温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型实施例公开了一种悬臂式移载输送装置，包括：Y轴移载模组，Y轴移载模组用于输出Y轴方向的移载动力；Z轴移载模组，Z轴移载模组设置于Y轴移载模组上，Z轴移载模组包括悬置于Y轴移载模组的一侧的悬臂支架；辅助支撑模组，辅助支撑模组设置于Z...
该专利属于深圳格芯集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳格芯集成电路装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。