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本实用新型涉及碳化硅晶片加工装置领域，具体涉及一种碳化硅单晶抛光片干燥装置，包括箱体、支撑架和调节挂盘，所述箱体内部设置有多个线性并排的支撑架，所述支撑架的上部设置有水平的转动挂轴，多个所述调节挂盘呈线性排列挂在所述转动挂轴上，多个碳化硅单...
该专利属于山东国宏中能科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东国宏中能科技发展有限公司授权不得商用。

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