本申请提供了一种催化剂及其制备方法、可燃气体传感器，其中催化剂包括载体和负载在所述载体上的活性组分；其中，所述载体包括载体金属氧化物和掺杂金属氧化物；所述活性组分包括过渡金属氧化物和稀土金属氧化物。本申请提供的催化剂通过在载体上设置活性...

本申请提供一种基于光谱成像的刻蚀终点检测方法及检测系统，涉及半导体检测技术领域；刻蚀终点检测方法包括，将特征光照射至数字微镜器件的表面；控制数字微镜器件上的多个微镜按预设的二进制图案进行状态切换，将空间分布信息转换为随时间变化的时域测量...

本申请涉及一种半导体工艺腔室内气体样品的检测方法、介质和电子设备，该方法包括：采集半导体工艺腔室内的气体样品作为待分析混合样品；获取本底谱图向量B和实测谱图向量M；基于预设的标准谱图库矩阵S构建干扰因子矩阵F，其中，预设的标准谱图库矩阵...

本发明涉及半导体制造设备控制技术领域，提供一种半导体薄膜生长的温控方法、装置、设备、介质和程序产品，该方法，包括：获取半导体薄膜生长腔体中晶圆的温度时序信号及旋转参数；将温度时序信号转换为与旋转参数对应的温度分布数据；从温度分布数据中提...

本申请提供了一种光谱仪采样频率的计算方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请从历史知识库中查询得到的基准参数和关键事件的时间窗集合为配置采样频率提供了先验依据；在每个采样周期基于采集的光谱数据生成实时适配因子，能够反映...

本发明公开了一种半导体腔室清洁的多区域实时终点检测系统及方法，涉及半导体气体检测领域，气路单元，设有总进气口、第一支路、第二支路及用于导通或者关闭所述第一支路或第二支路的阀模块；第一腔室，两侧相对设置有第一宽带光源和第一多通道光电探测器...

本发明公开了基于法布里‑珀罗谐振腔的多元气体浓度检测器，涉及气体测量设备领域，包括：相对设置的第一反射结构和第二反射结构；热释电单元，具有处于光路上的感测区域，所述热释电单元位于所述法布里‑珀罗谐振腔的光路之后，用于接收经所述法布里‑珀...

本申请提供了一种半导体工艺参数的调整方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请基于当前工艺周期的原始反射光谱和工艺参数，从预设函数库获取搜索参数的参考阈值，减少了固定阈值依赖，提升了复杂光谱条件下的检测稳定性。基于历史反...

本发明涉及半导体检测技术领域，提供一种半导体温度场的检测方法和装置。该方法包括：对晶圆表面进行逐点扫描，获取晶圆表面各空间位置点的辐射信息；根据每个空间位置点的辐射信息依次分离出不同波长的辐射能量；基于各波长的辐射能量，生成每个空间位置...

本申请提供了一种半导体承载盘旋转参数的计算方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域。本申请采用单一光电传感器，避免了高成本与高维护负担。特征模型不依赖于精密几何坐标图纸，匹配结果对尺寸漂移及轻微形变具有更强容忍度，可适配多种承...

本申请提供了一种MOCVD工艺多参数同步检测方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请通过将单模激光分为物光和参考光，并利用参考光经点衍射形成球面参考波，使物光和球面参考波在半导体表面附近空间重合形成稳定干涉条纹；再对每...

本申请提供了一种测温方法、系统、测温设备、计算机设备及存储介质，本申请采用参考光谱信号与理论黑体辐射值计算得到的衰减系数对目标光谱信号进行校正，得到校正辐射量；基于校正辐射量对链路方程进行交替迭代优化，得到温度信息，该温度信息包括目标温...

本申请提供了一种半导体外延层生长参数的反演方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请预先将光学参数设置为随波长和组分变化的函数，并存储在数据库中，每次迭代时依据当前的生长参数从数据库动态查询获得，再基于该光学参数和传输矩...

本申请涉及一种光学传感器、光谱检测系统及半导体工艺设备，该传感器包括：自等离子体腔，包括腔室、置于腔室外的线圈，腔室的相对两个侧壁上连通设有供被测气体流通的进气管和出气管，腔室的侧壁上还设有检测口，且检测口与进气管、出气管均位于不同侧壁...

本申请涉及一种半导体腔室泄露检测系统及方法，半导体腔室泄露检测系统包括通路模块；激光发射器，向激光通道内发射激光；分束镜，部分激光透过分束镜后形成第一激光，其余部分激光被分束镜反射后形成第二激光并进入探测通道；激光管路，反射第一激光以形...

本发明涉及半导体红外测温技术领域，提供一种实时自校准的半导体红外测温装置及其控制方法。该装置的光学前端单元包含旋转驱动机构和位于测温光路中的旋转滤光轮，其上设有测量滤光片、已知衰减率的校准衰减片和黑体参考片；控制单元驱动旋转滤光轮依次切...

本申请涉及一种基于激光发射共振腔的漏率检测装置及方法，漏率检测装置包括共振腔室；激光发射器；转换装置，用于将光声信号转化为电信号；以及处理装置将电信号转化为漏率Q。漏率检测发方法包括以下步骤，设定共振腔室的声光共振频率f；对激光发射器发...

本申请涉及一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统，漏率检测方法包括以下步骤，采集半导体腔室内的氧气浓度信号、压力信号以及各真空阀的阀位状态信号；对多个信号进行时间对齐，形成同一基准下的多参数数据帧；设定基准模板；将多参数数据帧与基准模板...

本申请涉及一种光谱仪光栅的在线调整方法、系统以及光谱仪。该在线调整方法，包括：将光栅预安装在光谱仪中，且光栅与驱动机构相连；获取不同波长的第一光信号、第二光信号分别对应的第一理论像素位置、第二理论像素位置；控制第一光信号入射至光栅处，进...

本申请涉及一种基于滤波扫描的刻蚀终点检测方法及系统，刻蚀终点检测方法包括将光源发出的红外光照射至吸收池，以输出吸收目标气体后的检测光线；控制滤波器对检测光线进行波长扫描，识别至少一个具有吸收峰的特征波长点；设定滤波器的固定工作频率，使滤...