一种多芯片取放机械手制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多芯片取放机械手，包括固定结构、滑动结构、动力结构和吸附结构；滑动结构滑动连接在固定结构上，动力结构设于固定结构上，动力结构与滑动结构传动连接并驱动滑动结构沿z轴位移；吸附结构包括背板和至少两排吸附排组,每一排吸附排组具有多个吸附装置；背板固定在滑动结构上，背板上设置有沿y轴方向延伸的第一导向杆，吸附排组滑动穿设在第一导向杆上，吸附排组可沿着第一导向杆移动并定位于第一导向杆上任一位置，以供调节吸附排组之间的距离。本实用新型专利技术通可实现吸附排组在第一导向杆上的位置调整功能，以及可实现多个吸附排组之间的间距调节功能，以便于适配不同型号尺寸的料盘及芯片，扩大适用范围，提高调节便捷度。节便捷度。节便捷度。

【技术实现步骤摘要】
一种多芯片取放机械手


[0001]本技术涉及芯片制造
，具体涉及一种多芯片取放机械手。

技术介绍

[0002]随着集成电路行业的快速发展，芯片的封装和检测设备需求愈加旺盛。在芯片的生产和检测过程中，经常需要将其从一个位置转移到另一个位置，存在大量的物料取放工作，因此转移芯片用的机械手在芯片的自动化设备中是重要的组成部分，机械手上通常设置有真空吸盘等吸附装置对芯片进行吸放。
[0003]但由于各类芯片大小规格不同，所使用的料盘规格亦不同，因此机械手上吸附装置之间的距离不同。当机械手适配于不同类型料盘使用时，需要对机械手上的多个吸附装置进行拆装来实现位置调整，较为繁琐不便，有待改进。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供了一种多芯片取放机械手，用于解决相关技术中机械手上吸附装置位置调整不便的问题。
[0005]为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本技术提出一种多芯片取放机械手，包括固定结构、滑动结构、动力结构和吸附结构；
[0006]所述滑动结构滑动连接在所述固定结构上，所述动力结构设置于所述固定结构上，所述动力结构与所述滑动结构传动连接并驱动所述滑动结构沿z轴位移；
[0007]所述吸附结构包括背板和至少两排吸附排组,每一排吸附排组具有多个吸附装置；
[0008]所述背板固定在所述滑动结构上，所述背板上设置有沿y轴方向延伸的第一导向杆，所述吸附排组滑动穿设在所述第一导向杆上，所述吸附排组可沿着所述第一导向杆移动并定位于第一导向杆上的任一位置，以供调节吸附排组之间的距离。
[0009]在一可选实施例中，所述吸附排组包括至少一根沿x轴方向延伸的第二导向杆和两个导向套，每一根所述第二导向杆均设于两个导向套之间；
[0010]所述吸附装置滑动穿设在所述第二导向杆上，多个所述吸附装置呈直线排列，所述吸附装置可沿着所述第二导向杆移动并定位于所述第二导向杆上的任一位置，以供调节吸附装置之间的距离；
[0011]所述导向套穿设在所述第一导向杆上，所述导向套可沿着所述第一导向杆移动并定位在所述第一导向杆上。
[0012]在一可选实施例中，所述吸附装置上开设有第二顶丝孔，所述第二顶丝孔内旋设有第二顶丝，将所述第二顶丝朝所述第二导向杆方向旋入可顶压所述第二导向杆，使所述吸附装置紧定在所述第二导向杆上，将所述第二顶丝背离所述第二导向杆方向旋出可解除所述吸附装置紧定在所述第二导向杆上的状态。
[0013]在一可选实施例中，所述导向套上开设有第一顶丝孔，所述第一顶丝孔内旋设有
第一顶丝，将所述第一顶丝朝所述第一导向杆方向旋入可顶压所述第一导向杆，使所述导向套紧定在所述第一导向杆上，将所述第一顶丝背离所述第一导向杆方向旋出可解除所述导向套紧定在所述第一导向杆上的状态。
[0014]在一可选实施例中，所述固定结构包括安装板和固定在所述安装板上且沿着z轴方向竖直布置的第一滑轨；
[0015]所述滑动结构包括运动板和固定在所述运动板上的第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨滑动连接；
[0016]所述背板与所述运动板连接，所述动力结构设置在所述安装板上。
[0017]在一可选实施例中，所述动力结构包括设置在所述安装板上的第一电机、轴承连接件和偏心随动轴承；
[0018]所述轴承连接件的两端分别与所述偏心随动轴承和所述第一电机的输出轴连接，所述轴承连接件相对于所述第一电机的输出轴做偏心旋转运动；
[0019]所述运动板上设置有导向件，所述导向件上开设有导向槽，所述偏心随动轴承位于所述导向槽内，所述偏心随动轴承与所述导向槽的槽壁抵接。
[0020]在一可选实施例中，所述安装板上开设通孔供所述轴承连接件和所述偏心随动轴承穿过，所述安装板在z轴方向上间隔设置有第一限位结构和第二限位结构，所述偏心随动轴承位于所述第一限位结构和所述第二限位结构之间，所述第一限位结构和所述第二限位结构用于抵顶所述偏心随动轴承实现限位。
[0021]在一可选实施例中，所述多芯片取放机械手包括复位弹簧，所述复位弹簧的一端与所述安装板连接，所述复位弹簧的另一端与所述运动板连接，在所述运动板在z轴方向移动到最低位时，所述复位弹簧产生形变对所述运动板具有拉力。
[0022]在一可选实施例中，所述多芯片取放机械手还包括搬运轨道，所述搬运轨道连接并控制所述固定结构沿x轴方向进行往复运动。
[0023]在一可选实施例中，所述吸附装置的一端为缓冲式吸嘴。
[0024]实施本技术实施例，将具有如下有益效果：
[0025]本技术通过将带有多个吸附装置的吸附排组设置为可滑动调节的结构，以便于适配不同型号尺寸的料盘以及芯片，需要调节时，移动第一导向杆上的吸附排组至所需位置并定位在第一导向杆上，实现吸附排组在第一导向杆上的位置调整功能，以及可实现多个吸附排组之间的间距调节功能，扩大多芯片取放机械手的适用范围，提高调节便捷度。
[0026]解决了相关技术中机械手上吸附装置位置调整不便的问题。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]其中：
[0029]图1为本技术一可选实施例多芯片取放机械手的立体图；
[0030]图2为图1中多芯片取放机械手拆除搬运轨道后结构的立体图；
[0031]图3为本技术一可选实施例多芯片取放机械手局部结构的分解图。
[0032]附图标记说明如下：1
‑
搬运轨道；11
‑
轨道骨架；12
‑
导轨；13
‑
同步带模组；14
‑
滑块；15
‑
第二电机；2
‑
固定结构；21
‑
安装板；211
‑
第一限位结构；212
‑
第二限位结构；213
‑
限位结构支架；22
‑
第一滑轨；3
‑
滑动结构；31
‑
运动板；32
‑
导向件；321
‑
导向槽；33
‑
第二滑轨；4
‑
动力结构；41
‑
第一电机；42
‑
轴承连接件；43
‑
偏心随动轴承；5
‑
吸附结构；51
‑
背板；511
‑
第一导向杆；52
‑
吸附排组；521
‑
导向套；5211
‑
第一顶丝孔；522
‑
第二导向杆；523<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多芯片取放机械手，其特征在于：包括固定结构(2)、滑动结构(3)、动力结构(4)和吸附结构(5)；所述滑动结构(3)滑动连接在所述固定结构(2)上，所述动力结构(4)设置于所述固定结构(2)上，所述动力结构(4)与所述滑动结构(3)传动连接并驱动所述滑动结构(3)沿z轴位移；所述吸附结构(5)包括背板(51)和至少两排吸附排组(52),每一排吸附排组(52)具有多个吸附装置(523)；所述背板(51)固定在所述滑动结构(3)上，所述背板(51)上设置有沿y轴方向延伸的第一导向杆(511)，所述吸附排组(52)滑动穿设在所述第一导向杆(511)上，所述吸附排组(52)可沿着所述第一导向杆(511)移动并定位于第一导向杆(511)上的任一位置，以供调节吸附排组(52)之间的距离。2.如权利要求1所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述吸附排组(52)包括至少一根沿x轴方向延伸的第二导向杆(522)和两个导向套(521)，每一根所述第二导向杆(522)均设于两个导向套(521)之间；所述吸附装置(523)滑动穿设在所述第二导向杆(522)上，多个所述吸附装置(523)呈直线排列，所述吸附装置(523)可沿着所述第二导向杆(522)移动并定位于所述第二导向杆(522)上的任一位置，以供调节吸附装置(523)之间的距离；所述导向套(521)穿设在所述第一导向杆(511)上，所述导向套(521)可沿着所述第一导向杆(511)移动并定位在所述第一导向杆(511)上的任一位置。3.如权利要求2所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述吸附装置(523)上开设有第二顶丝孔(5231)，所述第二顶丝孔(5231)内旋设有第二顶丝，将所述第二顶丝朝所述第二导向杆(522)方向旋入可顶压所述第二导向杆(522)，使所述吸附装置(523)紧定在所述第二导向杆(522)上，将所述第二顶丝背离所述第二导向杆(522)方向旋出可解除所述吸附装置(523)紧定在所述第二导向杆(522)上的状态。4.如权利要求2所述的多芯片取放机械手，其特征在于：所述导向套(521)上开设有第一顶丝孔(5211)，所述第一顶丝孔(5211)内旋设有第一顶丝，将所述第一顶丝朝所述第一导向杆(511)方向旋入可顶压所述第一导向杆(511)，使所述导向套(521)紧定在所述第一导向杆(511)上，将所述第一顶丝背离所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海裕，林宜龙，廖建辉，张勇，蔡宗儒，
申请(专利权)人：深圳格芯集成电路装备有限公司，
类型：新型
国别省市：