本实用新型公开一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架，包括底座，所述底座上设有立杆，所述立杆的顶部设有固定座，所述固定座上连接有撑杆；所述撑杆包括外筒体、筒帽、拉簧、轴芯和调节螺母；所述轴芯的前端滑动连接在外筒体的腔内，并且轴芯上位于外筒体...

本实用新型涉及碳化硅晶片加工装置领域，具体涉及一种碳化硅单晶抛光片干燥装置，包括箱体、支撑架和调节挂盘，所述箱体内部设置有多个线性并排的支撑架，所述支撑架的上部设置有水平的转动挂轴，多个所述调节挂盘呈线性排列挂在所述转动挂轴上，多个碳化...

本实用新型公开了一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置，涉及碳化硅晶体加工技术领域，过滤装置包括滤筒、第一过滤网筒和第二过滤网筒，冷却装置包括冷却筒、冷却盘管、水温控制器和温度传感器，冷却筒侧壁底部设有冷却液进口，侧壁顶部设有冷却液出口；冷却...

本实用新型涉及碳化硅晶体加工技术领域，具体公开了一种用于碳化硅晶体边缘切削固定装置，包括粘结板，所述粘结板的下方设有定位座；所述定位座的顶部设有滑槽，所述粘结板水平的滑动连接在滑槽内，所述定位座上还螺纹连接有伸入滑槽内顶紧粘结板的顶紧螺...

本实用新型涉及碳化硅晶体加工检测装置领域，具体涉及一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台，包括定位底座、旋转承载盘、升降架和显微透镜部，所述定位底座包括基板、竖直滑轨架、前后限位滑台和左右限位滑台，所述基板的上端面从下到上依次层叠设置有前...

本实用新型公开了一种碳化硅晶体加工用废水处理设备，涉及碳化硅晶体加工技术领域，包括絮凝箱，所述絮凝箱两侧内壁的两端处均开有滑动槽，位于一侧的两个所述滑动槽的内壁滑动设置有齿条，所述絮凝箱的底部内壁放置有与絮凝箱四周内壁相贴合的收集网框，...

本实用新型涉及碳化硅晶片测量装置领域，具体涉及一种碳化硅晶体平面打磨标记装置，包括支撑架和定位测量尺，碳化硅晶片固定于所述支撑架上，所述定位测量尺与所述支撑架的上部连接，所述定位测量尺包括升降杆、升降座、测量尺管和测量指示部，所述升降杆...

本实用新型涉及晶体平面加工技术领域，具体公开了一种用于晶体平面抛光的夹具工装，包括底座和设于底座上方的定位座，所述定位座和底座之间设有万向接头和支撑机构；所述万向接头的上下两端分别与定位座和底座固定连接；所述支撑机构至少三组，并且间隔环...

本实用新型公开了一种碳化硅晶体加工用废水处理设备，涉及碳化硅晶体加工技术领域，包括盛酸桶、盛碱桶和由高到低依次连通的沉淀溢流槽、中和槽、微调槽和沉淀系统槽，沉淀溢流槽、中和槽、微调槽和沉淀系统槽的排放口均位于槽体后部上侧，并且同样由高到...