压电式麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及支撑部。压电部设有贯穿其上的缝隙，缝隙将压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一压电单元包括固定部和振动部。振动部具有远离固定部的振动端。压电式麦克风还包括设置于振动端的挡板，挡板包括沿第二方向延伸的主体部，主体部覆盖至少一部分振动端，且主体部靠近缝隙，第二方向垂直于第一方向和压电单元的振动方向。通过在振动端设置挡板，可使压电单元振动过程中，流过缝隙的气体量减少，从而作用在压电单元上的气体量增加，进而提高压电式麦克风的低频灵敏度。敏度。敏度。

【技术实现步骤摘要】
压电式麦克风


[0001]本技术涉及声电转换装置
，具体涉及一种压电式麦克风。

技术介绍

[0002]现有技术的悬臂梁式麦克风，压电部为3层(电极/压电层/电极)或5层(电极/压电层/电极/压电层/电极)的悬臂梁结构，压电部设有贯穿其上的缝隙，该缝隙将压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，缝隙形成于两个压电单元或压电单元与相邻的固定结构之间。现有的结构在声压的作用下，压电膜片振动的过程中，缝隙位置的宽度会变大，导致气体从缝隙中间流过，而作用在压电膜片的气体减少，导致麦克风低频灵敏度降低。
[0003]因此，有必要提供一种新的麦克风来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种压电式麦克风，可提高压电式麦克风的低频灵敏度。
[0005]本技术的技术方案如下：一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及连接所述基底和所述压电部的支撑部；所述压电部设有贯穿其上的缝隙，所述缝隙将所述压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一所述压电单元包括与所述支撑部连接的固定部和自所述固定部沿第一方向朝所述缝隙延伸出且悬置于所述腔体的振动部，所述第一方向垂直于所述压电单元的振动方向；所述振动部具有远离所述固定部的振动端；所述压电式麦克风还包括设置于所述振动端的挡板，所述挡板包括沿第二方向延伸的主体部，所述主体部覆盖至少一部分所述振动端，且所述主体部靠近所述缝隙；所述第二方向垂直于所述第一方向和所述压电单元的振动方向。
[0006]可选的，所述振动部还包括连接所述振动端与所述固定部的连接部，所述连接部包括沿所述第二方向相对且间隔设置的两个侧壁；所述挡板还包括自所述主体部的相对两端沿所述第一方向延伸的两个延伸部，每一所述延伸部覆盖至少一部分所述连接部，且每一所述延伸部靠近一个所述侧壁。
[0007]可选的，所述压电单元包括朝向所述腔体的第一侧面和背向所述腔体的第二侧面，所述挡板设置于所述第一侧面和/或所述第二侧面。
[0008]可选的，所述挡板包括固定于所述压电单元的上表面、与所述上表面相对间隔设置的下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧表面，所述侧表面包括朝向所述缝隙的第一侧表面，所述第一侧表面为弧型面或为自所述上表面向所述下表面倾斜延伸的斜面。
[0009]可选的，所述挡板沿所述压电单元的振动方向的投影至少部分落入所述缝隙内。
[0010]可选的，所述挡板包括间隔设置的多个子挡板。
[0011]可选的，所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：0.05至10。
[0012]可选的，所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值
范围为：1至6。
[0013]可选的，所述振动端具有背向所述固定部的外表面，所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.2。
[0014]可选的，所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.02。
[0015]可选的，所述挡板由多晶硅制成。
[0016]可选的，所述基底具有围成所述腔体的环形侧壁，所述支撑部包括固定于所述环形侧壁且相对间隔设置的第一支撑部和第二支撑部，所述压电单元包括通过所述第一支撑部固定于所述环形侧壁的第一压电单元以及通过所述第二支撑部固定于所述环形侧壁并与所述第一压电单元间隔形成所述缝隙的第二压电单元，所述第一压电单元包括固定于所述第一支撑部的第一固定部以及自所述第一固定部延伸出且悬置于所述腔体的第一振动部；所述第一振动部具有远离所述第一固定部的第一振动端；
[0017]所述第二压电单元包括通过所述第二支撑部连接于所述环形侧壁且与所述第一固定部相对设置的第二固定部和自所述第二固定部延伸出且悬置于所述腔体的第二振动部，所述第二振动部具有远离所述第二固定部的第二振动端，所述第二振动端与所述第一振动端相对且间隔设置以形成所述缝隙；所述挡板包括固定于所述第一振动端的第一挡板以及固定于所述第二振动端的第二挡板。
[0018]可选的，所述基底具有环形侧壁和与所述环形侧壁朝向腔体的一面连接且位于所述腔体内的支撑柱，所述固定部通过所述支撑部连接于所述支撑柱，所述压电单元包括自所述固定部的两侧分别朝相反方向延伸且分别与所述环形侧壁间隔设置的两个所述振动部；两个所述振动部分别通过所述缝隙与所述环形侧壁间隔设置。
[0019]本技术的有益效果在于：本技术提供一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及支撑部。压电部设有贯穿其上的缝隙，缝隙将压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一压电单元包括与支撑部连接的固定部和自固定部沿第一方向朝缝隙延伸出且悬置于腔体的振动部，第一方向垂直于压电单元的振动方向。振动部具有远离固定部的振动端。压电式麦克风还包括设置于振动端的挡板，挡板包括沿第二方向延伸的主体部，主体部覆盖至少一部分振动端，且主体部靠近缝隙，第二方向垂直于第一方向和压电单元的振动方向。通过在振动端设置挡板，可使压电单元振动过程中，流过缝隙的气体量减少，从而作用在压电单元上的气体量增加，进而提高压电式麦克风的低频灵敏度。
【附图说明】
[0020]图1为本技术提供的压电式麦克风的一种结构示意图；
[0021]图2为图1所示压电式麦克风中一个压电单元的结构示意图；
[0022]图3为图1所示压电式麦克风中挡板的第一种结构示意图；
[0023]图4为图1所示压电式麦克风中挡板的第二种结构示意图；
[0024]图5为图1所示压电式麦克风中挡板的第三种结构示意图；
[0025]图6为图1所示压电式麦克风中挡板的第四种结构示意图；
[0026]图7为图1所示压电式麦克风中挡板的第五种结构示意图；
[0027]图8为图4所示压电式麦克风中沿X
‑
X方向的第一挡板的剖面结构示意图；
[0028]图9为图7所示压电式麦克风中沿Y
‑
Y方向的第一挡板的剖面结构示意图；
[0029]图10为图1所示压电式麦克风的振动状态图；
[0030]图11为本技术提供的压电式麦克风的另一种结构示意图。
【具体实施方式】
[0031]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0032]示例性地，请参阅图1至图3，图1为本技术提供的压电式麦克风的一种结构示意图；图2为图1所示压电式麦克风中一个压电单元的结构示意图；图3为图1所示压电式麦克风中挡板的第一种结构示意图。本技术实施例提供一种压电式麦克风100，包括具有腔体12的基底1和压电部2以及连接基底1和压电部2的支撑部。压电部2设有贯穿其上的缝隙21，缝隙21将压电部2分隔为两个可自由振动的压电单元。每一压电单元包括与支撑部连接的固定部和自固定部沿第一方向B朝缝隙21延伸出且悬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及连接所述基底和所述压电部的支撑部；所述压电部设有贯穿其上的缝隙，所述缝隙将所述压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一所述压电单元包括与所述支撑部连接的固定部和自所述固定部沿第一方向朝所述缝隙延伸出且悬置于所述腔体的振动部，所述第一方向垂直于所述压电单元的振动方向；所述振动部具有远离所述固定部的振动端；其特征在于，所述压电式麦克风还包括设置于所述振动端的挡板，所述挡板包括沿第二方向延伸的主体部，所述主体部覆盖至少一部分所述振动端，且所述主体部靠近所述缝隙；所述第二方向垂直于所述第一方向和所述压电单元的振动方向。2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述振动部还包括连接所述振动端与所述固定部的连接部，所述连接部包括沿所述第二方向相对且间隔设置的两个侧壁；所述挡板还包括自所述主体部的相对两端沿所述第一方向延伸的两个延伸部，每一所述延伸部覆盖至少一部分所述连接部，且每一所述延伸部靠近一个所述侧壁。3.根据权利要求1或2所述的压电式麦克风，其特征在于：所述压电单元包括朝向所述腔体的第一侧面和背向所述腔体的第二侧面，所述挡板设置于所述第一侧面和/或所述第二侧面。4.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板包括固定于所述压电单元的上表面、与所述上表面相对间隔设置的下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧表面，所述侧表面包括朝向所述缝隙的第一侧表面，所述第一侧表面为弧型面或为自所述上表面向所述下表面倾斜延伸的斜面。5.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的投影至少部分落入所述缝隙内。6.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板包括间隔设置的多个子挡板。7.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：0.05至10。8.根据权利要求7所述的压电式麦克风，...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈宇，王凯杰，石正雨，童贝，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：