悬臂式移载输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种悬臂式移载输送装置，包括：Y轴移载模组，Y轴移载模组用于输出Y轴方向的移载动力；Z轴移载模组，Z轴移载模组设置于Y轴移载模组上，Z轴移载模组包括悬置于Y轴移载模组的一侧的悬臂支架；辅助支撑模组，辅助支撑模组设置于Z轴移载模组远离悬臂支架的一端，辅助支撑模组与Y轴移载模组支撑配合；以及X轴移载模组，X轴移载模组设置于悬臂支架上。辅助支撑模组与Y轴移载模组配合能够产生一个反向支撑力，该反向支撑力对悬臂支架起到支撑作用，以使悬臂支架能够获得力的平衡，从而减轻甚至消除了悬臂支架运动过程中产生的形变和震动，使整体结构更加平稳，保证托盘移载输送过程中稳定可靠。托盘移载输送过程中稳定可靠。托盘移载输送过程中稳定可靠。

【技术实现步骤摘要】
悬臂式移载输送装置


[0001]本技术涉及芯片生产设备
，尤其涉及一种悬臂式移载输送装置。

技术介绍

[0002]近年来，随着人们消费水平以及生活品质的不断提高，消费类电子产品、智能交互设备等产品的需求量得到了爆炸式增长，而芯片由于扮演着控制大脑的角色，在这类产品中起到至关重要的角色，同时芯片的需求量也越来越大。
[0003]目前，芯片采用芯片生产设备制备。生产时，多个芯片被有序放置在托盘内，以便整盘芯片进入后续加工工位，提高加工效率。然而，装载有芯片的托盘在不公工序之间转移取放时容易出现震荡、晃动等不稳定现象，进而容易造成芯片很难稳定的存放在托盘内，存在一定的安全隐患。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供了一种悬臂式移载输送装置，用于解决现有技术中托盘移载输送过程中容易产生震荡、晃动等不稳定现象，影响芯片传输稳定的问题。
[0005]为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本技术提出一种悬臂式移载输送装置，其包括：
[0006]Y轴移载模组，所述Y轴移载模组用于输出Y轴方向的移载动力；
[0007]Z轴移载模组，所述Z轴移载模组设置于所述Y轴移载模组上，且用于输出Z轴方向的移载动力，所述Z轴移载模组包括悬置于所述Y轴移载模组的一侧的悬臂支架；
[0008]辅助支撑模组，所述辅助支撑模组设置于所述Z轴移载模组远离所述悬臂支架的一端，所述辅助支撑模组与所述Y轴移载模组支撑配合；以及
[0009]X轴移载模组，所述X轴移载模组设置于所述悬臂支架上，所述X轴移载模组用于装载托盘并输出X轴方向的移载动力。
[0010]在其中一个实施例中，所述辅助支撑模组包括支撑座和支撑体，所述支撑体设置于所述支撑座上，所述支撑体与所述Y轴移载模组滑动接触配合或滑动间隙配合。
[0011]在其中一个实施例中，所述支撑座设置为通气座，所述通气座用于与外设气源连通，所述支撑体设置为吹气块，所述吹气块设有吹气孔，所述吹气孔用于向所述Y轴移载模组吹起以提供所述吹气块反向推力。
[0012]在其中一个实施例中，所述吹气孔设置为至少两个，至少两个所述吹气孔均朝向所述Y轴移载模组设置。
[0013]在其中一个实施例中，所述支撑体设置为滚动体，所述滚动体通过转轴转动安装在所述支撑座上，所述滚动体与所述Y轴移载模组滚动配合。
[0014]在其中一个实施例中，所述X轴移载模组包括X轴动力源、X轴直线模组和承载座，所述X轴动力源与所述X轴直线模组驱动连接，以使所述X轴直线模组输出沿X轴方向的直线往复动力，所述承载座与所述X轴直线模组传动连接，且用于承载所述托盘。
[0015]在其中一个实施例中，所述Z轴移载模组包括Z轴动力源、Z轴直线模组、Z轴安装座和悬臂安装板，所述Z轴动力源设置于所述Z轴安装座上并与所述Z轴直线模组驱动连接，以使所述Z轴直线模组输出沿Z轴方向的直线往复动力，所述悬臂安装板与所述Z轴直线模组传动连接，所述悬臂支架设置于所述悬臂安装板上。
[0016]在其中一个实施例中，所述悬臂支架包括悬臂支撑板和悬臂支撑结构，所述悬臂支撑结构与所述悬臂安装板连接，所述悬臂支撑板设置于所述悬臂支撑结构上。
[0017]在其中一个实施例中，所述Z轴移载模组还包括拖链和拖链安装板，所述拖链安装板设置于所述Z轴直线模组上，所述拖链设置于所述拖链安装板上。
[0018]在其中一个实施例中，所述Y轴移载模组包括Y轴动力源、Y轴直线模组和Y轴安装座，所述Y轴动力源和所述Y轴直线模组分别设置于所述Y轴安装座上，且所述Y轴动力源与所述Y轴直线模组驱动连接，以使所述Y轴直线模组输出沿Y轴方向的直线往复动力。
[0019]实施本技术实施例，将具有如下有益效果：
[0020]上述方案的悬臂式移载输送装置装备于芯片生产设备中，用以驱动装载有芯片的托盘在不同加工工位之间流转，满足芯片生产要求。工作时，受控于控制器的指令，X轴移载模组、Y轴移载模组和Z轴移载模组可以先后或者协同输出X轴方向的移载动力、Y轴方向的移载动力和Z轴方向的移载动力，从而能够将托盘精准输送至各个加工工位内的指定位置，以满足生产需求。且在移动过程中，由于Z轴移载模组远离悬臂支架的一端安装有辅助支撑模组，辅助支撑模组与Y轴移载模组配合能够产生一个反向支撑力，该反向支撑力对悬臂支架起到支撑作用，以使悬臂支架能够获得力的平衡，从而减轻甚至消除了悬臂支架运动过程中产生的形变和震动，使整体结构更加平稳，保证托盘移载输送过程中稳定可靠。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]其中：
[0023]图1为本技术一实施例所述的悬臂式移载输送装置的结构示意图；
[0024]图2为图1中X轴移载模组的结构示意图；
[0025]图3为图1中Y轴移载模组的结构示意图；
[0026]图4为图1中Z轴移载模组的结构示意图；
[0027]图5为图4的另一视角的结构示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]10、Y轴移载模组；11、Y轴动力源；12、Y轴直线模组；13、Y轴安装座；20、Z轴移载模组；21、悬臂支架；211、悬臂支撑板；212、悬臂支撑结构；22、Z轴动力源；23、Z轴直线模组；24、Z轴安装座；25、悬臂安装板；26、拖链；27、拖链安装板；30、辅助支撑模组；31、支撑座；32、支撑体；40、X轴移载模组；41、X轴动力源；42、X轴直线模组；43、承载座；50、托盘。
具体实施方式
[0030]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬臂式移载输送装置，其特征在于，包括：Y轴移载模组，所述Y轴移载模组用于输出Y轴方向的移载动力；Z轴移载模组，所述Z轴移载模组设置于所述Y轴移载模组上，且用于输出Z轴方向的移载动力，所述Z轴移载模组包括悬置于所述Y轴移载模组的一侧的悬臂支架；辅助支撑模组，所述辅助支撑模组设置于所述Z轴移载模组远离所述悬臂支架的一端，所述辅助支撑模组与所述Y轴移载模组支撑配合；以及X轴移载模组，所述X轴移载模组设置于所述悬臂支架上，所述X轴移载模组用于装载托盘并输出X轴方向的移载动力。2.如权利要求1所述的悬臂式移载输送装置，其特征在于，所述辅助支撑模组包括支撑座和支撑体，所述支撑体设置于所述支撑座上，所述支撑体与所述Y轴移载模组滑动接触配合或滑动间隙配合。3.如权利要求2所述的悬臂式移载输送装置，其特征在于，所述支撑座设置为通气座，所述通气座用于与外设气源连通，所述支撑体设置为吹气块，所述吹气块设有吹气孔，所述吹气孔用于向所述Y轴移载模组吹起以提供所述吹气块反向推力。4.如权利要求3所述的悬臂式移载输送装置，其特征在于，所述吹气孔设置为至少两个，至少两个所述吹气孔均朝向所述Y轴移载模组设置。5.如权利要求2所述的悬臂式移载输送装置，其特征在于，所述支撑体设置为滚动体，所述滚动体通过转轴转动安装在所述支撑座上，所述滚动体与所述Y轴移载模组滚动配合。6.如权利要求1至5任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：林宜龙，刘飞，水清，吴海裕，
申请(专利权)人：深圳格芯集成电路装备有限公司，
类型：新型
国别省市：