一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架制造技术

本实用新型专利技术公开一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架，包括底座，所述底座上设有立杆，所述立杆的顶部设有固定座，所述固定座上连接有撑杆；所述撑杆包括外筒体、筒帽、拉簧、轴芯和调节螺母；所述轴芯的前端滑动连接在外筒体的腔内，并且轴芯上位于外筒体腔内的部分间隔设有多个凹槽，所述轴芯的后端设有外螺纹部，并且外螺纹部与调节螺母连接；所述外筒体的筒壁上间隔设有与多个凹槽位置对应的开口槽，所述开口槽与凹槽相对的内槽面之间形成夹持空间，所述筒帽可拆卸连接在外筒体的前端，所述拉簧位于外筒体的腔内，并且拉簧的两端分别与筒帽和轴芯连接。本实用新型专利技术能够将游行片保持竖直托起晾晒，从而防止游行片倾斜产生变形。从而防止游行片倾斜产生变形。从而防止游行片倾斜产生变形。

A parade piece drying support for silicon carbide single crystal polishing

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架


[0001]本技术涉及碳化硅单晶加工
，具体涉及一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架。

技术介绍

[0002]在碳化硅单晶的生产加工过程中，需要使用游行片对晶片进行抛光，抛光后对游行片进行清洗和晾晒，晾干净后进行防护保持。
[0003]现有技术是将游行片保持倾斜状态靠在墙体或物体上进行晾晒，这种方式存在占用工作空间大、现场杂乱且易导致游行片变形的问题，这也降低了游行片使用寿命，成为影响碳化硅单晶抛光成品率的重要因素。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就是针对现有技术存在的缺陷，提供一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架，其能够将游保持行片竖直托起晾晒，总而防止游行片倾斜产生变形。
[0005]本技术的技术方案是：
[0006]一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架，包括底座，所述底座上设有立杆，所述立杆的顶部设有固定座，所述固定座上可拆卸连接有至少一根撑杆，所述撑杆呈水平布置；
[0007]所述撑杆包括外筒体、筒帽、拉簧、轴芯和调节螺母；
[0008]所述轴芯的前端滑动连接在外筒体的腔内，并且轴芯位于外筒体腔内的部分上间隔设有多个凹槽，所述轴芯的后端设有外螺纹部，所述调节螺母与外螺纹部连接；
[0009]所述外筒体的筒壁上间隔设有与多个凹槽位置对应的开口槽，所述开口槽与凹槽相对的内槽面之间形成夹持空间，所述筒帽可拆卸连接在外筒体的前端，所述拉簧位于外筒体的腔内，并且拉簧的两端分别与筒帽和轴芯连接。
[0010]优选的，所述调节螺母上连接有手柄套，所述手柄套套在轴芯的外侧。
[0011]优选的，所述轴芯上凹槽的内底面呈向上突起的弧形结构。
[0012]优选的，所述轴芯上凹槽的内底面上涂装有橡胶涂层。
[0013]优选的，所述开口槽中形成夹持空间的内槽面上设有纵向的受力部。
[0014]优选的，所述筒帽与轴芯相对的端面上分别设有用于与拉簧连接的拉环。
[0015]本技术与现有技术相比较，具有以下优点：
[0016]本技术通过轴芯上的凹槽与外筒体上的开口槽形成夹持空间，再通过调节螺母与轴芯螺纹配合能够调节夹持空间的宽度，从而能够对不同壁厚的游行片进行固定，进而将游行片保持竖直悬挂。
[0017]另外，本技术还具有结构合理、操作简单等特点，并且极大提高了工作空间的利用率及规范性。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图；
[0019]图2为撑杆的结构示意图；
[0020]图3为撑杆一侧剖开状态结构示意图；
[0021]图4为轴芯的结构示意图；
[0022]图5为外筒体的结构示意图；
[0023]图中：1、撑杆，2、固定座，3、立杆，4、底座，5、筒帽，6、夹持空间，7、轴芯，8、外筒体，9、调节螺母，10、手柄套，11、拉环，12、凹槽，13、外螺纹部，14、拉簧，15、受力部，16、弧形结构，17、开口槽。
具体实施方式
[0024]下面是结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0025]实施例1
[0026]参见图1，一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架，包括底座4，底座4上设有立杆3，立杆3的顶部设有固定座2，固定座2上可拆卸连接有至少一根撑杆1，撑杆1呈水平布置。
[0027]参见图2至图5，撑杆1包括外筒体8、筒帽5、拉簧14、轴芯7和调节螺母9。
[0028]轴芯7的前端滑动连接在外筒体8的腔内，并且轴芯7上位于外筒体8腔内部分的外壁上间隔设有多个凹槽12。
[0029]轴芯7的后端设有外螺纹部13，并且外螺纹部13与调节螺母9连接。
[0030]外筒体8的筒壁上间隔设有与多个凹槽12位置对应的开口槽17，开口槽17与凹槽12相对的内槽面之间形成夹持空间6。
[0031]筒帽5可拆卸连接在外筒体8的前端，拉簧14位于外筒体8的腔内，并且拉簧14的两端分别与筒帽5和轴芯7连接。
[0032]筒帽5与轴芯7相对的端面上分别设有用于与拉簧14连接的拉环11。
[0033]使用时，将撑杆1从游行片的中孔内穿入，然后将游行片悬挂在夹持空间6内，游行片在自身重力作用下保持垂直于水平面，将撑杆1上的游行片全部挂完后，旋转调节螺母9使轴芯7轴向的缩入外筒体8内，此时夹持空间6的宽度变小，从而将游行片固定在夹持空间6内。
[0034]另外，在轴芯7上凹槽12的内底面呈向上突起的弧形结构16，弧形结构16的弧度可以与游行片中孔的弧度适配，还可以在弧形结构16上端涂装有橡胶涂层，对游行片的中孔起到弹性缓冲的效果。
[0035]本技术通过轴芯7上的凹槽12与外筒体8上的开口槽17形成夹持空间6，再通过调节螺母9与轴芯7螺纹配合能够调节夹持空间6的宽度，从而能够对不同壁厚的游行片进行固定，进而将游行片保持竖直悬挂；
[0036]即便是晾晒游行片的区域有风，也能够让游行片保持竖直，有效的防止游行片变形，提高了游行片使用寿命及降低碳化硅晶片抛光过程的破损率。
[0037]另外，本技术还具有结构合理、操作简单等特点，并且极大提高了工作空间的利用率及规范性。
[0038]实施例2
[0039]本实施例是在实施例1的基础上进一步优化，具体是：
[0040]参见图4，开口槽17中与凹槽12相对形成夹持空间6的内槽面上设有纵向的受力部15。
[0041]通过增加纵向的受力部15，加大了对游行片夹持固定时的受力面积，从而对游行片固定更加的牢固，另外受力部15还能够避免在旋转调节螺母9时，轴芯7随调节螺母9产生轻微转动的问题。
[0042]实施例3
[0043]本实施例是在实施例1或实施例2的基础上进一步优化，具体是：
[0044]调节螺母9上连接有手柄套10，手柄套10套在轴芯7的外侧。
[0045]通过增加与调节螺母9配合的手柄套10，便于操作者通过手部握持手柄套10操控调节螺母9旋转，更加的方便快捷。
[0046]本技术并不限于上述的实施方式，在本领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本技术宗旨的前提下做出各种变化，变化后的内容仍属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶抛光用游行片晾晒支架，包括底座，所述底座上设有立杆，其特征在于：所述立杆的顶部设有固定座，所述固定座上可拆卸连接有至少一根撑杆，所述撑杆呈水平布置；所述撑杆包括外筒体、筒帽、拉簧、轴芯和调节螺母；所述轴芯的前端滑动连接在外筒体的腔内，并且轴芯位于外筒体腔内的部分上间隔设有多个凹槽，所述轴芯的后端设有外螺纹部，所述调节螺母与外螺纹部连接；所述外筒体的筒壁上间隔设有与多个凹槽位置对应的开口槽，所述开口槽与凹槽相对的内槽面之间形成夹持空间，所述筒帽可拆卸连接在外筒体的前端，所述拉簧位于外筒体的腔内，并且拉簧的两端分别与筒帽和轴芯连接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：付文川，王锡铭，赵然，勾喜满，李旭明，王飞，
申请(专利权)人：山东国宏中能科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：