一种多通道腔室清洁终点监测装置，涉及半导体技术领域，一种多通道腔室清洁终点监测装置，竖直安装在清洁腔室的前端尾排管道旁侧，进行实时气体浓度监测，其特征在于，所述装置的结构包括：光源；气体腔室，所述气体腔室包括柱形腔室本体及垂直设于腔室本...

一种多通道腔室清洁终点监测装置及方法，涉及半导体技术领域

本实用新型公开一种半导体恒温测试台，包括工作台、滑板和限位装置，本实用新型通过在工作台顶部两端沿口处设置有两个固定板，其中一个固定板侧壁活动连接有转钮，转钮侧壁设置有螺纹杆，螺纹杆贯穿延伸至另一个固定板侧壁，在两个固定板之间设置有滑板，...

本实用新型公开的属于测试装置技术领域，具体为一种强度检测机构，包括测试箱、T形固定架、配重箱和待测物体，测试箱顶壁开设有开口，测试箱顶壁垂直设置有T形固定架，T形固定架底部垂直设置有两个第一电动缸。该实用新型，将钢丝绳连接的插销，插入不...

本实用新型公开了一种半导体机台的测温机构，包括：底座，所述底座的上部设置有放置台且放置台的内部设置有放置槽，所述放置槽的内部设置有测温台，所述放置台的内部设置有安装槽且测温台位于安装槽的表面，所述测温台的表面设置有晶圆框架且晶圆框架的内...

本实用新型公开了一种激光器光谱检测的固定装置，属于激光器检测技术领域,包括固定底板、激光器、光纤接口座和固定箱，所述固定箱的顶部上安装有固定盖板，所述固定箱的底部内设置有固定槽，所述固定槽上均匀的内嵌有若干滚珠，所述固定槽的两侧内壁上设...

本实用新型公开了一种等离子体的清洗装置，包括装置本体，所述装置本体包括工作台、安装座、移动清洗装置和支撑装置，所述安装座安装在工作台顶部后端，所述移动清洗装置安装在安装座顶部，所述支撑装置设有一组，一组所述支撑装置呈对称方式安装在工作台...