一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置制造方法及图纸

技术编号:33215204 阅读:12 留言:0更新日期:2022-04-27 16:53
本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置,涉及碳化硅晶体加工技术领域,过滤装置包括滤筒、第一过滤网筒和第二过滤网筒,冷却装置包括冷却筒、冷却盘管、水温控制器和温度传感器,冷却筒侧壁底部设有冷却液进口,侧壁顶部设有冷却液出口;冷却盘管架设在冷却筒内,其下端与冷却液进口相连,上端与冷却液出口相连;水温控制器安装在冷却筒外,且分别与冷却液进口和冷却液出口相连;温度传感器安装在冷却筒内腔底部,且与水温控制器电连接;本装置通过多层过滤网筒进行多级过滤,使得过滤装置对液料的处理更加有效;过滤装置内的过滤网筒采用套装抽拉式设计,方便根据过滤情况进行拆装清洗、更换。更换。更换。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置


[0001]本技术涉及碳化硅晶体加工
,具体涉及一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置。

技术介绍

[0002]在碳化硅的实际应用中需将其加工为衬底,在加工为衬底的过程中,切割、磨平、磨圆、研磨、抛光等都是必不可少的工序,进行上述过程时,重复高速的机械摩擦会使加入的液料温度升高、掺入杂质,长时间加工时,温度变化大会导致加工效果不佳,杂质会影响加工质量,现有的技术是使液料在循环过程中自然冷却,使用单层厚滤芯过滤杂质。自然冷却温度不可控,温度波动较大,单层滤芯过滤能力差,并在循环运行一段时间后会发生堵塞使流量减小,影响加工的正常进行。
[0003]中国专利CN203648191U公开了一种碳化硅和蓝宝石类超硬材料加工中冷却液的过滤装置,具体包括内部带有输送泵的冷却液储存罐,输送泵通过管路与过滤桶的进液孔连接,过滤桶内设置有过滤网桶,进液孔设置在过滤网桶内,采用这种结构的过滤装置,可以通过输送泵将混有碳化硅和蓝宝石等超硬材料碎晶的冷却液送入过滤桶内,过滤网桶将碎晶滤除,从而将冷却液过滤出来,用于后续的加工操作中;使用该装置滤除的杂质难以处理,并且冷却液为自然冷却,冷却温度不可控。
[0004]因此,急需开发一种高效、可控的碳化硅晶体加工用冷却过滤装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的就是针对现有技术存在的缺陷,提供了一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置。
[0006]本技术的技术方案是:一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置,包括过滤装置和冷却装置,所述过滤装置包括滤筒、第一过滤网筒和第二过滤网筒,所述滤筒顶部设有与第二过滤网筒横截面外轮廓适配的开口,所述第二过滤网筒通过开口滑动插装在滤筒内,所述第一过滤网筒顶部外沿处设有与第二过滤网筒内腔适配的顶板,所述第一过滤网筒通过顶板滑动插装在第二过滤网筒内,且第一过滤网筒的顶口为液料进口;所述滤筒侧壁底部设有输送泵,所述输送泵通过管道与冷却装置顶部进口连通;
[0007]所述冷却装置包括冷却筒、冷却盘管、水温控制器和温度传感器,所述冷却筒侧壁底部设有冷却液进口,侧壁顶部设有冷却液出口;所述冷却盘管架设在冷却筒内,其下端与冷却液进口相连,上端与冷却液出口相连;所述水温控制器安装在冷却筒外,且分别与冷却液进口和冷却液出口相连;所述温度传感器安装在冷却筒内腔底部,且与水温控制器电连接;所述冷却筒底部设有液料出口。
[0008]优选的,所述冷却筒的侧壁内设有中空的冷却腔,所述冷却腔分别与冷却液进口和冷却液出口连通。
[0009]优选的,所述冷却盘管为螺旋管。
[0010]优选的,所述滤筒和冷却筒的材质均为不锈钢。
[0011]优选的,所述过滤装置还包括滑杆和刮板,所述滑杆竖直固定在滤筒底部中心处,所述刮板的外径略小于第一过滤网筒的内径,且其顶部中心处设有与滑杆适配的滑套;所述刮板通过滑套滑动套装在滑杆上。
[0012]优选的,所述第二过滤网筒底部设有底板。
[0013]本技术与现有技术相比较,具有以下优点:
[0014]本装置通过多层过滤网筒进行多级过滤,使得过滤装置对液料的处理更加有效;过滤装置内的过滤网筒采用套装抽拉式设计,方便根据过滤情况进行拆装清洗、更换;通过温度传感器与外部水温控制器的连接可以更好的控制液料温度并实时显示,同时避免了温度波动对加工效果造成的不良影响;本装置具有结构简单、操作简单、高效实用等优点,有效地提高了碳化硅加工效率及加工液料的循环利用率。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图;
[0016]图2为过滤装置的分解示意图。
[0017]图中:1、滤筒,101、开口,2、第一过滤网筒,201、顶板,202、液料进口,3、第二过滤网筒,301、底板,4、输送泵,5、冷却筒,501、冷却液进口,502、冷却液出口,503、液料出口,504、冷却腔,6、冷却盘管,7、水温控制器,8、温度传感器,9、滑杆,10、刮板,11、滑套。
具体实施方式
[0018]下面是结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0019]实施例一
[0020]参照图1

2所示,一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置,包括过滤装置和冷却装置,过滤装置包括滤筒1、第一过滤网筒2和第二过滤网筒3,滤筒1顶部设有与第二过滤网筒3横截面外轮廓适配的开口101,第二过滤网筒3通过开口101滑动插装在滤筒1内,第一过滤网筒2顶部外沿处设有与第二过滤网筒3内腔适配的顶板201,第一过滤网筒2通过顶板201滑动插装在第二过滤网筒3内,第一过滤网筒2的顶口即为液料进口202;滤筒1侧壁底部设有输送泵4,输送泵4通过管道与冷却装置顶部进口连通;
[0021]冷却装置包括冷却筒5、冷却盘管6、水温控制器7和温度传感器8,冷却筒5侧壁底部设有冷却液进口501,侧壁顶部设有冷却液出口502;冷却盘管6架设在冷却筒5内,其下端与冷却液进口501相连,上端与冷却液出口502相连;水温控制器7安装在冷却筒5外,并且分别与冷却液进口501和冷却液出口502相连;温度传感器8安装在冷却筒5内腔底部,并与水温控制器7电连接;冷却筒5底部设有液料出口503。
[0022]为了优化冷却盘管6对液料的冷却效果,本实施例中的冷却盘管6为螺旋管,此设置增长了冷却盘管6的长度,从而增加了换热面积。
[0023]此外,滤筒1和冷却筒5的材质均为不锈钢,以防腐蚀。
[0024]更为详细的,过滤装置还包括滑杆9和刮板10,滑杆9竖直固定在滤筒1底部中心处,刮板10的外径略小于第一过滤网筒2的内径,并且其顶部中心处设有与滑杆9适配的滑套11;刮板10通过滑套11滑动套装在滑杆9上。
[0025]使用前先将第二过滤网筒3和第一过滤网筒2依次装入滤筒1内,然后将刮板10套在滑杆9上并放入第一过滤网筒2内腔底部;液料经液料进口202进入到滤筒1内,然后依次流经第一过滤网筒2和第二过滤网筒3,二者分级滤除液料内的杂质;输送泵4将滤后的液料通过管道泵入冷却筒5内中,冷却盘管6内通冷却液对液料进行冷却,以控制反应温度;冷却筒5底部的温度传感器8监测液料出口503处的液料温度,并将此温度信号反馈给水温控制器7,以使水温控制器7可以更好的控制液料温度,最终冷却达标的液料通过液料出口503流出。
[0026]过滤装置工作一段时间后,会有大量杂质附着在第一过滤网筒2的内壁上,此时操作人员可以拉动刮板10对第一过滤网筒2内壁上的杂质进行刮除,以避免第一过滤网筒2堵塞使流量减小;过滤装置内的过滤网筒采用套装抽拉式设计,方便根据过滤情况进行拆装清洗、更换。
[0027]本装置通过多层过滤网筒进行多级过滤,使得过滤装置对液料的处理更加有效;通过温度传感器8与外部水温控制器7的连接可以更好的控制液料温度并实时显示,同时避免了温度波动对加工效果造成的不良影响;本装置具有结构简单、操作简单、高效实用等优点,有效地提高本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体加工用冷却过滤装置,包括过滤装置和冷却装置,其特征在于:所述过滤装置包括滤筒、第一过滤网筒和第二过滤网筒,所述滤筒顶部设有与第二过滤网筒横截面外轮廓适配的开口,所述第二过滤网筒通过开口滑动插装在滤筒内,所述第一过滤网筒顶部外沿处设有与第二过滤网筒内腔适配的顶板,所述第一过滤网筒通过顶板滑动插装在第二过滤网筒内,且第一过滤网筒的顶口为液料进口;所述滤筒侧壁底部设有输送泵,所述输送泵通过管道与冷却装置顶部进口连通;所述冷却装置包括冷却筒、冷却盘管、水温控制器和温度传感器,所述冷却筒侧壁底部设有冷却液进口,侧壁顶部设有冷却液出口;所述冷却盘管架设在冷却筒内,其下端与冷却液进口相连,上端与冷却液出口相连;所述水温控制器安装在冷却筒外,且分别与冷却液进口和冷却液出口相连;所述温度传感器安装在冷却筒内腔底部,且与水温控制器...

【专利技术属性】
技术研发人员:王飞王锡铭赵然勾喜满李旭明付文川
申请(专利权)人:山东国宏中能科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:

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