一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置及射频源匹配器制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置及射频源匹配器，涉及电子技术领域。本实用新型专利技术包括音圈马达、真空电容；音圈马达驱动真空电容内部的可动电极做伸缩运动，真空电容内位于可动电极的下方设置有固定电极。本实用新型专利技术解决转动螺杆持续作动易磨损及调节速度慢和调节精度低的问题，优化了可变真空电容的结构和性能，在调节电容容值时大大缩短了匹配时间，且提高了匹配精度，体积也大大缩小，使用效率和使用适配空间大幅度提高，实现了可变真空电容在高精度领域的推广及使用，在射频产业方面对可变真空电容的创新与改变，提升半导体芯片生产效率和良率。提升半导体芯片生产效率和良率。提升半导体芯片生产效率和良率。

【技术实现步骤摘要】
一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置及射频源匹配器


[0001]本技术属于电子
，特别是涉及一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置以及包含该外置音圈马达伸缩驱动可变电容器装置的射频源匹配器。

技术介绍

[0002]在目前的电子领域中，可变陶瓷真空电容器装置被广泛的应用于半导体领域中，例如等离子体发生设备、电介质加热和半导体制造；其中，真空电容器用作芯片和平板显示制造中自动匹配网络中的阻抗变化部分。可变真空电容器是由密封在陶瓷绝缘外壳中的电极组以及实现容量调节的转动系统两个部分组成；现有的可变陶瓷真空电容器装置采用联轴器连接驱动电机与可变陶瓷真空电容器作动，真空电容以真空作为介质，电容器的电极组是将一组组高导无氧铜带组成的同心圆环状电机环连接在外壳上，转动系统包括导套、转动螺杆、与螺母及支撑转动螺杆的支撑套筒。
[0003]目前，大多数可变真空电容器的支撑套筒一般放置在安装环的外部，中间穿过转动螺杆，通过转动转动螺杆，带动可动电极做往复运动，即可实现电容电量的调节。随着，可变真空电容器在半导体制造设备中的应用，现有可变真空电容器因转动螺杆持续工作产生的断裂导致螺杆无法持续作动，大大降低了产品的使用效率。
[0004]由此可见，现有的可变陶瓷真空电容器具有以下缺点：(1)转动螺杆磨损严重：电容器改变电容容量时，需要频繁转动螺杆调节，持续作动易导致转动螺杆产生磨损，造成转动螺杆间隙变大，电容器调节电容容值时会出现较大的偏差，严重时会产生螺杆滑丝或断裂导致无法使用；(2)电容器装置体积过大：采用外部驱动电机连接联轴器带动可变陶瓷真空电容作动，驱动电机及联轴器增大了真空电容器的体积，无法将其应用于一些小型仪器中，无法满足目前市场的需求；(3)采用转动螺杆驱动可动电机上下作动，由于驱动电机需通过联轴器连接作动，会产生累积误差，导致匹配精度较低，匹配时间过长，匹配速度过慢，从而无法达到应有的匹配状态，影响工作效率。

技术实现思路

[0005]本技术提供了一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置及射频源匹配器，解决了以上问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0007]本技术的一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置，包括音圈马达、真空电容；
[0008]所述音圈马达驱动真空电容内部的可动电极做伸缩运动，所述真空电容内位于可动电极的下方设置有固定电极。
[0009]进一步地，所述固定电极与可动电极安装于真空电容的金属外壳内，作为真空电容的两个极性。
[0010]进一步地，所述固定电极的底端与金属外壳固定连接，且固定电极中轴线与金属
外壳的中轴线相重合。
[0011]进一步地，所述金属外壳内的轴心位置垂直设置有绝缘柱，所述绝缘柱与金属外壳的底部为固定安装，所述可动电极于绝缘柱轴心方向上作动。
[0012]进一步地，所述金属外壳的上方固定安装有同轴心设置的绝缘外壳，所述绝缘外壳内安装有可动电极相连的波纹管，所述波纹管上方与音圈马达的驱动轴端固定相连。
[0013]进一步地，所述金属外壳与绝缘外壳的底部在可动电极、固定电极的外部组成真空室。
[0014]进一步地，所述可动电极的活动范围为真空室内。
[0015]进一步地，所述可动电极在固定电极的顶部间隔错位布置。
[0016]一种射频源匹配器，包含上述外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置的射频源匹配器。
[0017]本技术相对于现有技术包括有以下有益效果：
[0018]本技术采用音圈马达驱动可动电极运动，改善了原结构因外接驱动电机及联轴器导致的真空可变电容体积过大的问题，解决转动螺杆持续作动易磨损及调节速度慢和调节精度低的问题，优化了可变真空电容的结构和性能，当可变陶瓷真空电容在调节容值时，大大缩短了匹配时间，也提高了匹配精度，体积也大大缩小，使用效率和使用适配空间大幅度提高，实现了可变真空电容在高精度领域的推广及使用，实现了在射频产业方面对可变真空电容的创新与改变，提升半导体芯片生产效率和良率。
[0019]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置的结构示意图；
[0022]图2为本技术一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置的结构爆炸图；
[0023]图3为图1中A
‑
A剖面视图；
[0024]图4为图3的正视图；
[0025]图5为图1的正视图；
[0026]图6为本技术具体实施例中射频匹配器的结构拓扑图；
[0027]图7为图6中带有本具体实施例外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置的匹配模块的结构拓扑图；
[0028]图8为现有的采用联轴器连接驱动电机与电容器作动的可变陶瓷真空电容器装置的结构示意图；
[0029]图9为图8的结构爆炸图；
[0030]图10为图8中B
‑
B剖面视图；
[0031]图11为图10的结构正视图；
[0032]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0033]1‑
音圈马达，2
‑
绝缘固定座，3
‑
绝缘外壳，4
‑
金属外壳，401
‑
波纹管，402
‑
可动电极，403
‑
固定电极，404
‑
绝缘柱。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“内”、“底端”、“底部”、“中轴线”、“顶部”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0036]如图8
‑
11所示，为现有的采用联轴器连接驱动电机与电容器作动的可变陶瓷真空电容器装置的结构示意图；该装置具体是采用联轴器连接驱动电机与可变陶瓷真空电容器作动，真空电容以真空作为介质，电容器的电极组是将一组高导无氧铜带组成的同心圆环状电极环连接在外壳上，转动系统包括导套、转动螺杆、与螺母及支撑转动螺杆的支撑套筒，其采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置，其特征在于，包括音圈马达(1)、真空电容；所述音圈马达(1)驱动真空电容内部的可动电极(402)做伸缩运动，所述真空电容内位于可动电极(402)的下方设置有固定电极(403)。2.根据权利要求1所述的一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置，其特征在于，所述固定电极(403)与可动电极(402)安装于真空电容的金属外壳(4)内，作为真空电容的两个极性。3.根据权利要求2所述的一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置，其特征在于，所述固定电极(403)的底端与金属外壳(4)固定连接，且固定电极(403)中轴线与金属外壳(4)的中轴线相重合。4.根据权利要求2所述的一种外置音圈马达伸缩驱动可变电容装置，其特征在于，所述金属外壳(4)内的轴心位置垂直设置有绝缘柱(404)，所述绝缘柱(404)与金属外壳(4)的底部为固定安装，所述可动电极(402)于绝缘柱(404)轴心方向上作动。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪靖为，张德才，
申请(专利权)人：上海财盈半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：