公开能够利用切换模块及一个分光器分析多个位置的腔体内部的光的工程系统、用于其的切换模块及控制所述工程系统的方法。所述切换模块包括多个连接部、切换部及驱动部。在此，所述多个连接部分别与第一光线路相连接，所述切换部与第二光线路相连接，所述切...

公开缺陷检查系统及其方法。检查出检查对象物的边缘有无缺陷的缺陷检查系统包括：光源部；及利用所述光源部照射的光在配置有检查对象物的移送部件的上部拍摄所述检查对象物以检查出所述检查对象物有无缺陷的摄像头，所述摄像头可在腔体内部及腔体外部中至...

本发明公开一种支架结构体，其特征在于，包括：图像获取装置；支架，其支撑所述图像获取装置；以及结合构件，其将所述支架固定到支撑件，其中，第一基板从第一方向向第二方向移动，第二基板从所述第二方向向所述第一方向移动，所述第一基板与所述第二基板...

本发明公开一种能够水冷却的光烧结装置。光烧结装置包括发散光的发光部及具有配置所述发光部的内部孔且通过所述内部孔使水循环以冷却所述发光部的冷却部。本发明的光烧结装置能够同时进行干燥及烧结，大面积时也能够提高光烧结效率，提高光均匀度。

本实用新型的光烧结装置包括：第一弯曲部，其配置在向被处理物发光的发光部所在位置的左上侧且具有向上鼓起的形状，向被处理物的方向反射从发光部射出的光；第二弯曲部，其配置在发光部所在位置的右上侧且具有向上鼓起的形状，向被处理物的方向反射从发光...

公开光烧结装置。光烧结装置包括：第1发光部，其发散第1光；一对第2发光部，其分别发散第2光，彼此相对配置，而且第1发光部配置在一对第2发光部之间；以及反射罩，其下部面的中心部配置于第1发光部的上方，包括一对主弯曲部及一对辅助弯曲部，反射...

本发明公开一种腔体泄漏检测方法及其装置。腔体泄漏检测方法包括：对所述腔体执行清洗工序后进行等离子体反应的步骤；以及，通过分析所述等离子体反应检测所述腔体的泄漏的步骤。本发明的腔体泄漏检测方法及其装置能够在不影响半导体工序的情况下迅速检测...

本发明的光烧结装置包括：第一弯曲部，其配置在向被处理物发光的发光部所在位置的左上侧且具有向上鼓起的形状，向被处理物的方向反射从发光部射出的光；第二弯曲部，其配置在发光部所在位置的右上侧且具有向上鼓起的形状，向被处理物的方向反射从发光部射...

本发明公开一种腔体内部的销损坏检测装置及其方法。腔体内部的销损坏检测装置包括：销座，其结合于腔体的一面；以及，光输出部，其向所述销座照射光信号，其中，所述销座具有透明透过部，从所述光输出部输出的光信号在通过所述销座的透明透过部后向连接于...

公开光烧结装置及利用其的导电膜形成方法。光烧结装置包括：第1发光部，其发散第1光；一对第2发光部，其分别发散第2光，彼此相对配置，而且第1发光部配置在一对第2发光部之间；以及反射罩，其下部面的中心部配置于第1发光部的上方，包括一对主弯曲...

本发明公开一种基板成膜检查装置，包括基板成膜检查装置，该基板成膜检查装置包括：检查台；照明模块；相机，对成膜以单层或多层得到涂布的基板的表面进行逐行扫描方式的拍摄，并对基板的横向部边缘和纵向部边缘进行逐行扫描方式的拍摄；检查单元，由借助...

本发明公开一种电子识别标签、利用电子识别标签的事件消息服务提供方法及其装置。电子识别标签包括芯片及形成于一面且与所述芯片电连接的天线，其中，另一面可以印刷有用于生成或确认事件消息的固有识别信息。根据本发明的电子识别标签，能够利用电子识别...

本发明公开一种基板检查方法及检查单元，这种本发明构成用于检查涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分的水平及垂直距离是否恒定的装置，据此能够有效地检查出难以用肉眼识别的涂布于基板表面的成膜的歪斜不良，同时能够防止在经过处理室完成LCD或OLE...

本发明公开一种能够降低费用的不良检查系统及其方法。所述不良检查方法包括：第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分。其...

本发明公开一种能够检测沉积膜的厚度的F厚度变化测量装置及其方法。所述沉积装置包括：腔室；沉积源，其位于所述腔室的内部，提供沉积物质使得基板上形成沉积膜；膜厚度判断部，其位于所述腔室的内部，被沉积提供的所述沉积物质中的一部分；光输出部，其...

本发明公开一种通过标签的认证码执行第一次认证及通过判断是否发生复制而执行第二次认证，以执行正品认证的系统及其方法。所述正品认证方法包括：比较从认证终端机发送的认证对象的认证信息与预先存储的认证信息，执行第一次认证的步骤；以及，判断所述认...

本实用新型公开一种能够从根源上防止非法使用正品认证的结构体。向物品上粘贴的结构体包括：本体部，其具有第一本体、第二本体及用于连接所述第一本体与所述第二本体的本体连接部；芯片，其排列在所述第一本体及第二本体中的一个上；以及天线，其从所述芯...

本实用新型提供一种用于商品品质管理的包装容器、终端机及其系统。所述包装容器包括：本体，其由能够透过空气及水分中的至少一种的透过性材料形成；以及透明窗，其形成于所述本体的一部分，使得能够确认所述包装容器的内部。

本发明公开了一种具有多级基板投入门的基板质量检测装置。本发明以多级结构构成检测框架的基板投入门，并且在以多级结构形成的各个门之间，沿着水平排列作为检测单元的相机和透镜，以使相机和透镜沿着门的宽度方向平卧，从而通过输送机器人向多级基板投入...

本发明公开一种基板成膜检查装置，这种本发明构成用于检查涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分的水平及垂直距离是否恒定的装置，据此能够有效地检查出难以用肉眼识别的涂布于基板表面的成膜的歪斜不良，同时能够防止在经过处理室完成LCD或OLED产品...