本技术提供一种真空电容器与射频匹配器，真空电容器包括壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极均容置于真...

本发明提供一种真空电容器与射频匹配器，真空电容器包括壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极均容置于真...

本实用新型公开了一种电动球阀，该电动球阀包括三片式球阀，三片式球阀包括阀体、阀球和阀杆，阀体内设有贯穿其两端的流道，阀球设在流道内，阀体的外壁上设有连接座，连接座的外壁上具有间隔设置的第一挡块和第二挡块，阀杆贯穿连接座并与阀球连接；电动...

本实用新型公开了一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置及射频源匹配器，涉及电子技术领域。本实用新型包括音圈马达、真空电容；音圈马达驱动真空电容内部的可动电极做伸缩运动，真空电容内位于可动电极的下方设置有固定电极。本实用新型解决转动螺杆持续...

本实用新型公开了一种采用磁场驱动可变电容的射频电源匹配器，涉及射频电源匹配器技术领域，包括检测板，检测板与射频电源的输出端相连接，且检测板通过相位检测信号和振幅检测信号连接有控制板，并且检测板的另一侧连接有电感器；控制板通过第一磁场驱动...

本实用新型公开了一种远程等离子源解离腔体组件，涉及等离子源解离腔体技术领域。本实用新型中心包裹有圆环形管状的腔室，腔体组件包括金属外壳、磁罐结构、固定卡扣结构；金属外壳采用由若干弧形壳体拼接而成的圆环形，相邻两弧形壳体之间形成的夹缝之间...

本实用新型公开了一种采用陶瓷腔体的等离子源，涉及电子技术领域，包括有整流滤波稳压模块、辅助电源、高频逆变模块、第一主控板、功率合成模块、功率输出及检测电路、第二主控板和点火板组成，所述交流电的输出端分别连接整流滤波稳压模块及辅助电源，且...

本实用新型涉及电子技术领域，公开了空心结构磁场驱动真空可变电容及射频源匹配器，包括有底座，底座的顶端连接有绝缘外壳，且绝缘外壳的顶端安装有金属壳体，底座与金属壳体之间设置有中空绝缘管。本实用新型中，通过给中空绝缘管内置驱动线圈通电，线圈...

本实用新型公开了一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源，涉及等离子源腔体技术领域。本实用新型整体采用陶瓷材质，包括两瓣半圆环形管状腔室、进气管、出气管；腔体是通过微波焊接陶瓷技术对两瓣半圆环形管状腔室进行密封焊接后形成的整体...

本发明公开了一种远程等离子源解离腔体组件，涉及等离子源解离腔体技术领域。本发明中心包裹有圆环形管状的腔室，腔体组件包括金属外壳、磁罐结构、固定卡扣结构；金属外壳采用由若干弧形壳体拼接而成的圆环形，相邻两弧形壳体之间形成的夹缝之间安装有绝...

本发明公开了一种远程等离子源陶瓷反应腔体及带有该腔体的等离子源，涉及等离子源腔体技术领域。本发明整体采用陶瓷材质，包括两瓣半圆环形管状腔室、进气管、出气管；腔体是通过微波焊接陶瓷技术对两瓣半圆环形管状腔室进行密封焊接后形成的整体为圆环形...

本发明涉及电子技术领域，公开了空心结构磁场驱动真空可变电容及射频源匹配器，包括有底座，底座的顶端连接有绝缘外壳，且绝缘外壳的顶端安装有金属壳体，底座与金属壳体之间设置有中空绝缘管。本发明中，通过给中空绝缘管内置驱动线圈通电，线圈在电流作...

本实用新型公开了一种微波聚焦法陶瓷焊接装置，涉及微波陶瓷焊接技术领域。本实用新型包括单模谐振腔、盖板、可调活塞结构；单模谐振腔一侧部设置有微波功率输入口，相对于微波功率输入口方向的侧面为能够将微波反射后聚焦于一点的凹面形的金属反射面；单...

本发明公开了一种微波聚焦法陶瓷焊接装置、方法，涉及微波陶瓷焊接技术领域。本发明包括单模谐振腔、盖板、可调活塞结构；单模谐振腔一侧部设置有微波功率输入口，相对于微波功率输入口方向的侧面为能够将微波反射后聚焦于一点的凹面形的金属反射面；单模...

本实用新型公开了一种远程等离子源真空腔体，涉及等离子源真空腔体技术领域。本实用新型包括中间开设有正N边形开口且整体呈环状的正N边形主体、进气端以及出气端、磁芯；正N边形主体采用若干连接块拼接而成，相邻连接块之间采用密封圈密封连接，连接块...