一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台制造技术

本实用新型专利技术涉及碳化硅晶体加工检测装置领域，具体涉及一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台，包括定位底座、旋转承载盘、升降架和显微透镜部，所述定位底座包括基板、竖直滑轨架、前后限位滑台和左右限位滑台，所述基板的上端面从下到上依次层叠设置有前后限位滑台和左右限位滑台，所述旋转承载盘固定设置于所述左右限位滑台的顶部，所述基板为矩形板状结构且一端固定设置有竖直滑轨架，所述升降架的一端与所述竖直滑轨架限位连接且另一端与所述显微透镜部连接，本装置操作简单、检测方便、效率高、检测均布及重复性高，极大提高了碳化硅单晶检测用显微镜设备的利用率，优化资源配置，提高了显微镜使用效果及使用效益。提高了显微镜使用效果及使用效益。提高了显微镜使用效果及使用效益。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台


[0001]本技术涉及碳化硅晶体加工检测装置领域，具体涉及一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台。

技术介绍

[0002]在碳化硅单晶的生产加工过程中，需要用显微镜对碳化硅单晶进行严格的检测，现有技术中的碳化硅单晶检测用显微镜检测平台结构单一、不方便检测过程的操作，影响显微镜检测效率，不能满足碳化硅单晶生产过程中的检测需求，成为影响碳化硅单晶生产加工的瓶颈工序。
[0003]如申请号为201720771245 .3公开的一种碳化硅检测工作台，所述工作台顶部中间设有轴承，所述轴承一端连接有转轴，所述转轴通过键连接有转盘，所述转盘顶部一侧设有手柄，所述转盘顶部中间设有机架，所述机架顶部安装有第一支架，所述第一支架为C型，所述第一支架的一端转动连接有观察仪，所述观察仪为显微镜观察仪，所述工作台的一侧设有导向柱，所述导向柱的一侧设有支撑座，所述支撑座的顶部设有液压缸，所述液压缸输出端的顶部设有观察台，所述观察台的一侧连接有导向套筒，所述导向套筒套接于导向柱，所述观察台位于观察仪的正下方，该检测工作台的结构类似于传统的显微镜结构，该种结构通过移动目镜和物镜来实现对碳化硅晶片的检测，然而由于该种方式需要调整观察的位置，使得观察和检测不能持续。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就是针对现有技术存在的缺陷，提供一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台。
[0005]本技术的技术方案是：
[0006]一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台，包括定位底座、旋转承载盘、升降架和显微透镜部，所述定位底座包括基板、竖直滑轨架、前后限位滑台和左右限位滑台，所述基板的上端面从下到上依次层叠设置有前后限位滑台和左右限位滑台，所述旋转承载盘固定设置于所述左右限位滑台的顶部，所述基板为矩形板状结构且一端固定设置有竖直滑轨架，所述升降架的一端与所述竖直滑轨架限位连接且另一端与所述显微透镜部连接，所述显微透镜部的底部与所述旋转承载盘对应构成晶片观察结构。
[0007]所述旋转承载盘包括分度盘和承载板，所述分度盘的底部与所述左右限位滑台转动连接且顶部与所述承载板可拆卸连接，所述左右限位滑台的顶部设置有分度凸块，所述分度盘的底部圆周设置有多个分度定位槽，所述分度定位槽与所述分度凸块配合构成旋转分度结构，所述分度盘的侧边圆周设置有多个侧边弧形槽。
[0008]优选的，所述前后限位滑台的内部设置有前后丝杠且所述前后丝杠的一侧设置有前后调节旋钮，所述前后丝杠与所述基板的顶部丝杠连接，所述左右限位滑台的内部设置有左右丝杠且所述左右丝杠的一侧设置有左右调节旋钮，所述左右丝杠与所述前后限位滑
台的顶部丝杠连接。
[0009]优选的，所述显微透镜部包括从下至上依次连接的物镜、物镜盘、镜筒、楔形镜筒和目镜，所述物镜盘底部设置有三个所述物镜且上端与所述镜筒分度转动连接，所述镜筒的侧面与所述升降架限位连接且顶面与所述楔形镜筒固定连接，所述楔形镜筒的顶部固定设置有所述目镜。
[0010]优选的，所述前后限位滑台的顶部设置有限位凸块，所述左右限位滑台的下部设置有左右限位滑槽，所述限位凸块与所述左右限位滑槽配合构成左右限位结构。
[0011]优选的，所述升降架包括高度调节支架、一级调节旋钮和二级调节旋钮，所述竖直滑轨架设置有升降架滑轨，所述镜筒的侧面设置有镜筒滑轨，所述升降架滑轨和镜筒滑轨内部均设置有齿条，所述一级调节旋钮和二级调节旋钮与所述升降架滑轨和镜筒滑轨内部的齿条啮合连接，所述升降架的两侧分别与对应的所述升降架滑轨和镜筒滑轨滑动连接。
[0012]本技术与现有技术相比较，具有以下优点：
[0013]本装置操作简单、检测方便、效率高、检测均布及重复性高，极大提高了碳化硅单晶检测用显微镜设备的利用率，优化资源配置，提高了显微镜使用效果及使用效益。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为分度盘和分度凸块配合示意图；
[0016]图中：1
‑
定位底座，2
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旋转承载盘，3
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升降架，4
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显微透镜部；
[0017]11
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竖直滑轨架，111
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升降架滑轨，12
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前后限位滑台，121
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前后调节旋钮，122
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限位凸块,123
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前后丝杠，13
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左右限位滑台，131
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左右调节旋钮，132
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左右限位滑槽，133
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分度凸块，134
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左右丝杠，14
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基板；
[0018]21
‑
分度盘，211
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侧边弧形槽，212
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分度定位槽，22
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承载板，221
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晶片限位槽；
[0019]31
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高度调节支架，32
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一级调节旋钮，33
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二级调节旋钮；
[0020]41
‑
物镜，42
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物镜盘，43
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镜筒，44
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楔形镜筒，45
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目镜。
具体实施方式
[0021]以下将以图式揭露本技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本技术。也就是说，在本技术的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
[0022]实施例一
[0023]参照图1和图2所示，一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台，本装置不同于通常的显微镜只能调整目镜45和物镜41的高度，还设置了可以调节的底座来实现对整个晶片的检测，从而确定晶片的质量，具体包括定位底座1、旋转承载盘2、升降架3和显微透镜部4，定位底座1包括基板14、竖直滑轨架11、前后限位滑台12和左右限位滑台13，基板14的上端面从下到上依次层叠设置有前后限位滑台12和左右限位滑台13，旋转承载盘2固定设置于左右限位滑台13的顶部，基板14为矩形板状结构且一端固定设置有竖直滑轨架11，升降架3的一端与竖直滑轨架11限位连接且另一端与显微透镜部4连接，显微透镜部4的底部与旋转
承载盘2对应构成晶片观察结构。
[0024]旋转承载盘2包括分度盘21和承载板22，分度盘21的底部与左右限位滑台13转动连接且顶部与承载板22可拆卸连接，左右限位滑台13的顶部设置有分度凸块133，分度盘21的底部圆周设置有多个分度定位槽212，分度定位槽212与分度凸块133配合构成旋转分度结构，分度盘21的侧边圆周设置有多个侧边弧形槽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台，包括定位底座、旋转承载盘、升降架和显微透镜部，其特征在于，所述定位底座包括基板、竖直滑轨架、前后限位滑台和左右限位滑台，所述基板的上端面从下到上依次层叠设置有前后限位滑台和左右限位滑台，所述旋转承载盘固定设置于所述左右限位滑台的顶部，所述基板为矩形板状结构且一端固定设置有竖直滑轨架，所述升降架的一端与所述竖直滑轨架限位连接且另一端与所述显微透镜部连接，所述显微透镜部的底部与所述旋转承载盘对应构成晶片观察结构；所述旋转承载盘包括分度盘和承载板，所述分度盘的底部与所述左右限位滑台转动连接且顶部与所述承载板可拆卸连接，所述左右限位滑台的顶部设置有分度凸块，所述分度盘的底部圆周设置有多个分度定位槽，所述分度定位槽与所述分度凸块配合构成旋转分度结构，所述分度盘的侧边圆周设置有多个侧边弧形槽。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台，其特征在于：所述前后限位滑台的内部设置有前后丝杠且所述前后丝杠的一侧设置有前后调节旋钮，所述前后丝杠与所述基板的顶部丝杠连接，所述左右限位滑台的内部设置有左右丝杠且所述左右丝杠的...

【专利技术属性】
技术研发人员：付文川，赵然，王锡铭，李旭明，勾喜满，王飞，
申请(专利权)人：山东国宏中能科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：