本发明公开一种基板检测装置，这种本发明构成基板检测装置，该基板检测装置对于基板的表面以及边缘部分，构成具有互不相同的聚焦角度的多个照相机之后组合分析由多个照相机拍摄的图像信息。据此，能够精密地检测基板的表面以及边缘部分上的诸如破裂或破碎...

本发明涉及一种用于检测蚀刻工序等的结束点以及腔室内产生的电弧的电弧检测系统。该系统包括：与腔室连接的光谱仪；与腔室连接的电弧传感器；以及与所述光谱仪和所述电弧传感器连接的检测和控制模块。其中，所述检测和控制模块分析从所述光谱仪传输的OE...

本发明涉及一种在被玻璃基板反射的反射光中仅利用被上面反射的光以测量所述玻璃基板的不均率的系统及方法，从而减少测量时间和费用。所述玻璃基板的不均率测量系统，包括：光源部，向所述玻璃基板照射第一光；以及屏幕。其中，以所述玻璃基板为基准排列所...

提供了一种在制造半导体基底或平板显示器基底的基底停置、沉积或蚀刻工艺期间实时监控腔室的方法。通过使用等离子体发射光谱（ＯＥＳ）信息的时间序列神经网络分析方法的泄漏检测方法包括：基于ＯＥＳ信号检测从等离子体光谱是否产生了由于泄露导致空气被...

一种远距光谱仪的连接结构，该远距光谱仪的连接结构可通过ＵＳＢ服务器将ＥＰＤ控制器连接至以ＵＳＢ接口形式安装于反应室中的远距光谱仪，以克服由ＵＳＢ电缆的有效长度产生的限制，并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至ＥＰＤ控制器，藉此提高制程反应室...

本发明揭示一种玻璃波纹检测装置以及其检测方法。在玻璃波纹检测装置以及其检测方法中，当关于阴影图像的信息含有归因于光的亮度变化、由于光或交流电源的不稳定性的功率噪声、玻璃移动时产生的振动、设备或环境的振动等等的噪声时，移除噪声且接着检测玻...

提供一种基板质量测试器。此基板质量测试器包括检测单元，此检测单元将一体地提供给安装在机器人的机器人支撑框架的一端以搬运基板。因此，能够解决由于基板的大小变化使其重量增加而导致基板搬运不稳定，稳定地进行基板表面的质量检测，以及稳定地供应基...

本发明提供一种晶圆测试装置以及具有该装置的处理设备。该晶圆测试装置包含晶圆转移部，后者沿转移路径转移晶圆，且位于待转移晶圆的边缘附近，其检查晶圆边缘是否存在裂纹或颗粒，并区分裂纹与颗粒。晶圆测试装置中设置有检查器，当存在裂纹或颗粒时，检...

提供一种用于检查玻璃衬底的质量的设备，所述设备包括发射光仅透过玻璃衬底以检查玻璃衬底的波纹的发光部。所述设备和方法使用相机来更加清楚地拍摄玻璃衬底的表面的影子图像，并通过微分算法从影子图像更精确地检查波纹的存在。结果，可实时检查由输送装...

本发明提供了一种工艺室的泄漏检测方法，其中考虑到部件的状态在进行预防性维护（ＰＭ）前后发生明显变化，在预定周期或时间内将在进行ＰＭ之后对泄漏有影响的泄漏检测的警报规格、故障规格以及ＰＭ规格的范围扩大，直至等离子体稳定为止。因此，可以准确...

提供一种检测边缘缺陷和变色的装置和方法。该装置包括：加载单元，传送用于制造薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基底；检查单元，用于检查由加载单元传送的玻璃基底的边缘缺陷和变色；控制单元，用于控制加载单元和检查单元。所述边缘缺陷和变色检查装置能够在...