【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体器械，特别涉及一种真空电容器与射频匹配器。
技术介绍
1、在一些射频匹配器中，需要能够传输大功率且能够调节容值的真空电容器，以匹配阻抗。现有的真空电容器通过调节电极的间距来实现容值的调节。为了实现电极位置的调节，常通过设置波纹管来兼顾真空密封性和电极的可移动性。然而，波纹管的机械寿命有限，并且波纹管的速度响应较慢，会影响真空电容器的容值调节响应速度。此外真空电容器内部的真空与外部常压形成压力差，使得其动电极远离固定电极方向动作时，克服大气压阻力比较大，也会影响真空电容器的容值调节响应速度。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种真空电容器与射频匹配器，以解决现有的真空电容器寿命短、响应速度慢的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术提供一种真空电容器，其包括：壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；
3、所述壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；所述磁浮动子、所述连接件、所述屏蔽件、所述可动电极以及所述固定电极均容置于所述真空腔室中；
4、沿所述轴线的方向，所述屏蔽件将所述真空腔室划分为第一区域和第二区域；所述可动电极沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第一区域，所述固定电极固定设置于所述第一区域，所述磁浮动子沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第二区域，所述连接件沿所述轴线的方向可移动地贯穿所述屏蔽件，并分别与所述磁浮动子和所述可动电极连接；
5、所述磁浮驱动线圈组绕设
6、其中，所述真空电容器具有可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极，所述可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极分别与所述可动电极、所述固定电极和所述屏蔽件连接。
7、可选的，所述真空电容器还包括设置于所述第一区域的柔性电极引出件；所述柔性电极引出件的一端与所述可动电极连接，另一端与所述壳体组件连接，所述柔性电极引出件与所述壳体组件连接的一端被配置为所述可动电极引出极；
8、其中，所述柔性电极引出件具有沿所述轴线的方向的变形自由度。
9、可选的，所述柔性电极引出件为具有镂空的片状件，所述片状件还具有内孔，所述连接件穿过所述内孔；所述片状件的内周与所述可动电极连接，所述片状件的外周与所述壳体组件连接。
10、可选的，所述壳体组件包括两个端盖，一个所述端盖与所述屏蔽件电连接，另一个所述端盖与所述固定电极电连接；与所述屏蔽件电连接的所述端盖被配置为所述屏蔽引出极，与所述固定电极电连接的所述端盖被配置为所述固定电极引出极。
11、可选的，所述真空电容器还包括第一导向组件；所述第一导向组件包括沿所述轴线的方向设置的导向杆和导向套，所述导向杆和导向套中的一者设置于所述可动电极上，另一者设置于所述壳体组件上；所述导向杆沿所述轴线的方向可移动地穿设于所述导向套中，并被所述导向套限制沿垂直于所述轴线的方向的位置。
12、可选的，所述真空电容器还包括第二导向组件；所述第二导向组件包括设置于所述屏蔽件上的轴套，所述轴套用于限制所述连接件沿垂直于所述轴线的方向的位置。
13、可选的，所述磁浮驱动线圈组包括至少两个线圈，其中至少一个所述线圈用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，至少另一个所述线圈用于限定所述磁浮动子沿垂直于所述轴线的方向的位置。
14、可选的，所述屏蔽件沿所述轴线的方向包括电场屏蔽层和磁场屏蔽层。
15、可选的，所述真空电容器还包括位置检测模块，所述位置检测模块用于检测所述可动电极沿所述轴线的位置。
16、为解决上述技术问题，本技术还提供一种射频匹配器，其包括如上所述的真空电容器。
17、综上所述，在本技术提供的真空电容器与射频匹配器中，所述真空电容器包括壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；所述壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；所述磁浮动子、所述连接件、所述屏蔽件、所述可动电极以及所述固定电极均容置于所述真空腔室中；沿所述轴线的方向，所述屏蔽件将所述真空腔室划分为第一区域和第二区域；所述可动电极沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第一区域，所述固定电极固定设置于所述第一区域，所述磁浮动子沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第二区域，所述连接件沿所述轴线的方向可移动地贯穿所述屏蔽件，并分别与所述磁浮动子和所述可动电极连接；所述磁浮驱动线圈组绕设于所述壳体组件对应于所述第二区域的外部，所述磁浮驱动线圈组用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，并通过所述连接件带动所述可动电极沿所述轴线的方向移动。
18、如此配置，一方面将除了磁浮驱动线圈组外的所有运动部件均设置在壳体组件形成的真空腔室中，真空腔室的内外不再需要设置类似波纹管这样的机械可变密封构件，提高了真空电容器的可靠性和使用寿命，且运动部件不受真空压力差影响，驱动力大为减小，依靠磁力变化驱动，大大提高了运动部件的运动速度。另一方面，基于屏蔽件的设置，将真空腔室划分为第一区域和第二区域，进而将电极部分与磁浮驱动部分分隔开，有效克服了两者的相互干扰。
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1.一种真空电容器，其特征在于，包括：壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；
2.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括设置于所述第一区域的柔性电极引出件；所述柔性电极引出件的一端与所述可动电极连接，另一端与所述壳体组件连接，所述柔性电极引出件与所述壳体组件连接的一端被配置为所述可动电极引出极；
3.根据权利要求2所述的真空电容器，其特征在于，所述柔性电极引出件为具有镂空的片状件，所述片状件还具有内孔，所述连接件穿过所述内孔；所述片状件的内周与所述可动电极连接，所述片状件的外周与所述壳体组件连接。
4.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述壳体组件包括两个端盖，一个所述端盖与所述屏蔽件电连接，另一个所述端盖与所述固定电极电连接；与所述屏蔽件电连接的所述端盖被配置为所述屏蔽引出极，与所述固定电极电连接的所述端盖被配置为所述固定电极引出极。
5.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括第一导向组件；所述第一导向组件包括沿所述轴线的方向设置的导
6.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括第二导向组件；所述第二导向组件包括设置于所述屏蔽件上的轴套，所述轴套用于限制所述连接件沿垂直于所述轴线的方向的位置。
7.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述磁浮驱动线圈组包括至少两个线圈，其中至少一个所述线圈用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，至少另一个所述线圈用于限定所述磁浮动子沿垂直于所述轴线的方向的位置。
8.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述屏蔽件沿所述轴线的方向包括电场屏蔽层和磁场屏蔽层。
9.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括位置检测模块，所述位置检测模块用于检测所述可动电极沿所述轴线的位置。
10.一种射频匹配器，其特征在于，包括根据权利要求1～9中任一项所述的真空电容器。
...【技术特征摘要】
1.一种真空电容器，其特征在于，包括：壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；
2.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括设置于所述第一区域的柔性电极引出件；所述柔性电极引出件的一端与所述可动电极连接，另一端与所述壳体组件连接，所述柔性电极引出件与所述壳体组件连接的一端被配置为所述可动电极引出极；
3.根据权利要求2所述的真空电容器，其特征在于，所述柔性电极引出件为具有镂空的片状件，所述片状件还具有内孔，所述连接件穿过所述内孔；所述片状件的内周与所述可动电极连接，所述片状件的外周与所述壳体组件连接。
4.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述壳体组件包括两个端盖，一个所述端盖与所述屏蔽件电连接，另一个所述端盖与所述固定电极电连接；与所述屏蔽件电连接的所述端盖被配置为所述屏蔽引出极，与所述固定电极电连接的所述端盖被配置为所述固定电极引出极。
5.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括第一导向组件；所述第一导向组件包括沿所述轴线的方向设...
【专利技术属性】
技术研发人员：张德才，
申请(专利权)人：上海财盈半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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