一种碳化硅单晶抛光片干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及碳化硅晶片加工装置领域，具体涉及一种碳化硅单晶抛光片干燥装置，包括箱体、支撑架和调节挂盘，所述箱体内部设置有多个线性并排的支撑架，所述支撑架的上部设置有水平的转动挂轴，多个所述调节挂盘呈线性排列挂在所述转动挂轴上，多个碳化硅单晶片呈圆周排列挂在所述调节挂盘上，所述箱体上设置有多个通风口，所述调节挂盘、支撑架和箱体配合构成碳化硅单晶片晾晒结构，本装置通过调节挂盘的转动配合红外线照射灯可以让碳化硅单晶片快速干燥，空间利用率高、防止游行片变形，极大提高了工作空间的利用率及规范性，提高了游行片使用寿命及降低碳化硅晶片抛光过程的破损率。损率。损率。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶抛光片干燥装置


[0001]本技术涉及碳化硅晶片加工装置领域，具体涉及一种碳化硅单晶抛光片干燥装置。

技术介绍

[0002]在碳化硅单晶的生产加工过程中，需要使用游行片对晶片进行抛光，抛光后对游行片进行清洗+晾晒，晾干净后进行防护保持。现有技术是将游行片保持倾斜状态靠在墙体或物体上，存在占用工作空间、现场杂乱且易导致游行片变形，降低游行片使用寿命等问题，成为影响碳化硅单晶抛光成品率的重要因素。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就是针对现有技术存在的缺陷，提供一种碳化硅单晶抛光片干燥装置。
[0004]本技术的技术方案是：
[0005]一种碳化硅单晶抛光片干燥装置，包括箱体、支撑架和调节挂盘，所述箱体内部设置有多个线性并排的支撑架，所述支撑架的上部设置有水平的转动挂轴，多个所述调节挂盘呈线性排列挂在所述转动挂轴上，多个碳化硅单晶片呈圆周排列挂在所述调节挂盘上，所述箱体上设置有多个通风口，所述调节挂盘、支撑架和箱体配合构成碳化硅单晶片晾晒结构。
[0006]优选的，所述箱体包括滑轨门和红外线照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶抛光片干燥装置，包括箱体、支撑架和调节挂盘，其特征在于，所述箱体内部设置有多个线性并排的支撑架，所述支撑架的上部设置有水平的转动挂轴，多个所述调节挂盘呈线性排列挂在所述转动挂轴上，多个碳化硅单晶片呈圆周排列挂在所述调节挂盘上，所述箱体上设置有多个通风口，所述调节挂盘、支撑架和箱体配合构成碳化硅单晶片晾晒结构。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶抛光片干燥装置，其特征在于：所述箱体包括滑轨门和红外线照射灯，所述箱体的一侧设置有滑轨门，所述箱体的顶部设置有红外线照射灯，所述红外线照射灯和所述调节挂盘配合构成红外烘干结构。3.根据权利要求2所述的一种碳化硅单晶抛光片干燥装置，其特征在于：所述调节挂盘包括盘体、行星齿轮柱、太阳齿轮和晶片挂架，所述盘体的外圆周设置有多个镂空孔洞且中轴方向被所述转动挂轴贯穿，所述太阳齿轮转动连...

【专利技术属性】
技术研发人员：付文川，赵然，李旭明，王锡铭，勾喜满，王飞，
申请(专利权)人：山东国宏中能科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：