本发明提供了一种MEMS麦克风其包括具有背腔的基底和固定于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括相对间隔设置的背板和振膜，所述电容系统还包括间隔所述背板以及所述振膜的支撑部，所述支撑部包括支撑所述背板的支撑壁，所述背板与所述支撑壁之间夹...

本发明涉及微机电技术领域，提供了一种确定马达非线性参数的方法、装置、设备和介质。本发明能够提高马达测试过程中确定马达非线性参数的精度和效率。该方法包括：构造出马达非线性参数的非线性模型，设计激励信号，利用激励信号驱动马达振动，获取振动状...

本发明提供一种散热元件，一种散热元件，包括形成有封闭内腔的元件本体、位于封闭内腔内的吸收芯和填充于封闭内腔中的冷却工质，冷却工质由无机盐混合于溶剂中制备得到，无机盐包括硫酸盐、过硫酸盐、硅酸盐、p区金属盐、硝酸盐、亚硝酸盐、磷酸盐、多磷...

本发明提供了一种MEMS扬声器，包括：衬底，衬底设有固定部和贯穿固定部的空腔；驱动器，驱动器覆盖空腔并固定于固定部，驱动器具有交替叠设的电极层和压电层，驱动器包括自衬底延伸的主体部以及与主体部连接的自由端，自由端相对于主体部具有更大的运...

本实用新型提供了一种压电式麦克风，包括空腔、围绕形成所述空腔的基底以及固定在所述基底上的压电单元，所述压电单元包括固定于所述基底上的固定部、自所述固定部延伸并悬置于所述空腔上的至少一个振动部，所述振动部分为靠近所述固定部的延伸臂和远离所...

本实用新型涉及声电技术领域，尤其涉及一种MEMS传感器。本实用新型的MEMS传感器中，电连接MEMS芯片与ASIC芯片的金属引线包括设于MEMS芯片的第一焊点、自第一焊点延伸的第一延伸部、自第一延伸部向远离MEMS芯片方向弯折延伸的第一...

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底、与所述基底间隔设置的振膜、固定于所述基底并环绕在所述振膜外周的锚定部、以及连接所述振膜和所述锚定部之间的弹性支撑件；所述锚定部绕设于所述振膜外周并与所述振膜间隔形...

本发明提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和固定于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜，其特征在于，所述振膜包括振动部以及自所述振动部向所述基底延伸并固定于所述基底的固定部，所述固定部沿所述振动部的振...

本实用新型提供了一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及支撑部。压电部设有贯穿其上的缝隙，缝隙将压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一压电单元包括固定部和振动部。振动部具有远离固定部的振动端。压电式麦克风还包括设置于振动...

本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片，所述MEMS麦克风芯片包括具有背腔的基底，设置于所述基底上的振膜，以及相对所述振膜远离所述基底一侧设置的背板；所述振膜包括位于中部的感应区域及环绕所述感应区域并与所述感应区域相间隙设置形成振膜狭缝...

本实用新型提供了电容式麦克风。提供一种电容式麦克风，包括基底、盖设在基底的一侧的外壳、固定于基底的ASIC芯片、固定于基底的支撑壁以及固定于支撑壁的MEMS芯片，MEMS芯片、支撑壁和基底共同围合成前腔，MEMS芯片包括振膜及背板，基底...

本发明提供了一种MEMS扬声器，包括围成空腔的基底侧壁，基底侧壁包括相对设置的第一表面和第二表面，设置于所述基底侧壁的第一表面并且密闭所述空腔在所述第一表面的开口的发声组件以及设置于所述空腔内的支架，发声组件包括第一发声组件和第二发声组...

本发明提供了一种麦克风及其制造方法。所述麦克风包括具有空腔的基底、设置在所述基底上方的振膜、与所述振膜间隔设置的背板、位于所述背板靠近所述振膜一侧的背板电极以及位于所述背板远离所述振膜一侧的引出电极，所述振膜上设有多层氧化硅层，所述引出...

本发明提供了一种移动终端，其包括具有收容空间的壳体、分别安装于收容空间内的第一扬声器模组、第二扬声器模组和第三扬声器模组以及分别驱动第一扬声器模组、第二扬声器模组及第三扬声器模组工作的功率放大器；壳体包括相对设置的顶端和底端，第一扬声器...

本发明公开一种抑制漏音方法，其包括如下步骤：S1、在听筒模式下通过所述扬声器进行通话，或者通过所述扬声器播放音频；S2、通过所述位置检测单元获取听音位置所对应的反馈信息；S3、根据所述反馈信息按照预设的位置算法进行计算，并计算出所述听音...

本发明用于声电转换装置技术领域，尤其涉及一种用于麦克风的振膜。该振膜包括膜片和多个自膜片的边沿向外延伸设置的连接结构，且各连接结构沿膜片的周向方向间隔布设；连接结构包括连接件和用于在受到外力牵扯时发生形变并在外力消失后恢复至初始形态的支...

本实用新型提供了一种电容式MEMS麦克风。本实用新型提供的电容式MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设于基底上的电容系统，电容系统包括背板及与背板相对间隔设置的振膜，其通过在背板面向振膜的一面设置背板凸起和/或在振膜面向基底的一面凸设多...

本实用新型提供了MEMS麦克风芯片，包括具有背腔的基底，与所述基底间隔设置的振膜，以及相对所述振膜远离所述基底一侧设置的背板；所述振膜与其正对的基底之间间隔形成与所述背腔连通的空腔，所述MEMS麦克风芯片还包括自所述基底向靠近所述振膜的...

本实用新型提供了一种陀螺仪，其包括基体以及振动组件：振动组件包括振动件和电极，所述电极设于所述振动件的外侧；所述振动件可活动地连接于所述基体的一侧，所述振动件上均匀开设有多个谐振孔。在本实施例的陀螺仪中，振动组件的振动件上均匀开设有多个...

本实用新型提供了一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底及固定于所述基底的至少一个悬臂梁，每一个所述悬臂梁包括与所述基底固定连接的固定部及与所述固定部连接并悬置于所述背腔的延伸部，所述延伸部与所述基底相互间隔设置形成泄气缝隙或所述延伸部与所...