一种芯片预温结构,包括芯片载具和可与芯片载具进行热交换的预温盘。预温盘包括流道板和加热模块,芯片载具、流道板和加热模块从上至下依次叠设,流道板上设置有供制冷剂流通的流道。本实用新型通过设置同时具备加热功能和降温功能的预温盘...
一种芯片压测设备制造技术
本发明涉及芯片检测技术领域,特别是涉及一种芯片压测设备,包括控制系统和机架,机架上设有温度施加装置、移载装置、校正块和多个压测装置,校正块的中部设有开口朝上的定位槽,定位槽包括从上至下依次布置的导向部和定位部,定位部与芯片的外轮廓匹配,...
托料支架制造技术
本实用新型公开了一种托料支架,其包括支架本体、第一密封气路和第二密封气路,其中:支架本体上形成有用于放置待载物料的托料面;第一密封气路设置在支架本体中,第一密封气路的一端露出于托料面,另一端能够与真空模块连通,真空模块用于产生真空负压,...
光通讯芯片的缺陷检测方法、系统、电子装置及存储介质制造方法及图纸
本发明提供了一种光通讯芯片的缺陷检测方法、系统、电子装置及存储介质,包括获取用户的模板检索指令,检测预先设置的模板库里是否设置有所检索的检测模板;若是,则使用检测模板对芯片进行拍摄得到目标检测图像,并转至缺陷检测步骤;若否,则转至检测条...
一种用于芯片视觉检测的双向防损传送模块制造技术
本实用新型涉及一种用于芯片视觉检测的双向防损传送模块,包括第一导轨,第一导轨沿直线设置在安装板上,第一滑座和第二滑座均滑动连接在第一导轨上;驱动模组连接驱动第一滑座沿第一导轨进行直线往复运动,第一滑座远离第二滑座的运动方向为正向,反之为...
一种检测设备制造技术
本实用新型提供了一种检测设备,包括机台、第一转盘机构、第二转盘机构、展料机构、检测机构及标记机构;第一转盘机构包括至少两个第一转盘,其用于释放卷带或卷收卷带;第二转盘机构包括至少两个第二转盘,第二转盘与第一转盘一一对应,其用于卷收从第一...
嵌入式在线芯片光学检测机制造技术
本发明提供了一种嵌入式在线芯片光学检测机,嵌入式在线芯片光学检测机包括安装座、传输机构、阻位机构以及检测机构;传输机构设置在安装座上,传输机构一端形成用于引进物料的进料口,传输机构的另一端形成用于引出物料的出料口,且传输机构具有位于进料...
一种芯片料盘搬运结构制造技术
本实用新型具体涉及一种芯片料盘搬运结构,包括横向搬运模组、纵向搬运模组、运盘模组和若干轨道模组;若干所述轨道模组并排设置,用于沿y轴方向运输料盘;所述横向搬运模组位架设于所述轨道模组上方,所述横向搬运模组沿x轴方向延伸并横跨若干所述轨道...
托承结构及检测设备制造技术
本实用新型提供了一种托承结构及检测设备,包括托承板和升降组件;所述托承板形成有托承平面和吸附孔,所述托承平面用于放置料条,所述吸附孔贯穿所述托承平面,所述吸附孔用于吸平料条;所述升降组件与所述托承板连接,所述升降组件用于驱动所述托承板作...
位置校准装置制造方法及图纸
本实用新型提供了一种位置校准装置,其包括第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、载板组件和检测件。载板组件包括载板以及沿第一方向间隔设于载板上的两个感应件,检测件用于感测感应件。第一驱动机构驱动载板组件在第一方向上移动,以使检测件检测...
自适应移载装置及测试设备制造方法及图纸
本实用新型提供了一种自适应移载装置及测试设备,测试设备包括自适应移载装置,自适应移载装置包括驱动机构、自适应机构和装夹件,驱动机构包括驱动件、传动件和执行件,驱动件通过传动件驱动执行件运动,自适应机构包括第一连接件、第二连接件和连接轴,...
悬臂式移载输送装置制造方法及图纸
本实用新型实施例公开了一种悬臂式移载输送装置,包括:Y轴移载模组,Y轴移载模组用于输出Y轴方向的移载动力;Z轴移载模组,Z轴移载模组设置于Y轴移载模组上,Z轴移载模组包括悬置于Y轴移载模组的一侧的悬臂支架;辅助支撑模组,辅助支撑模组设置...
物料中转装置制造方法及图纸
本实用新型属于物料转运领域,尤其涉及一种物料中转装置,该物料中转装置包括轨道、转运车和驱动模组,两轨道上具有沿输送方向设置的承载面以及相对设置的内侧面;转运车滑动设置于两轨道上,转运车包括车体以及设置于车体上的轨道轮组和侧轮组,轨道轮组...
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